濕敏傳感器是能夠感受外界濕度變化，并通過器件材料的物理或化學性質變化，將濕度轉化成有用信號的器件。濕度檢測較之其他物理量的檢測顯得困難，這首先是因為空氣中水蒸氣含量要比空氣少得多；另外，液態水會使一些高分子材料和電解質材料溶解，一部分水分子電離后與溶入水中的空氣中的雜質結合成酸或堿，使濕敏材料不同程度地受到腐蝕和老化，從而喪失其原有的性質。

再者，濕信息的傳遞必須靠水對濕敏器件直接接觸來完成，因此濕敏器件只能直接暴露于待測環境中，不能密封。通常，對濕敏器件有下列要求：在各種氣體環境下穩定性好、響應時間短、壽命長、有互換性、耐污染和受溫度影響小等。微型化、集成化及廉價是濕敏器件的發展方向。

濕敏元件是最簡單的濕度傳感器。濕敏元件主要有電阻式、電容式兩大類。濕敏電阻的特點是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值都發生變化，利用這一特性即可測量濕度。

濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。當環境濕度發生改變時，濕敏電容的介電常數發生變化，使其電容量也發生變化，其電容變化量與相對濕度成正比。電子式濕敏傳感器的準確度可達2-3%RH，這比干濕球測濕精度高。濕敏元件的線性度及抗污染性差，在檢測環境濕度時，濕敏元件要長期暴露在待測環境中，很容易被污染而影響其測量精度及長期穩定性。這方面沒有干濕球測濕方法好。

一、氯化鋰濕敏電阻（其它吸濕鹽類也可）

原理：材料吸濕潮解或干化（能互逆），使器件的電阻率發生變化。

其溶液中的離子導電能力與濃度成正比。當溶液置于一定溫濕場中，若環境相對濕度高， 溶液將吸收水分，使濃度降低， 因此，其溶液電阻率增高。 反之，環境相對濕度變低時，則溶液濃度升高，其電阻率下降。

二、半導體陶瓷濕敏電阻

半導體陶瓷濕敏電阻通常是用兩種以上的金屬氧化物半導體材料混合燒結而成的多孔陶瓷。導電機理類似氣敏電阻。1、負特性濕敏半導瓷，2、正特性濕敏半導瓷