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化合物半導體磊晶廠的未來發展及展望

半導體動態 ? 來源:工程師吳畏 ? 2019-03-22 16:26 ? 次閱讀

傳統硅半導體因自身發展局限和摩爾定律限制,需尋找下一世代半導體材料,而化合物半導體材料的高電子遷移率、直接能隙與寬能帶等特性,恰好符合未來半導體發展所需,終端產品趨勢將由5G通訊、車用電子與光通訊領域等應用主導。

化合物半導體市場分析

根據現行化合物半導體元件供應鏈,元件制程最初步驟由晶圓制造商選擇適當特性的基板(Substrate),以硅、鍺與砷化鎵等材料作為半導體元件制程的基板,基板決定后再由磊晶廠依不同元件的功能需求,于基板上長成數層化合物半導體的磊晶層,磊晶層成長完成后,再透過IDM廠或IC設計、制造與封裝等步驟,完成整體元件的制造流程,最終由終端產品廠商組裝和配置元件線路,生產手機與汽車等智慧應用產品。

化合物半導體于終端市場應用

元件產品依循化合物半導體材料特性(如耐高溫、抗高電壓、抗輻射與可發光)加以開發,將終端市場分為5個領域:電源控制(Power Control)、無線通訊(Wireless)、紅外線(Infrared)、太陽能(Solar)與光通訊(Photonics)。

以電源控制為例,由于氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)等材料有不錯的耐高電壓和高頻特性,因此適合用于制造功率因素校正(Power Factor Correction,PFC)和高壓功率放大器(High Voltage Power Amplifier,HVPA)等高功率元件,是現階段支撐化合物半導體電源控制領域的重要指標。

在太陽能和光通訊方面,由于砷化鎵(GaAs)材料具備較佳的能源轉換率,以及適合接收來自紅光和紅外光等波段訊號,因此適合開發太陽能電池(Photovoltaics)和光偵測器(Photonic Detection)等應用場域。

近年手機通訊領域蓬勃發展,帶動無線模塊關鍵零組件濾波器(Filter)、開關元件(Switch)與功率放大器(Power Amplifier)等元件需求成長;而砷化鎵材料因具有低噪聲、低耗電、高頻與高效率等特點,已廣泛應用于手機通訊并占有重要地位,帶動砷化鎵磊晶需求逐年提升。

在國防領域,現階段對紅外光的需求(如紅外光熱影像和高功能夜視鏡)以中、長波長紅外光(LWIR、MWIR)等軍事領域為主,同樣帶動砷化鎵磊晶需求。在生物和醫療領域,由磷化銦(InP)材料作為雷射光源的關鍵核心,使得相關磊晶需求看漲。整體而言,將化合物半導體多元的材料特性應用于相關元件領域中,可產生許多新的可能性,帶動磊晶產業持續發展。

化合物半導體磊晶廠現況

現行化合物半導體商用磊晶制程技術,大致可分成MOCVD(有機金屬氣相沉積法)和MBE(分子束磊晶技術),若以成長技術而論,MOCVD成長條件由氣相方法進行,透過氫氣(H2)或氮氣(N2)等特定載氣(Carrier Gas)引導,使三族(III A)和五族(V A)氣體均勻混合后,再導入反應腔體中,接著透過適當的反應溫度(400~800度),讓氣體裂解并成長于基板上。MBE成長條件則透過元素加熱方式,借由超高真空環境的腔體,將所需磊晶元素加熱升華形成分子束,當分子束接觸基板后,就可形成所需磊晶結構。

若以量產速率分析MOCVD和MBE磊晶設備的優缺點,MOCVD為氣相方式導入反應腔體,其速度較MBE快1.5倍(MBE需時間加熱形成分子束);但以磊晶質量來說,由于MBE可精準控制分子束磊晶成長,因此相較MOCVD有較佳結果。

觀察現行磊晶廠發展趨勢,雖MBE所需成本較高且速度較慢,但符合國防和光通訊領域等高精密元件產品需求。目前化合物半導體的IDM廠,大多選擇以MBE磊晶設備為成長方式,除了IDM廠外,磊晶代工廠英商IQE和IET,亦選用MBE作為廠內磊晶設備。

另一方面,由于MOCVD采用氣相成長方式,可快速且大范圍進行磊晶成長,雖然其磊晶質量稍不如MBE,但對需要大量、大面積磊晶成長的元件產品有吸引性,例如太陽能電池元件等。目前全球化合物半導體磊晶廠中,主要有6成廠商選擇可大范圍成長的MOCVD機臺;另外4成則選擇高精密性的MBE設備。

根據2018年全球化合物磊晶廠預估營收占比可知,全球化合物半導體磊晶產業營收已超過4.9億美元,且英商IQE營收占整體比例約44%,與2016年營收維持相同比例,穩居磊晶龍頭寶座;排名第二的聯亞,2018年預估占比依然維持在16%(同2016年)。此外,全新光電營收占比,由2017年17%降至2018年預估的14%;全球MBE磊晶第二大廠IET(英特磊)營收,則由2017年7%降至2018年預估的5%,其衰退原因與中美貿易戰和全球手機銷售不如預期有關,使得市占率小幅衰退。

化合物半導體磊晶廠未來發展

針對化合物半導體未來的終端市場需求,依照不同元件特性可分為傳輸和無線通訊的5G芯片、耐高溫與抗高電壓的車用芯片,以及可接收和回傳訊號的光通訊芯片三大領域。借由5G芯片、車用芯片與光通訊芯片的元件開發,將帶動未來磊晶廠營收和資本支出,確立未來投資方向。

