在Novoselov和Geim于2004年通過機械剝離方法成功地制備出石墨烯之后,二維材料的最新進展為延續摩爾定律提供了可能。為了彌補零帶隙石墨烯的缺點,越來越多的具有一定帶隙的二維材料(如過渡金屬硫族化合物(TMDS,MX2)、黑磷(BP)和InSe材料等)被合成出來,并且在相關物理性質和器件研究方面也取得了重大進展,從而為延續摩爾定律提供了更大的希望。
1.二維各向異性材料的光學和電學性質
二維材料因其卓越的物理光電性質受到廣泛關注。近些年來,科研工作者們發現了二維材料的一種特殊的性質——面內各項異性。其各向異性主要表現在材料的光學和電學性質在平面內的角度依賴性。
在最近的一篇綜述論文中,來自中國科學院半導體研究所的魏鐘鳴課題組和譚平恒課題組,從材料的結構,拉曼光譜和光電性質三個方面,系統的總結了目前研究前沿的二維各向異性材料。文章中主要對黑砷(B-As)、黑磷(B-P)、砷化鍺(GeAs)、錫化亞鍺(GeSe)、三硫化鈦(TiS3)、硒化錸(ReSe2)和KP15等材料的各向異性進行了詳細的分析。其晶體結構如下圖所示。具有面內各向異性的材料均有低對稱性的晶體結構。
圖1. 二維各向異性材料的晶體結構,包括:(a)正交晶系的黑As;(b)正交晶系的黑P;(c)單斜晶系的GeAs;(d)正交晶系的GeSe;(e)三斜晶系的KP15;(f)單斜晶系的TiS3;(g)三斜晶系的ReSe2。
在目前的研究進展中,黑磷的各向異性是最強的。在1550 nm 的偏振光照射下,二向色性比高達8.7。與黑磷有著相同晶體結構的二維材料黑砷也展現出了優良的面內各向異性性質,其電導的各向異性比高達6.7。以黑磷、黑砷為開創性的結構模型,研究者們發現了越來越多具有各向異性的二維材料。同時人們仍在不斷探索更穩定、各向異性更強的二維材料。各向異性材料在光探測和新概念器件上有很大的應用潛能。相信在科研人員的共同努力下,二維各向異性材料終將會應用到我們的生活中,使生活更加豐富多彩。
2.原子級的薄α-In2Se3:一種新興的二維室溫鐵電半導體
鐵電體從發現至今已有近百年研究歷史,由于其獨特的物理性質與豐富的器件應用始終吸引著眾多研究者的廣泛關注。然而,由于傳統鐵電材料的臨界尺寸效應,二維鐵電物性的研究遲滯不前,微納鐵電器件的發展也受到了極大的制約。近年來,研究人員發現,在二維范德華層狀材料中,可控的鐵電極化能穩定存在于室溫大氣環境下,從而能夠在二維極限厚度上實現二維鐵電性,為超薄鐵電器件的制備與研究提供了材料基礎。
中國科學院強耦合量子物理重點實驗室曾華凌教授綜述了近年來二維鐵電物性研究的相關進展,重點介紹了近期二維α-In2Se3中室溫鐵電性的理論預測、實驗驗證及器件演示。室溫下穩定存在的二維α-In2Se3鐵電體,有希望突破傳統鐵電材料所面臨的尺寸瓶頸,有助于進一步在二維極限下研究鐵電極化、鐵電疇結構以及進而設計微納鐵電器件。此外,α-In2Se3面內-面外方向鐵電極化鎖定的獨特性質,也為利用面內方向電場進行面外方向電極化的正交調控提供了機會。
圖. 基于少層α-In2Se3的二維非易失鐵電存儲器
3.聚合物輔助沉積的大尺寸二維材料的合成、性能及應用
自從2004年成功剝離了單層石墨烯,揭示了二維材料具有優良的物理性能。這些新奇的性能激勵了許多基礎研究和眾多應用領域,諸如:電子學,光子學,壓電學和自旋電子學。與傳統的實驗方法相比,聚合物輔助沉積法(PAD)具有低成本,大面積,易摻雜和保形涂層等優點。同時聚合物輔助沉積法制備出來的材料,已經成功應用于柔性透明電路,光電探測器和基于褶皺的器件。
西安交通大學理學院張磊教授和清華大學材料科學與工程學院劉鍇教授綜述了近年來在二維材料合成中PAD的研究進展。首先,介紹了PAD的原理和工藝步驟。其次,介紹了二維材料包括石墨烯、MoS2和MoS2/玻璃狀石墨烯異質結構等以證明PAD的重要性,并為讀者提供評估該方法的機會。最后,討論了該領域未來的發展前景和面臨的挑戰。本文提出了一種制備二維層狀材料的新技術,并對二維層狀材料的新應用具有一定的啟發意義。
