2019年5月7日，由西北工業(yè)大學(xué)主辦的第25屆世界微機(jī)械會(huì)議在西安舉行。本次會(huì)議的舉辦對(duì)西工大、西安市和陜西省在微機(jī)械、芯片制造、智能制造等高科技領(lǐng)域的發(fā)展具有重要推動(dòng)作用。這是西北工業(yè)大學(xué)首次贏得World Micromachine Summit的舉辦權(quán)，標(biāo)志著西工大在該領(lǐng)域的實(shí)力和地位，也表明西安市和陜西省在微機(jī)械、芯片制造、智能制造等高科技領(lǐng)域具有雄厚的實(shí)力。會(huì)議由西北工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院苑偉政教授擔(dān)任會(huì)議主席，訂于2019年5月6日-10日在西安舉辦。

第25屆世界微機(jī)械會(huì)議（World Micromachine Summit 2019，MMS 2019）由中國(guó)代表團(tuán)組織主辦，有20多個(gè)國(guó)家和地區(qū)代表團(tuán)的近100位代表參加。西北工業(yè)大學(xué)校長(zhǎng)汪勁松出席開(kāi)幕式。

第25屆世界微機(jī)械會(huì)議（MMS 2019）的主題是“智能制造——從芯片開(kāi)始”，包括微納尺度的能源收集及存儲(chǔ)、生物芯片、光電設(shè)備、柔性電子器件、先進(jìn)打印技術(shù)以及其他與微納技術(shù)和智能系統(tǒng)相關(guān)的研究開(kāi)發(fā)成果。

世界微機(jī)械會(huì)議（World Micromachine Summit，MMS）是微機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域的世界頂級(jí)會(huì)議，由在微機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的包括美國(guó)、日本、德國(guó)在內(nèi)的二十多個(gè)國(guó)家和地區(qū)的代表團(tuán)參加，代表團(tuán)都是各國(guó)該領(lǐng)域的“國(guó)家隊(duì)”。

世界微機(jī)械會(huì)議旨在為全球范圍內(nèi)工業(yè)、學(xué)術(shù)以及政府推動(dòng)并展現(xiàn)微納技術(shù)和智能系統(tǒng)的發(fā)展概況。各國(guó)代表團(tuán)成員以圓桌會(huì)議的形式討論每個(gè)國(guó)家和地區(qū)在微納技術(shù)方面的最新研究進(jìn)展，進(jìn)一步推動(dòng)各國(guó)微納技術(shù)和智能系統(tǒng)的發(fā)展。

世界微機(jī)械會(huì)議（World Micromachine Summit，MMS）是1995年由日本微機(jī)械中心（Micromachine Center）組織發(fā)起。第一屆MMS于1995年3月13-15日在日本京都召開(kāi)，來(lái)自10個(gè)國(guó)家的代表參加了此次會(huì)議。其后每年舉辦一屆，截止目前已經(jīng)舉辦24屆，代表團(tuán)已擴(kuò)大到25個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

第25屆世界微機(jī)械會(huì)議在西工大舉辦，標(biāo)志著西工大在微機(jī)械領(lǐng)域的工作得到了世界范圍內(nèi)同行頂級(jí)專(zhuān)家的公認(rèn)，表明西工大具有與世界一流學(xué)科比肩的實(shí)力和重要的國(guó)際影響力。西北工業(yè)大學(xué)擁有“極端環(huán)境智能微系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（培育）”、“空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”和“陜西省微/納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”及機(jī)械電子工程國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科、微機(jī)電系統(tǒng)及納米技術(shù)國(guó)防重點(diǎn)學(xué)科、相關(guān)“985工程”、“211工程”科技創(chuàng)新平臺(tái)。

微/納米系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室成立于1993年，是國(guó)內(nèi)較早開(kāi)展微機(jī)電系統(tǒng)研究的單位之一。經(jīng)長(zhǎng)期發(fā)展，特別是 “十五”以來(lái)經(jīng)過(guò)“985工程”、“211工程”建設(shè)，已經(jīng)成為西北工業(yè)大學(xué)微納系統(tǒng)方向博士、碩士研究生培養(yǎng)以及本科生創(chuàng)新設(shè)計(jì)培養(yǎng)的重要基地，具有強(qiáng)的科學(xué)研究、設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)與人才培養(yǎng)能力。目前實(shí)驗(yàn)室具備國(guó)內(nèi)一流、國(guó)際先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)條件，在面向“三航”應(yīng)用的高端MEMS以及微機(jī)電系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)等方面處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位，在國(guó)際相關(guān)領(lǐng)域有重要影響。

