2018年11月11日，由有智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟承辦的MEMS與智能傳感器技術(shù)專題論壇在鄭州市圣菲特花園酒店召開，有140多名來自傳感器及相關(guān)領(lǐng)域的高校、企業(yè)和研究所人員參加了本次專題論壇。

清華大學(xué)尤政院士在論壇致詞中講到中國(guó)制造需要實(shí)現(xiàn)自主可控，“中興事件”后，國(guó)家發(fā)現(xiàn)我們大部分芯片都不能實(shí)現(xiàn)自主可控，對(duì)于我們MEMS人來說肩上的擔(dān)子很重。國(guó)家提出“物聯(lián)網(wǎng)+”概念，目前物聯(lián)網(wǎng)已經(jīng)搭建起來了，這個(gè)+就需要我們MEMS人往里面加內(nèi)容。未來的MEMS概念是融合了傳統(tǒng)MEMS技術(shù)+構(gòu)架系統(tǒng)+算法為一體的新概念。此外南京大學(xué)陳洪淵院士以“智能傳感的今天和明天”為主題做論壇主旨報(bào)告。

上午的論壇主題為“智能傳感器技術(shù)進(jìn)展”，中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所夏善紅研究員演講了主題為“化學(xué)量和生物量微納傳感器及系統(tǒng)研究”的報(bào)告，報(bào)告基于微納米技術(shù)的傳感器及系統(tǒng)具有體積小、功耗低、試劑耗量少等優(yōu)點(diǎn)，是化學(xué)量和生物量傳感器發(fā)展的重要方向。簡(jiǎn)要介紹了若干化學(xué)量和生物量微納傳感器及系統(tǒng)的工作原理、基本結(jié)構(gòu)、制備方法、測(cè)試結(jié)果等，分析相關(guān)的科學(xué)技術(shù)難點(diǎn)，展望未來發(fā)展。南京大學(xué)張旭蘋教授報(bào)告主題為“基于分布式光纖傳感系統(tǒng)的大型結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)技術(shù)”，分析和討論了適應(yīng)未來智能物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用發(fā)展所需要的分布式光纖傳感技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)，以及目前推廣應(yīng)用中存在的問題與解決方案；介紹南京大學(xué)在分布式光纖傳感系統(tǒng)和設(shè)備方面的研究成果與進(jìn)展，并給出一些應(yīng)用實(shí)例。

歌爾股份有限公司王德信博士和中國(guó)電科重慶聲光電有限公司翟江皞先生從企業(yè)角度，分別為大家做了“AI時(shí)代智能傳感器應(yīng)用”和“可見光圖像傳感器”為主題的報(bào)告。

中國(guó)科學(xué)院北京納米能源與系統(tǒng)研究所楊亞研究員以“復(fù)合型納米發(fā)電機(jī)”主題報(bào)告結(jié)束了上午精彩的報(bào)告，其報(bào)告提出了通過電磁發(fā)電和摩擦發(fā)電兩種不同的原理來實(shí)現(xiàn)同一種機(jī)械能到電能轉(zhuǎn)換效率提升的普適性方法。開發(fā)了基于多種物理效應(yīng)耦合一體式的復(fù)合納米發(fā)電機(jī)，解決了不同類型納米發(fā)電機(jī)的集成度低和成本高的難題。提出了通過界面與能帶工程調(diào)控光伏器件的新策略，揭示了外部溫度對(duì)光伏器件的調(diào)制規(guī)律，建立了溫度變化誘導(dǎo)的極化電荷調(diào)控界面勢(shì)壘高度提高光伏器件性能的新方法。報(bào)告后多位代表向楊亞研究員提出有關(guān)問題。

下午論壇清華大學(xué)深圳研究生院王曉浩研究員首先為參會(huì)者做主題報(bào)告——傳感器在機(jī)器觸覺與可穿戴等領(lǐng)域中的應(yīng)用及思考，接著香港城市大學(xué)孫東教授為參會(huì)者做“細(xì)胞手術(shù)機(jī)器人中的視覺傳感技術(shù)”的報(bào)告，介紹了香港研究團(tuán)隊(duì)如何應(yīng)用3D模型重構(gòu)技術(shù)精準(zhǔn)定位細(xì)胞內(nèi)部的細(xì)胞器以便通過光鑷和探針等微操作工具實(shí)現(xiàn)大批量、高精度、多樣性的單細(xì)胞手術(shù)操作，如細(xì)胞器提取、細(xì)胞精密注射等。另外，還將介紹如何應(yīng)用光聲技術(shù)追蹤可攜帶細(xì)胞的微機(jī)器人在體內(nèi)的運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)細(xì)胞精準(zhǔn)輸送和定向釋放。

沈陽儀表科學(xué)研究院傳感器國(guó)家工程研究中心劉沁研究員報(bào)告主題為“SOI寬溫區(qū)壓力傳感器應(yīng)用研究”，報(bào)告圍繞當(dāng)前MEMS發(fā)展現(xiàn)狀及產(chǎn)業(yè)化的問題、SOI材料及關(guān)鍵制備工藝、SOI傳感器特種應(yīng)用進(jìn)行了一定的探討。武漢大學(xué)孫成亮教授報(bào)告題目為“壓電氮化鋁Lamb波諧振器與濾波器”，報(bào)告將圍繞基于AlN的蘭姆波諧振器為基礎(chǔ)，研究通過蝕刻交叉電極之間的壓電材料表面上的梯形槽來提升蘭姆波諧振器的機(jī)電耦合系數(shù)方法。

原定最后一位報(bào)告專家麥考瑞大學(xué)Subhas Mukhopadhya教授由于身體原因未能到現(xiàn)場(chǎng)，特意為制作了視頻，以視頻加PPT形式為參會(huì)者們帶來主題為“IoT Plus WSN Based Smart Ageing”的報(bào)告。