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IC生產流程步驟詳解 從上游到下游解說

xPRC_icunion ? 作者:工程師飛燕 ? 2018-06-20 11:45 ? 次閱讀

這篇要討論的重點則是半導體產業從上游到下游到底在做些什么。先來看一下關聯圖:

IC生產流程步驟詳解 從上游到下游解說

我們先從大方向了解,之后再局部解說。

半導體產業最上游是IC設計公司與硅晶圓制造公司,IC設公司計依客戶的需求設計出電路圖,硅晶圓制造公司則以多晶硅為原料制造出硅晶圓。中游的IC制造公司主要的任務就是把IC設計公司設計好的電路圖移植到硅晶圓制造公司制造好的晶圓上。完成后的晶圓再送往下游的IC封測廠實施封裝與測試,即大功告成啰!

局部解說開始!

(1)硅晶圓制造

半導體產業的最上游是硅晶圓制造。事實上,上游的硅晶圓產業又是由三個子產業形成的,依序為硅的初步純化 → 多晶硅的制造 → 硅晶圓制造。

硅的初步純化:

將石英砂(SiO2)轉化成冶金級硅(硅純度98%以上)。

石英砂。

冶金級硅。
多晶硅的制造:

將冶金級硅制成多晶硅。這里的多晶硅可分成兩種:高純度(99.999999999%,11N)與低純度(99.99999%,7N)兩種。高純度是用來制做IC等精密電路IC,俗稱半導體等級多晶硅;低純度則是用來制做太陽能電池的,俗稱太陽能等級多晶硅。

多晶硅。

硅晶圓制造:

將多晶硅制成硅晶圓。硅晶圓又可分成單晶硅晶圓與多晶硅晶圓兩種。一般來說,IC制造用的硅晶圓都是單晶硅晶圓,而太陽能電池制造用的硅晶圓則是單晶硅晶圓與多晶硅晶圓皆有。一般來說,單晶硅的效率會較多晶硅高,當然成本也較高。

硅晶圓

(2)IC設計

前面提到硅晶圓制造,投入的是石英砂,產出的是硅晶圓。IC設計的投入則是「好人」們超強的腦力(和肝),產出則是電路圖,最后制成光罩送往IC制造公司,就功德圓滿了!

不過,要讓理工科以外的人了解IC設計并不是件容易的事(就像要讓念理工的人了解復雜的衍生性金融商品一樣),作者必需要經過多次外出取材才有辦法辦到。這里先大概是一下觀念,請大家發揮一下你們強大的想像力!

簡單來講,IC設計可分成幾個步驟,依序為:規格制定 → 邏輯設計 → 電路布局 → 布局后模擬 → 光罩制作。

規格制定:

品牌廠或白牌廠(沒有品牌的品牌廠)的工程師和IC設計工程師接觸,并開出他們需要的IC的規格給IC設計工程師 (譬如說,第一個腳位和第二個腳位相加要等于第九個腳位)。討論好規格后,工程師們就開始快樂的工作啰!

邏輯設計:

藉由軟件的幫助,工程師們終于完成了邏輯設計圖了,來看一下:

IC生產流程步驟詳解 從上游到下游解說

控制器邏輯圖

所謂的「邏輯」設計圖,就是指它是由簡單的邏輯元件構成,而不是由半導體種類這篇提到的惡心的半導體電路元件 (如二極體、電晶體等,忘記得去復習一下喔!)所構成。什么是邏輯元件呢?像是AND Gate(故名思意,兩個輸入都是1的話,輸出才是1,否則輸出就是0),OR Gate(兩個輸入只要有一個輸入是1,輸出就是1)等。邏輯元件會在IC設計單元再和大家做進一步的介紹。

電路布局:

基本上,就是利用軟件的幫助,把友善的邏輯設計圖,轉化成惡心的電路圖。如圖:

IC生產流程步驟詳解 從上游到下游解說

積體電路圖。

大家應該很熟悉吧!里面大部分都是我們在半導體種類是到的二極體和電晶體啰!

布局后模擬:

就是再經由軟件測試看看,結果是不是和當初「規格制定」是一樣的結果啰!

光罩制作:

電路完成后,再把電路制作成一片片的光罩就大功告成啰!完成后的光罩即送往IC制造公司。來看一下光罩長什么樣子吧!

光罩。

(3) IC制造

IC制造的流程較復雜,但其實IC制造就只做一件事而已:把光罩上的電路圖轉移到晶圓上。它的過程其實和傳統相片的制造過程非常類似 (當然,精密度差太多了)!你如果上網google一下「IC制造」,會看到很多火星文的資料,保證你看不懂那些流程到底代表什么意思。

IC制造的步驟是這樣子的:薄膜→光阻→顯影→蝕刻→光阻去除,然后不斷的循環數十次。我們來看一下示意圖

IC生產流程步驟詳解 從上游到下游解說

IC制程。

薄膜:

鍍上金屬(實際上不一定是金屬)

光阻:

在晶圓上涂上一層光阻(感光層)

顯影:

用強光透過「光罩」后照在晶圓上。這樣的話,除了「電路」該出現的部分,其余光阻的部分是不是都照到光了?

蝕刻:

把沒有光阻覆蓋的薄膜沖蝕

光阻去除:

把上面的光阻去除,留下的薄膜部分就是電路圖了!(這里假設電路圖就是「一長條」而已,實際情況當然較復雜啰!)

很簡單吧!當然,實際的過程沒那么簡單。實際的情形是光罩是由好幾十層構成的,而每層需要的材質也不一樣。也就是說,薄膜那一層需用不同的材質。譬如說,SiO2。

有趣吧!以上都只是前菜,在「半導體制程」單元會有更詳細的介紹喔!

(4)IC封測

IC制造廠商完成的IC大致如下圖:

晶圓完成品。

這一片片的晶圓完成品就被送往IC封測廠,實行IC的封裝與測試。

封裝:

封裝的流程大致如下:切割→黏貼→焊接→模封。

先講一下觀念好了,來看個CPU吧!

CPU。

圖片中央的就是CPU。CPU很大一個,但仔細看,中間那個金屬部分才是CPU裸晶(又稱晶粒,即未封裝前的IC)的真正大小喔!其余的部分就是所謂的印刷電路板-PCB啰!

好!可以開始講IC封裝了!

切割:

第一步就是把IC制造公司送來的一片片晶圓切割成一顆顆長方形的IC啰!

黏貼:

把IC黏貼到PCB上

焊接:

故名思義,把IC的小接腳焊接到PCB上,這樣才和大PCB(如主機板)相容喔!

模封:

故名思義,就是把接腳模封起來。最近很hot的題材-BT樹脂,就是用在這里喔!

有感覺嗎?來看個圖就較清楚了:

IC成品。

如圖,中間的是晶粒,往外接到PCB上。

這樣就大致完成啰!詳細的封裝與測試流程圖,我們在IC封測單原會詳細介紹,敬請期待啰!

好不容易呀!終于介紹完一顆IC的大致生產流程了!

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
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原文標題:芯片制造流程詳解,具體到每一個步驟

文章出處:【微信號:icunion,微信公眾號:半導體行業聯盟】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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