依托實(shí)驗(yàn)室建設(shè)發(fā)展的“微機(jī)電系統(tǒng)及納米技術(shù)”學(xué)科為機(jī)械工程一級(jí)學(xué)科下有博士、碩士授予權(quán)的自設(shè)二級(jí)學(xué)科，是機(jī)械工程一級(jí)學(xué)科聯(lián)合儀器科學(xué)與技術(shù)、光學(xué)工程、生物醫(yī)學(xué)工程等多個(gè)一、二級(jí)學(xué)科博士、碩士點(diǎn)建立起的新興、交叉、邊緣學(xué)科，是西工大“十五”重點(diǎn)建設(shè)學(xué)科，國(guó)家“985工程”重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目。2002年，“微機(jī)電系統(tǒng)及納米技術(shù)”學(xué)科被列為國(guó)防重點(diǎn)學(xué)科。2007年，以微納系統(tǒng)技術(shù)為主干方向申報(bào)獲批了“機(jī)械電子工程”國(guó)家重點(diǎn)學(xué)科。此外，實(shí)驗(yàn)室還擁有儀器科學(xué)與技術(shù)一級(jí)學(xué)科下的測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器博士點(diǎn)、精密儀器及機(jī)械博士點(diǎn)、機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化博士點(diǎn)等。

建立并發(fā)展成國(guó)際一流水平的“空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”和“陜西省微納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”，近兩次考核均為優(yōu)秀。目前實(shí)驗(yàn)室設(shè)備資產(chǎn)達(dá)到了4000多萬(wàn)元。實(shí)驗(yàn)室形成了國(guó)內(nèi)少有的系統(tǒng)完整的硅基MEMS設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試平臺(tái)，以及國(guó)際領(lǐng)先的聚合物柔性MEMS制造平臺(tái)，有力支撐了學(xué)科建設(shè)和發(fā)展，并為國(guó)內(nèi)外提供代工服務(wù)，保障了型號(hào)任務(wù)，促進(jìn)了產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

實(shí)驗(yàn)室是國(guó)內(nèi)高校少有的面向全國(guó)開(kāi)放的微納系統(tǒng)制造和研發(fā)平臺(tái)之一。實(shí)驗(yàn)室擁有規(guī)范的管理、培訓(xùn)、運(yùn)行和對(duì)外開(kāi)放制度。實(shí)驗(yàn)室為清華大學(xué)、北京大學(xué)、上海交通大學(xué)、航天771所、航空618所、兵器212所、中科院西安光機(jī)所等國(guó)內(nèi)幾十家單位提供了微納加工技術(shù)及相關(guān)器件研發(fā)支持。此外，實(shí)驗(yàn)室還與航天014基地、總裝29基地、中國(guó)船舶科學(xué)研究中心等建立了良好合作關(guān)系，正在與華大電子等國(guó)家重點(diǎn)企業(yè)籌建有關(guān)微納科技的聯(lián)合培訓(xùn)中心等。2010年，與山東淄博高新區(qū)建立了微傳感器聯(lián)合研究中心。

爭(zhēng)取到國(guó)家儀器重大專(zhuān)項(xiàng)、863、973、國(guó)防基礎(chǔ)研究計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金等國(guó)家級(jí)項(xiàng)目30余項(xiàng)，總經(jīng)費(fèi)超過(guò)1.2億元。在微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)、流動(dòng)測(cè)控靈巧蒙皮技術(shù)等方面的處于國(guó)際領(lǐng)先水平，在微慣性器件與系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微能源、微流體等方面形成了鮮明的特色。獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2項(xiàng)，省級(jí)科技一等獎(jiǎng)3項(xiàng)。在國(guó)內(nèi)外重要學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表一批高水論文，包括領(lǐng)域國(guó)際頂尖學(xué)術(shù)刊物J.MEMS論文5篇，位列中國(guó)大陸高校前列，SCI/EI收錄論文242篇。獲授權(quán)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利80余項(xiàng)。《微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)》獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)出版基金資助出版。

