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臺積電宣布了有關極紫外光刻(EUV)技術的兩項重磅突破

cMdW_icsmart ? 來源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-10-17 15:44 ? 次閱讀

近日,全球第一大晶圓代工廠臺積電宣布了有關極紫外光刻(EUV)技術的兩項重磅突破,一是首次使用7nm EUV工藝完成了客戶芯片的流片工作,二是5nm工藝將在2019年4月開始試產。

今年4月開始,臺積電第一代7nm工藝(CLN7FF/N7)投入量產,蘋果A12、華為麒麟980、高通“驍龍855”、AMD下代銳龍/霄龍等處理器都正在或將會使用它制造,但仍在使用傳統的深紫外光刻(DUV)技術。

而接下來的第二代7nm工藝(CLNFF+/N7+),臺積電將首次應用EUV,不過僅限四個非關鍵層,以降低風險、加速投產,也借此熟練掌握ASML的新式光刻機Twinscan NXE。

7nm EVU相比于7nm DUV的具體改進公布得還不多,臺積電只說能將晶體管密度提升20%,同等頻率下功耗可降低6-12%。

如今在7nm EUV工藝上成功完成流片,證明了新工藝新技術的可靠和成熟,為后續量產打下了堅實基礎。

臺積電沒有透露這次流片成功的芯片來自哪家客戶,但是想想各家和臺積電的合作關系,其實不難猜測。

7nm之后,臺積電下一站將是5nm(CLN5FF/N5),將在多達14個層上應用EUV,首次全面普及,號稱可比初代7nm工藝晶體管密度提升80%從而將芯片面積縮小45%,還可以同功耗頻率提升15%,同頻功耗降低20%。

2019年4月,臺積電的5nm EUV工藝將開始風險性試產,量產則有望在2020年第二季度開始,正好滿足后年底各家旗艦新平臺。

臺積電5nm工藝的EDA設計工具將在今年11月提供,因此部分客戶應該已經開始基于新工藝開發芯片了。

隨著半導體工藝的急劇復雜化,不僅開發量產新工藝的成本大幅增加,開發相應芯片也越來越費錢,目前估計平均得花費1.5億美元,5nm時代可能要2-2.5億美元。

反觀 Intel,剛發布的秋季桌面平臺仍然都是14nm,而拖延已久的10nm要到明年才能量產,7nm則是遙遙無期,5nm就更別提了。

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原文標題:臺積電7nm EUV芯片首次流片成功,明年試產5nm

文章出處:【微信號:icsmart,微信公眾號:芯智訊】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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