此前,***霸主艾司摩爾(ASML)中國區總裁沈波在中國集成電路制造年會上表示,今年下半年艾司摩爾已開始出貨家族最先進的NXT2000i,很快會在中國市場上也見到。如今,該消息正式被證實。12月19日晚間,中國首臺艾司摩爾NXT2000i正式搬入SK海力士位于無錫的工廠。
此前有消息稱,艾司摩爾已經開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件臺深紫外***),可用于7nm和5nm節點。
NXT2000i將是NXE3400B EUV***的有效補充,畢竟臺積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。同時,NXT2000i也成為了艾司摩爾旗下套刻精度(overlay)最高的產品,達到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)。
據了解,艾司摩爾今年的EUV***產能將達到20臺,明后兩年將逐步提升到40臺。有消息稱,中芯國際已向艾司摩爾訂購了一臺EUV***,預計明年交付,用于7nm節點。
另外值得注意的是,無錫是SK海力士在中國的DRAM內存芯片生產基地,目前月產能約為14萬片/月。
此外,SK海力士還成立了SK Hynix System IC公司,開始進軍晶圓代工市場。今年7月,SK Hynix還通過SK Hynix System IC(即“SHSI”)子公司跟無錫實業發展集團達成合作協議,雙方合作成立了合資公司海辰半導體(無錫)有限公司。
其中,無錫實業發展集團占股49.9%,SHSI占股50.1%,雙方將在無錫建設一座200mm晶圓廠,用于生產傳感器、電源管理芯片等。今年11月,SK海力士再次透過子公司SHSI向無錫晶圓代工事業出資1,000萬美元,但資金用途視廠房興建計劃而定。
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