圖2. 聚合物輔助沉積方法生長薄膜的應用。
4.石墨烯上生長薄層抗氧化晶體硅納米結構
North Carolina大學電氣與計算機工程系張勇教授報道了石墨烯基板上Si納米結構薄膜以及納米顆粒的生長。通過觀察在520 cm-1附近波長單晶Si拉曼模式,結合在周圍環境條件下有序表面結構的STM圖像以及其與石墨形成的肖特基結,可以發現生長出的Si納米結構為單晶結構,且這種結構在空氣中穩定性好并可以抗氧化。超薄硅區域表現出了類似硅烯的行為特征,包括在550 cm-1附近的拉曼模式、STM圖像中具有與石墨烯或更厚的Si明顯不同晶格間距的三角形晶格結構、金屬電導率比石墨高出500倍等。本文提出了一種自下而上在大規模石墨烯襯底上生長Si納米結構陣列的方法,采用這種方法制成的襯底可用于生產納米級Si電子器件。
圖1. 石墨襯底上外延Si的SEM圖像。(a)和(b)為S1上的兩個區域;(c)和(d)為S2上的兩個區域。
5.用Dirac-like方程和Schr?dinger方程計算的石墨烯納米帶隧道場效應晶體管中隧道電流的比較
印度尼西亞Pendidikan大學電子材料研究部物理系Endi Suhendi教授對石墨烯納米帶隧道場效應晶體管(GNR-TFET)中的隧穿電流進行了量子力學建模。基于Dirac-like方程和Schr?dinger方程的計算,比較了GNR-TFET中的隧道電流。本文采用數值方法即轉移矩陣法(TMM)計算電子透射率,并使用Launder公式計算隧道電流。結果表明,相同的參數下使用兩個方程計算的隧道電流即使數值不同,但仍具有相似的特征。文中應用Dirac-like方程計算的隧道電流值低于使用Schr?dinger方程計算的隧道電流。
圖3. (a)Schr?dinger和Dirac-like方程計算得不同氧化層厚度下的隧道電流隨漏極電壓的變化曲線;(b)Dirac-like方程計算得不同氧化層厚度下隧道電流隨漏極電壓的變化曲線。
6.雙層銻烯-金屬界面
場效應晶體管作為現代大規模集成電路中非常重要的電子元件,在集成電路存儲器和傳感器等現代電子應用中有非常廣泛的應用。日新月異的電子產品行業發展也迫使行業對電路性能、晶體管的集成尺寸提出了更高的要求。二維半導體作為一種非常可靠的溝道材料選擇,其超薄的厚度能夠規避簡單縮小器件尺寸帶來的短溝道效應。除此之外,二維半導體的表面平整,沒有缺陷態或懸掛鍵,可以抑制粗糙表面帶來的散射并且提高載流子遷移率。基此二維半導體材料作為晶體管溝道的輸運性質就變得非常重要。由于缺少可行的手段,實驗上通常將二維半導體與金屬接觸以達到摻雜狀態。然而,兩者接觸面處通常會形成肖特基勢壘,阻礙載流子的移動。
碲烯是一種具有高載流子遷移率、高開關比和優異的空氣穩定性的二維半導體材料,北京大學物理學院呂勁教授通過第一性原理模擬計算對雙層碲烯-金屬電極的界面性質做出有效的計算,并為實驗上基于雙層碲烯晶體管的金屬電極選擇提供參考。
圖7. (a)基于功函數近似(Φe/hL,W)和量子輸運模擬(Φe/hL,T)方法得到的BL碲烯場效應晶體管的電子和空穴SBH的比較;(b)橫向SBH與電極材料功函數的關系圖。藍線和粉線分別表示用于功函數近似和量子輸運模擬得電子SBH的擬合線。粉色透明橢圓表示在量子輸運計算中可以克服體金屬電極電子SBH的最小橢圓面積;(c)BL碲烯晶體管中費米能級釘扎(FLP)示意圖。
7.原子級薄層AuSe的電子能帶結構和光學性質:第一原理計算
通過分離范德華層狀晶體制備新型二維單層或多層材料,二維新材料家族在近十年來被不斷擴大。它們擁有許多常規塊體材料所不具有的新奇性質,這主要得益于納米尺度所特有的量子限域效應及表面效應。例如具有高載流子遷移率的二維半導體黑磷,非常有望作為新一代FET溝道材料以解決目前低于10 nm制程的集成電路中明顯的短溝道效應。又比如過渡族金屬硫化合物(TMDCs),自從具有高開關比的二維MoS2被報道后它們就作為一個大家族吸引著廣大研究者的研究興趣。然而這些材料都很不湊巧地存在一些致命的缺陷——黑磷在空氣中會迅速分解,而MoS2的載流子遷移率過低。