2012年虞益挺獲全國(guó)百篇優(yōu)秀博士論文獎(jiǎng)。編著的《微機(jī)械與微細(xì)加工技術(shù)》為我國(guó)早期系統(tǒng)全面論述MEMS的論著之一，被評(píng)為教育部研究生推薦教材。《微機(jī)電系統(tǒng)》被列為MEMS領(lǐng)域唯一的國(guó)家級(jí)規(guī)劃教材。建立微納米小精靈創(chuàng)新設(shè)計(jì)基地，學(xué)生共獲得國(guó)際一等獎(jiǎng)、全國(guó)一等獎(jiǎng)等大獎(jiǎng)20余項(xiàng)，創(chuàng)新競(jìng)賽獲獎(jiǎng)層次和總數(shù)名列全國(guó)高校前茅。學(xué)生創(chuàng)新作品得到科技部長(zhǎng)萬(wàn)鋼等高度贊揚(yáng)。研究成果“創(chuàng)建微納新興交叉學(xué)科平臺(tái)，培育拔尖創(chuàng)新人才”2014年獲國(guó)家教學(xué)成果一等獎(jiǎng)。

團(tuán)隊(duì)入選教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)。逐漸形成了以青年優(yōu)秀骨干教師為主的團(tuán)隊(duì)，其中入選教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才培養(yǎng)計(jì)劃4人，獲“洪堡學(xué)者”基金1人，入選中組部萬(wàn)人計(jì)劃2人，青年拔尖人才1人，當(dāng)選“長(zhǎng)江學(xué)者”特聘教授1人，院士有效候選人1人。

建立了國(guó)家“111”引智基地。與美國(guó)加州理工學(xué)院、加州大學(xué)伯克利分校、德國(guó)慕尼黑工業(yè)大學(xué)、弗萊堡大學(xué)、法國(guó)巴黎高師等多所國(guó)際著名大學(xué)建立了良好合作關(guān)系，支持學(xué)生出國(guó)參加IEEE MEMS等領(lǐng)域頂級(jí)國(guó)際會(huì)議，選派學(xué)生和教師到世界一流大學(xué)深造。邀請(qǐng)包括諾貝爾獎(jiǎng)獲得者Wolfgang Ketterle、崔琦，美國(guó)工程院院士何志明在內(nèi)的幾十名著名教授來(lái)校講學(xué)，大幅提升了學(xué)科的國(guó)際化水平。

參會(huì)人員中包括MEMS技術(shù)的奠基人、世界上最早實(shí)現(xiàn)MEMS技術(shù)商業(yè)化的著名專(zhuān)家、美國(guó)工程院院士、美國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)終身會(huì)士，獲得澳大利亞科技界奧斯卡獎(jiǎng)的澳大利亞昆士蘭微納中心主任，德國(guó)著名的國(guó)家研究中心弗朗霍夫研究院納米電子系統(tǒng)中心主任，西班牙國(guó)家納米研究中心主任，日本東京大學(xué)微納研究中心主任，韓國(guó)科學(xué)院微納研究中心首席科學(xué)家、韓國(guó)微納學(xué)會(huì)主席，國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域院士等世界微機(jī)械領(lǐng)域頂級(jí)大咖。他們的工作有些改變了歷史，有些已寫(xiě)入了教科書(shū)。

會(huì)議方向涉及微機(jī)械等世界前沿科技以及智能制造、芯片制造等國(guó)家熱點(diǎn)、難點(diǎn)，與國(guó)家科技發(fā)展和人民生活息息相關(guān)。

微機(jī)械是基于芯片制造技術(shù)的精密機(jī)械，通常包括了微/納傳感器、微納執(zhí)行器以及檢測(cè)控制電路為一體的微系統(tǒng)，是繼微電子發(fā)展起來(lái)的又一項(xiàng)戰(zhàn)略性高新技術(shù)。它是人類(lèi)認(rèn)識(shí)和改造世界的重要新型手段，是功能結(jié)構(gòu)微型化、集成化、靈巧化的典型代表。微機(jī)械不僅涉及微電子學(xué)、微機(jī)械學(xué)、微光學(xué)、微流體學(xué)、微熱力學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)和生物學(xué)等眾多學(xué)科，而且涉及從材料、設(shè)計(jì)、制造、控制、能源直到測(cè)試、集成、封裝等一系列技術(shù)環(huán)節(jié)，被視為21世紀(jì)有望根本改變世界面貌的關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域，也是國(guó)際競(jìng)相發(fā)展的戰(zhàn)略性高新技術(shù)領(lǐng)域。

