根據SEMI公布數據:2016年全球半導體掩模版(photomask)銷售額為33.2億美元,占到總晶圓制造材料市場的13%。預計全球半導體掩模版市場可在2018年達到35.7億美元。
伴隨半導體廠商相繼在中國新建工廠,中國在全球市場上存在感日益增強。據SEMI介紹,2017年中國的掩模板需求占全球的3%。 有觀點認為,2020年這一數字將提高至20%。
目前國際上生產光掩膜板的企業中包括日本凸版印刷TOPAN、日本大印刷,美國Photronics,日本豪雅HOYA,日本SK電子,***光罩等。其中凸版印刷、大日本印刷與Photronic三家的全球市占率達80%以上。此外,晶圓制造企業也會采取自制策略對內提供掩模版,包括英特爾、三星、臺積電等均有自制掩模版業務。
掩模版主要廠商市場份額
一、國外企業
(1)日本凸版印刷
2004年10月日本凸版印刷以89億美元收購美國杜邦光掩模,成為全球最大的掩模版供應商,全球市占超過30%。
日本凸版印刷在中國的市場占有率約為50%,此前從日本或***的生產基地向大陸出口最新的掩模板,而在上生產的掩模板線寬為90nm,其計劃將在2018年春季開始生產支持65nm掩模板,2018年度內生產支持14nm產品。投資額可能會達到數十億日元。
(2)大日本印刷
大日本印刷(DNP)和美商Photronics在廈門合資成立美日豐創光罩,引進40/28納米制程,未來5年內將投資1.6億美元。預計在2018年底開始生產。投產后初期每月產能為600片,1年后將增產到1200片到1500片。
(3)Photronics
Photronics作為全球領先的掩膜版廠商,主要生產60nm及以上制程的光罩,2014年營收達到4.56億美元,凈利潤3202萬美元。
(4)***光罩
***光罩主要生產和供應相對低端的0.25微米、0.18微米、0.15微米、0.13微米、0.11微米和90納米制程的光罩,2014年營收達到4411萬美元,凈利潤191萬美元。
二、國內企業
目前國內的掩膜版廠商主要分為3類:第一類是科研院所,主要有中科院微電子中心,中國電子科技集團第13所、24所、47所、55所等;第二類是專業的掩膜版制造廠商,主要有華潤微電子、無錫中微掩模、蘇州制版、湖北菲利華。第三類是晶圓代工廠,例如中芯國際,中芯國際的制版能力也處于國際較先進的水平。
(1)無錫華潤微電子
無錫華潤微電子有限公司掩模工廠(華潤掩模)是國內最早從事光掩模制造的專業企業。能夠提供0.18um及以上Stepper掩模。
(2)無錫中微
無錫中微掩模電子有限公司(簡稱“中微掩模),是一家從事0.13μm水平以上的高端集成電路掩模制造技術開發和生產的專業公司。
(3)蘇州制版
蘇州制版提供全系列石英、蘇打玻璃鉻掩膜版,制版最小線寬 0.7um,精度 0.07um,面積從3 inch^2到1.4 m^2,滿足從高精尖科學研究到大規模企業量產的全方位需求。
(4)湖北菲利華
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司始建于1966年,是國內外具有較大影響力和規模優勢的石英材料及石英纖維制造企業,全球少數幾家具有石英纖維批量生產能力的制造商,中國航空航天等國防軍工領域唯一的石英纖維供應商。近年拓展掩模版業務,2016-2017年公司的光掩?;邃N售穩步增長,2016年產值已突破千萬。
(5)中芯國際掩模
中芯國際掩模制造廠, 起初是為該公司自身內部生產需要配套建設的。
2016年,投資675億人民幣的中芯國際“新建12寸集成電路先進工藝生產線”項目以及配套建設的高端光掩模生產線等新增總投資近千億元人民幣項目啟動儀式在上海浦東新區舉行。
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原文標題:國內外掩模版市場及主要廠商
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