近日，允升吉公司制作的電鑄G 5.5 Q divided mask在高世代AMOLED面板量產線上進行了蒸鍍測試，取得了重大突破。據業內信息確認，這是電鑄技術制造的FMM（Fine Metal Mask）首次應用于高世代AMOLED量產線進行實際蒸鍍，試驗了各種預設工藝參數和精度，達到了關鍵參數可控的目標；解決了位置精度（PPA）、開口精度（CD）、焊接性能、熱膨脹、平整度等一系列技術問題。

圖1.允升吉FMM

目前AMOLED面板量產的主流方式是真空蒸鍍，而真空蒸鍍必須用到FMM。作為關鍵物料的FMM，主要有蝕刻、電鑄、多重材料復合三種制作工藝。以前FMM的制作廣泛采用的是蝕刻工藝，但隨著OLED產業向高世代高分辨率方向發展，現有的蝕刻工藝一方面面臨原材料（Invar alloy）在技術上及采購上的限制，另一方面蝕刻工藝在產品精密度上越來越不能滿足要求，而電鑄工藝在制作高世代FMM的優勢逐漸體現出來。允升吉公司作為國內首家從事OLED蒸鍍用金屬MASK研發的企業，在電鑄制作FMM方面擁有10多年的技術積累，自主承擔了兩項國家863計劃，目前在OLED蒸鍍用FMM方面申請專利308件。近兩年在OLED蒸鍍用FMM產品研制如下：

1.2017年6月，300ppiFMM樣品制作完成并通過客戶測試；

2.2017年8月，300～800ppiFMM產品開始小批量制作，其中814ppi的屏幕于2018年1月成功點亮發布，刷新了當時國內AMOLED屏幕最高像素密度紀錄；

3.2017年12月，6.2"全面屏FMM產品制作完成；

4.2018年9月，1000ppiFMM產品制作完成。

圖2.應用允升吉FFM研制的814ppi AMOLED顯示屏

當前，維信諾、京東方、華星光電、天馬等國內眾多OLED面板廠在各地紛紛布局G 5.5以上高世代AMOLED面板量產線，而國家公布的《戰略性新興產業重點產品和服務指導目錄（2016版）》“新型顯示器件”中明確規定“5.5代及以上精細金屬掩膜板”為重點發展方向。允升吉將在用戶的積極配合下，繼續進行固化數據、穩定工藝、迭代測試等工作。爭取早日將電鑄技術的Divided FMM用于實際量產，實現我國AMOLED行業關鍵配套材料的國產化跨越式發展。