以氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)為代表的第三代半導(dǎo)體材料,具備高擊穿電場、高熱導(dǎo)率、高電子飽和速率及抗強輻射能力等優(yōu)異性能,更適合于制作高溫、高頻、抗輻射及大功率電子器件,在光電子和微電子領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價值。
“十二五”期間,863計劃重點支持了“第三代半導(dǎo)體器件制備及評價技術(shù)”項目。近日,科技部高新司在北京組織召開項目驗收會。
項目重點圍繞第三代半導(dǎo)體技術(shù)中的關(guān)鍵材料、關(guān)鍵器件以及關(guān)鍵工藝進行研究,開發(fā)出基于新型基板的第三代半導(dǎo)體器件封裝技術(shù),滿足對應(yīng)高性能封裝和低成本消費級封裝的需求,研制出高帶寬GaN發(fā)光器件及基于發(fā)光器件的可見光通信技術(shù),并實現(xiàn)智能家居演示系統(tǒng)的試制;開展第三代半導(dǎo)體封裝和系統(tǒng)可靠性研究,形成相關(guān)標準或技術(shù)規(guī)范;制備出高性能SiC基GaN器件。通過項目的實施,我國在第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵的SiC和GaN材料、功率器件、高性能封裝以及可見光通訊等領(lǐng)域取得突破,自主發(fā)展出相關(guān)材料與器件的關(guān)鍵技術(shù),有助于支撐我國在節(jié)能減排、現(xiàn)代信息工程、現(xiàn)代國防建設(shè)上的重大需求。
“十三五”期間,為進一步推動我國材料領(lǐng)域科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,科技部制定了《“十三五”材料領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》,將“戰(zhàn)略先進電子材料”列為發(fā)展重點之一,以第三代半導(dǎo)體材料與半導(dǎo)體照明、新型顯示為核心,以大功率激光材料與器件、高端光電子與微電子材料為重點,推動跨界技術(shù)整合,搶占先進電子材料技術(shù)的制高點。
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半導(dǎo)體
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