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上海新陽再次轉換戰場 選擇研發3D NAND用的KrF 光刻膠

NSFb_gh_eb0fee5 ? 來源:yxw ? 2019-05-21 09:24 ? 次閱讀

合作不一定會共贏,還可能“鬧掰”。

2018年,南大光電和上海新陽先后宣布,投入ArF光刻膠產品的開發與產業化,立志打破集成電路制造最為關鍵的基礎材料之一——高檔光刻膠材料幾乎完全依賴于進口的局面,填補國內高端光刻膠材料產品的空白。

顯然,南大光電和上海新陽初入光刻膠領域,無法以一己之力打破技術壁壘。于是,南大光電選擇與北京科華合作,上海新陽與鄧海博士技術團隊合作,力求共贏。

入股三年,共贏成了“雙輸”

彼時,南大光電是國內領先的半導體用光刻膠供應商北京科華的二股東。2015年9月,南大光電入股北京科華并對外宣稱,雙方將共同開展193nm光刻膠的研究與產品開發。

不過,雙方的合作遲遲沒有進展,直到2018年12月,南大光電宣布使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產品的開發與產業化”項目。項目風風火火地進行,南大光電組建了自身的技術團隊,并沒有北京科華的身影。

據知情人士稱,南大光電收購北京科華后一直存在后續有效管理問題,根本無法控制北京科華。

2019年1月,南大光電對外宣布轉讓北京科華全部股權。入股三年,南大光電獲得了不錯的投資收益,但雙方并未能合力發展193nm光刻膠。

2015至2019年,國內面板產業和集成電路產業獲得到了飛速發展,但南大光電、北京科華在光刻膠方面卻顯得有些停滯不前,雙方在其中付出的時間成本,對本身都是一種傷害。

上海新陽光刻膠技術從何而來?

無獨有偶,上海新陽在發力光刻膠之路也屢屢受挫。

早在2017年8月,上海新陽就曾宣布以自有資金在韓國設立全資子公司,企圖通過韓國子公司組織技術團隊開展黑色光刻膠產品的研發和測試,待產品成熟后轉移至上海生產。

項目開展前往往是雄心壯志的,上海新陽決心為中國半導體產業的長遠發展做出貢獻,而項目結束也令人猝不及防。

半年之后,上海新陽就終止了對外投資設立韓國全資子公司。上海新陽表示,受多種因素影響,公司現階段無法完成在韓國設立子公司的注冊工作,公司未來考慮采取其它方式進行平板顯示產業用的黑色光刻膠產品的研發及生產。

通過在韓國設立子公司組織技術團隊的路已然是走不通了,但上海新陽卻更加“堅定”的朝著光刻膠的道路走。

2018年3月,上海新陽宣布與鄧海博士技術團隊共同投資設立子公司開展 193nm(ArF)干法光刻膠研發及產業化項目。子公司原定注冊資本為 1億元人民幣,上海新陽出資 8000 萬元人民幣,占目標公司股權的 80%;鄧海博士技術團隊出資 2000 萬元人民幣,占目標公司股權的 20%。

2018年5月,上海芯刻微材料技術有限責任公司(以下簡稱“芯刻微”)正式設立。不過,鄧海博士技術團隊并未實際出資,故此,上海新陽在2018年報中寫道,其對芯刻微的認繳比例80%,出資比例為100%,對芯刻微的直接持股比例為100%。

早有知情人士透露,上海新陽與鄧海博士技術團隊在2018年底就出現了矛盾,2019年初已經徹底“鬧掰”了。

果然,2019年5月10日,上海新陽發布公告稱,經公司與合作方充分溝通并達成一致,公司擬以 0 元受讓合作方持有的上海芯刻微公司20%股權,并解除雙方簽訂的《193光刻膠項目合作開發協議》及基于“開發協議”達成的一切合作。

值得注意的是,鄧海先生為上海新陽193nm光刻膠項目的負責人,負責光刻膠產品的研發及生產。此外,本次項目的技術服務和配套原料服務也是由鄧海博士控制下珠海雅天提供的。也就是說,鄧海博士技術團隊是上海新陽193nm光刻膠產品的技術來源。

不知為何,上海新陽并未對外宣布新的技術來源和負責人。目前,上海新陽193nm光刻膠產品處于實驗室研發階段,在此情況下,該項目顯得有些“岌岌可危”。

據知情人士透露,上海新陽已經再次轉換戰場,選擇研發3D NAND用的KrF 光刻膠。

從黑色光刻膠到ArF光刻膠再到3D NAND用的KrF 光刻膠,上海新陽在光刻膠的門前來來去去,走走停停。光刻膠本就是一個技術壁壘非常高的產品,而上海新陽并不是第一個宣稱要向高端光刻膠進軍的廠商,一再轉換賽道使其發展進程更為落后,留給上海新陽的時間,或許不多了。

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原文標題:進軍光刻膠屢屢受阻,上海新陽路向何方?

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