終端市場未來走向

由化合物半導體發展趨勢可知,未來元件需求將以高速、高頻與高功率等特性,連結5G通訊、車用電子與光通訊領域的應用,突破硅半導體摩爾定律限制。

化合物半導體磊晶廠的未來發展及展望

▲未來磊晶廠終端產品趨勢

硅半導體元件因受限于電子遷移率(Electron Mobility)、發光效率與環境溫度等限制,難以滿足元件特性需求,因此當化合物半導體出現,其高電子遷移率、直接能隙與寬能帶等特性,為元件發展的未來性提供新契機。隨著科技發展,化合物半導體的元件制程技術亦趨成熟,傳統硅半導體的薄膜、曝光、顯影與蝕刻制程步驟,皆已成功轉置到化合物半導體上,有助于后續半導體產業持續發展。

關于無線通訊領域的未來發展,現行廠商已逐漸由原先4G設備更新至5G基礎建設,5G基地臺的布建密度將更甚4G,且基地臺內部使用的功率元件,將由寬能帶氮化鎵功率元件取代DMOS(雙重擴散金氧半場效晶體管)元件。在基地臺建置部分,目前已集中在IDM廠(如Qorvo、Cree與日本住友電工),且各代工大廠相繼投入,導致市場競爭激烈;此外,中國廠商原先欲借由并購國外大廠進入氮化鎵代工市場,卻因國防安全為由受阻,因此現階段中國廠商對氮化鎵基地臺的發展受限。

為提升無線通訊質量,5G通訊市場將以較小功率消耗和較佳電子元件等特性為目標而努力,因此選擇砷化鎵和磷化銦等化合物半導體材料,作為PA(功率放大器)和LNA(低噪音放大器)等射頻元件(Radio Frequency,RF)。

整體而言,由于砷化鎵射頻元件市場多由IDM廠(如Skyworks、Qorvo與Broadcom)把持,因此只有當需求超過IDM廠負荷時,才會將訂單發包給其他元件代工廠,對其他欲投入元件代工的廠商而言則更困難。由于中國手機市場對射頻元件的國內需求增加,且預期5G手機滲透率將提升,或許中國代工廠商的射頻制程技術提升后,可趁勢打入砷化鎵代工供應鏈,提高射頻元件市占率。

在車用芯片部分,由于使用環境要求(需于高溫、高頻與高功率下操作),并配合汽車電路上的電感和電容等,使得車用元件體積較普通元件尺寸占比大,透過化合物半導體中,寬能帶半導體材料氮化鎵和碳化硅等特性,將有助實現縮小車用元件尺寸。

借由氮化鎵和碳化硅取代硅半導體,減少車用元件切換時的耗能已逐漸成為可能。以氮化鎵和碳化硅材料作為車用功率元件時,由于寬能帶材料特性,可大幅縮減周圍電路體積,達到模塊輕量化效果,且氮化鎵和碳化硅較硅半導體有不錯的散熱特性,可減少散熱系統模塊,進一步朝車用輕量化目標邁進。

此外,車用芯片對光達(LiDAR)傳感器的應用也很重要,為了實現自動駕駛汽車或無人車技術,先進駕駛輔助系統(ADAS)中的光達傳感器不可或缺,透過氮化鎵和砷化鎵磊晶材料滿足其元件特性,作為光達傳感器所需。

在光通訊芯片領域方面,為了解決金屬導線傳遞訊號的限制和瓶頸,因而開發以雷射光在光纖中作為傳遞源的概念,突破原先電子透過金屬纜線下容易發生電阻和電容時間延遲(RC Delay)現象,且借由雷射光快速傳遞和訊號不易衰退特性,使得硅光子技術(Silicon Photonics)逐漸受到重視。

由于光通訊芯片對光收發模塊的需要,PD(光偵測器)與LD(雷射偵測器)等模塊需求上升,帶動砷化鎵與磷化銦磊晶市場。此外,近年手機搭配3D感測應用有明顯成長趨勢,帶動VCSEL(垂直腔面發射激光器)元件需求增加,砷化鎵磊晶也逐步升溫,未來3D感測用的光通訊芯片,其應用范圍除了手機,亦將擴充至眼球追蹤技術、安防領域(Security)、虛擬實境(VR)與近接識別等領域。

磊晶廠未來展望

雖然2018年手機銷售量相較2017年略為衰退,且2019年手機銷售量將趨于保守,但近年因Apple手機的3D感測技術受到重視,帶動非Apple陣營加速導入3D感測市場,促使VCSEL需求增溫,對光通訊領域的元件需求有增加趨勢,帶動2018年部分磊晶廠資本支出成長。

2019年手機銷售量可能下滑和5G手機預估滲透率偏低等情形,將影響手機元件市場(如PA和LNA)與磊晶廠營收表現,現階段5G通訊領域還有待電信營運商的基地臺建置和開發市場,2019年營收成長有限,將連帶影響磊晶廠部分營收。

車用芯片由于使用環境較為嚴苛與需承受高電壓和高溫等條件,多選擇氮化鎵和碳化硅等化合物半導體;而電動車市場未來將持續小幅成長,帶動車用功率半導體元件需求,進而推升氮化鎵和碳化硅磊晶營收成長。

此外,先進駕駛輔助系統的光達元件需求逐年提升,促使氮化鎵和砷化鎵磊晶需求增溫,整體而言,未來車用化合物芯片的需求將逐步增加,成為磊晶市場持續成長的主要動能之一。

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