近日，國際學(xué)術(shù)期刊Small以封面刊載的形式，邀請刊載了中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所機(jī)器人學(xué)研究室微納米課題組在類生命機(jī)器人使能領(lǐng)域的最新成果。該研究利用與超聲加工、檢測協(xié)同設(shè)計(jì)的納米操作機(jī)器人實(shí)現(xiàn)了亞微米尺寸的二硫化鉬場效應(yīng)管的制造，為建立工程化細(xì)胞的多維信息同步獲取接口提供了有效途徑，為實(shí)現(xiàn)基于活體細(xì)胞的生命本征感知器件的成功制造奠定了基礎(chǔ)。

Small封面刊載沈陽自動(dòng)化所微納米課題組科研成果

該研究將超聲與納米操作機(jī)器人結(jié)合，將超聲的優(yōu)異特性引入了納米尺度，利用超聲加工的沖擊特性提升了加工結(jié)構(gòu)邊緣的線性度、減小了加工力，利用超聲相位檢測與加工能量損耗之間的特定關(guān)系實(shí)現(xiàn)了任務(wù)空間內(nèi)加工深度的閉環(huán)控制，提出了“相位模式”的加工方法，克服了傳統(tǒng)納米操作機(jī)器人加工存在的突出問題，并且結(jié)合剝離工藝（lift-off）實(shí)現(xiàn)了亞微米尺寸的二維材料場效應(yīng)管的一體化的制造，為基于活體生物材料—二維材料—半導(dǎo)體材料的類生命感知器件的制造提供了更為有效、便捷和靈活的使能技術(shù)。

近年來，沈陽自動(dòng)化所微納米課題組基于生命系統(tǒng)與機(jī)電系統(tǒng)相融合的類生命機(jī)器人研究理念，圍繞類生命使能技術(shù)、類生命感知、類生命驅(qū)動(dòng)和類生命智能開展相關(guān)研究。本次封面刊發(fā)的研究成果展現(xiàn)了基于先進(jìn)類生命機(jī)器人使能技術(shù)的機(jī)器人感知系統(tǒng)由非生命介質(zhì)向生命體介質(zhì)轉(zhuǎn)變的可能性，向著全面建立類生命機(jī)器人系統(tǒng)堅(jiān)實(shí)邁進(jìn)。課題組該領(lǐng)域的前期成果先后發(fā)表在Nature Communications，Small，ACS Applied Materials & Interfaces，Lab on a Chip，Nanoscale，IEEE Trans匯刊等國際期刊，研究布局逐步系統(tǒng)化、體系化，為未來取得更好的成果奠定了工作基礎(chǔ)。