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ADI在線研討會:微電子機械系統的性能及應用分析

EE techvideo ? 來源:EE techvideo ? 2019-07-19 06:05 ? 次閱讀

MEMS是指大小在毫米量級以下,構成單元尺寸在微米、納米量級的可控制的可運動的微型機電裝置,是集成微機構、微傳感器、微執行器以及信號處理控制等功能于一體的系統。

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