因此,人們依然處于不斷搜尋的進程中,以期獲得具有合適性能的新型二維材料。在此過程中,過渡族金屬硫化物的金屬元素與硫元素計量比被發現不必拘束于常規的1:2的形式,同時過渡族金屬也不僅限于常見的Mo與W,這將成為擴展這一家族的又一新途徑。沿著這一思路出發,南京理工大學材料科學與工程學院曾海波教授發現了具有范德華層狀結構的貴金屬硒化物AuSe,它的二維形式是具有獨特幾何結構的單層晶體。計算結果表明這種新型二維材料是一種禁帶寬度為2.0 eV的間接帶隙半導體,具有良好的動力及熱力學穩定性。這種新材料的吸收光譜仿真結果表明它對深紫外波段的入射光具有高吸收率,意味著這種新型二維半導體對深紫外光具有較高的響應度。研究結果預示二維AuSe有潛力被應用在日盲型光電探測相關領域,也為對它進一步的應用發掘提供了理論依據。
圖1. (a)2×2×1超大單元的體AuSe結構;(b)俯視圖下二維AuSe結構;(c)側視圖下二維AuSe結構;(d)單層AuSe和黑P的解理能。
8.Mo1-xWxSe2合金的襯底和層間耦合效應
二維(2D)過渡金屬硫屬化物合金材料的帶隙可通過調節成分控制,使其在光電探測器方面有著潛在的應用。帶隙工程的研究對于2D材料在器件中的應用非常重要。
華東師范大學電子工程系多維信息處理上海重點實驗室吳幸教授利用化學氣相沉積(CVD)方法在云母、藍寶石和SiO2/Si襯底上生長了Mo1-xWxSe2合金,首次成功的利用CVD方法在云母襯底上合成Mo1-xWxSe2合金。利用光致發光(PL)光譜儀技術研究襯底和層間耦合效應對所制備的Mo1-xWxSe2合金光學帶隙的影響,發現所使用的襯底對所制備的Mo1-xWxSe2的光學帶隙影響較小,層間耦合效應對所制備的Mo1-xWxSe2光學帶隙的影響大于襯底效應。這些研究結果為今后研究二維合金材料的生長和物理性質提供了新的途徑。
圖Mo1-xWxSe2合金在SiO2/Si、云母和藍寶石襯底上的PL光譜
9.混合納米結構中磁偶極子共振對石墨烯的寬帶寬吸收
石墨烯由于具有優越的電學、力學、光學特性,因此其自被發現后一直是科研的研究熱點。提高石墨烯吸收效率是研究熱點之一,由于石墨烯僅有一個原子層的厚度,所以其在可見光和近紅外波段吸收效率僅有2.3%,這嚴重限制其在太陽能電池和光電探測器上的應用。為此許多科研工作者提出不同的方法以提高石墨烯的吸收效率,但是可以發現他們僅僅在很窄的波段內提高石墨烯的吸收效率,并沒有實現石墨烯寬波段高吸收效率。
衢州理工學院信息工程學院江孝偉教授提出利用混合納米結構實現在提高石墨烯吸收效率的同時具有寬吸收帶寬,具體結構如下圖所示,石墨烯夾雜在Ag光柵和二氧化硅之間。在該混合納米結構中,三個光柵條具有不同的寬度,因此三個不同的光柵條可以激發出不同的磁激元共振,經過研究發現,通過調整三個光柵條之間的距離,可以使三個不同的磁激元共振疊加,從而實現石墨烯的寬吸收帶寬,經過模擬計算可得,該混合納米結構可以實現311 nm的吸收帶寬(吸收效率大于30%)。基于本文提出的混合納米結構,可以進一步的加快石墨烯在太陽能電池上的應用。
圖1. 文中提出的可以擴大石墨烯吸收帶寬的混合納米結構。
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原文標題:半導體學報2019年第6期——二維材料物理性質與光電器件專刊
文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
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