鑒于微機(jī)械產(chǎn)品的多樣性及諸多優(yōu)點(diǎn)，當(dāng)前國(guó)民經(jīng)濟(jì)幾乎所有的行業(yè)都對(duì)微機(jī)械產(chǎn)品的應(yīng)用有著廣闊和迫切的需求。從物聯(lián)網(wǎng)、智慧城市、智能建筑、智能交通的建設(shè)，到水質(zhì)、土壤、大氣等環(huán)境的監(jiān)測(cè)與保護(hù)；從解決地溝油、毒牛奶等食品安全問(wèn)題，到預(yù)先監(jiān)測(cè)禽流感、SARS等高傳染性病毒；從現(xiàn)代老齡化社會(huì)常見(jiàn)的糖尿病、高血脂、青光眼等疾病的預(yù)防，到艾滋病、癲癇病等各種疑難雜癥的治療；從高端機(jī)床研制、油氣田開(kāi)發(fā)，到大飛機(jī)、載人航天與探月、航空發(fā)動(dòng)機(jī)，十六個(gè)國(guó)家重大科技工程，幾乎都對(duì)微機(jī)械產(chǎn)品的應(yīng)用有著迫切的需求。

來(lái)自二十多個(gè)多個(gè)國(guó)家和地區(qū)的微機(jī)械領(lǐng)域“國(guó)家隊(duì)”代表，就微機(jī)械領(lǐng)域科學(xué)技術(shù)的發(fā)展做了精彩的報(bào)告，許多“黑科技”有望進(jìn)一步改變?nèi)祟?lèi)生活。

美國(guó)工程院院士、美國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)終身會(huì)士Kurt Peterson報(bào)告了許多新科技，包括讓盲人復(fù)明的可植入眼睛的微機(jī)械系統(tǒng)，手掌大的基因測(cè)序芯片，可隨身攜帶的用于疾病診斷的微機(jī)械分子檢測(cè)裝置等。

新加坡南洋理工大學(xué)的繆建民（Miao Jianmin）教授報(bào)告了可用于大氣污染環(huán)境檢測(cè)的微機(jī)械芯片，或可對(duì)我們的霧霾監(jiān)測(cè)分析提供新的技術(shù)手段。

比利時(shí)魯文大學(xué)的Michael Kraft教授報(bào)告了面向微生化反應(yīng)器的多物理量集成傳感器，在一個(gè)芯片上可以同時(shí)檢測(cè)葡萄糖、乳酸、酸堿度、細(xì)胞密度等，或可用于太空站可循環(huán)生命系統(tǒng)檢測(cè)。

中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所王軍波研究員報(bào)告了新型的基于電化學(xué)原理的地震波傳感器，未來(lái)可用于地震檢測(cè)、地球物理勘測(cè)、海底檢測(cè)等。

北京大學(xué)張海霞教授報(bào)告了一種手機(jī)滑擦產(chǎn)能裝置，通過(guò)在手機(jī)表面做一層特殊的看不見(jiàn)的微納結(jié)構(gòu)的膜，用手指在表面滑擦，就可以產(chǎn)生能量，換句話說(shuō)，我們通過(guò)滑手機(jī)就可以發(fā)電了。雖然目前電量還比較小，但未來(lái)大有可期。

清華大學(xué)朱榮教授報(bào)告了一種基于電極陣列的細(xì)胞處理儀器，可以對(duì)單個(gè)細(xì)胞實(shí)現(xiàn)捕捉、移動(dòng)、測(cè)量、穿孔等操作，為生物醫(yī)療提供了一個(gè)便利的細(xì)胞實(shí)驗(yàn)站。

西北工業(yè)大學(xué)常洪龍教授報(bào)告了一種新的高靈敏度微傳感器機(jī)理，靈敏度比世界上原有的同類(lèi)傳感器提高了幾百倍，據(jù)此他們做出了超精密的可以測(cè)量單個(gè)電子的儀器，可應(yīng)用于航天等特殊的高精尖領(lǐng)域。

舉辦這次會(huì)議將進(jìn)一步擴(kuò)大西工大、西安市和陜西省在相關(guān)高科技領(lǐng)域影響力，促進(jìn)高校雙一流建設(shè)、西安市和陜西省高科技發(fā)展。