日本Silicon Sensing Systems公司將擴大其在日本的MEMS代工廠規(guī)模,新增的廠房設(shè)施,主要為了滿足MEMS慣性傳感器和濺射PZT(鋯鈦酸鉛)薄膜MEMS器件顯著增長需求。新廠房占地面積3000平方米,直接將當(dāng)前的晶圓產(chǎn)量提升一倍以上,緊跟市場增長預(yù)測,在未來五年內(nèi)將產(chǎn)量增加五倍。為了跟上PZT薄膜MEMS器件市場增長規(guī)模并緩解成本壓力,Silicon Sensing Systems已經(jīng)擴大了其8寸晶圓生產(chǎn)線的產(chǎn)能。
此次擴張是公司兩年重大投資計劃的一部分,投資主要用于升級設(shè)備、功能和產(chǎn)能。隨著Silicon Sensing Systems迎來其MEMS業(yè)務(wù)的20周年,該公司在全球范圍交付的器件已超過3000萬顆。
Silicon Sensing Systems業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Eric Whitley解釋說:“Silicon Sensing Systems因生產(chǎn)高精密的MEMS慣性傳感器而聞名,最近我們向無晶圓半導(dǎo)體客戶開放了代工廠,這些客戶需要為他們的MEMS器件尋找可靠的PZT供應(yīng)源。在過去的3年里,我們看到了強勁的市場需求,許多客戶都在提高產(chǎn)量,并尋求高效、高精密MEMS元件的可靠供應(yīng)。作為團隊的一部分,我們很高興能夠參與該業(yè)務(wù)的發(fā)展和增長。”
Silicon Sensing Systems日本公司總經(jīng)理Hiroshi Tanaka先生負(fù)責(zé)監(jiān)督擴張計劃的執(zhí)行,他補充道:“這是Silicon Sensing Systems不斷發(fā)展過程中的一個重要里程碑。我們的目標(biāo)是到2020年底從現(xiàn)有廠房順利過渡到我們新的可抗震的建筑中。與此同時,我們正在添置許多沉積和蝕刻設(shè)備,包括新的ALD(原子層沉積)設(shè)備,該設(shè)備可用于制備適用于惡劣環(huán)境下的PZT薄膜。”
薄膜PZT MEMS
Silicon Sensing Systems于2010年推出首款濺射PZT薄膜MEMS陀螺儀傳感器:PinPoint?陀螺儀。從那時候起,PinPoint?陀螺儀累計生產(chǎn)已超過1000萬顆,廣泛應(yīng)用于汽車、工業(yè)和商業(yè)領(lǐng)域。作為一款具有超高可靠性(最近3年0 ppm返修率)、高精確度且價格合理的MEMS傳感器,PinPoint?陀螺儀目前仍然是最暢銷的產(chǎn)品,在業(yè)界擁有良好的聲譽。
基于PinPoint?的優(yōu)勢,Silicon Sensing Systems的薄膜材料濺射技術(shù)已達到了領(lǐng)先水平。Silicon Sensing Systems可為全球客戶不同的MEMS器件提供所需的PZT薄膜,如微鏡、噴墨打印頭噴嘴和聲學(xué)器件。在許多的應(yīng)用案例中,Silicon Sensing Systems是將壓電器件從塊體材料向薄膜材料轉(zhuǎn)變的重要推手,而薄膜材料在經(jīng)濟、尺寸和功耗方面更具有優(yōu)勢。
關(guān)于Silicon Sensing Systems公司
日本Silicon Sensing Systems是一家專業(yè)從事慣性傳感器和系統(tǒng)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技公司,由Collins Aerospace和Sumitomo Precision Products兩家企業(yè)合資創(chuàng)辦。該公司成立于1999年,為市場提供硅基微機電系統(tǒng)(MEMS)導(dǎo)航和穩(wěn)定技術(shù)。自公司成立以來,已為成千上萬的客戶提供了近4000萬顆MEMS陀螺儀和加速度計,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于全球各地的汽車ESC、遙控直升機、GPS、機器人等姿態(tài)操控、安全系統(tǒng)。
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原文標(biāo)題:Silicon Sensing Systems擴大MEMS代工產(chǎn)能,積極布局PZT薄膜業(yè)務(wù)
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