近日，智光電氣在互動平臺表示，廣州粵芯半導體公司采購的是荷蘭ASML的***，已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房，目前在做量產前的最后調試準備。

***等主設備的順利進駐，將為粵芯半導體量產計劃提供了有力保障。

此外，智光電氣還在互動平臺表示，粵芯半導體一期以90nm-180nm技術產品為主，二期以65nm-90nm技術產品為主。

據悉，粵芯半導體項目是國內第一座以虛擬IDM為營運策略的12英寸芯片廠，是廣州第一條12英寸芯片生產線，已列為廣東省、廣州市重點建設項目。該項目于2018年3月開始打樁，2018年10月按原計劃完成主廠房封頂。項目在達產后，可實現月產4萬片12英寸晶圓的生產能力。粵芯半導體產品包括微處理器、電源管理芯片、模擬芯片、功率分立器件等，能滿足物聯網、汽車電子、人工智能、5G等創新應用的模擬芯片需求。

據廣東衛視最新報道，如今粵芯半導體首條生產線已進入最后的調試階段，即將在6月投片、9月量產。