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不只一臺刻蝕機 燕東微北京8英寸項目搬入多臺北方華創設備

mvj0_SEMI2025 ? 來源:yxw ? 2019-07-05 14:27 ? 次閱讀

近日,燕東微北京8英寸項目首批設備搬入,而北方華創制造的刻蝕機作為首臺設備搬入廠房。

據北方華創官方最新消息,除首臺搬入的等離子硅刻蝕機外,北方華創即將搬入的設備,還包含多晶硅刻蝕機、金屬刻蝕機、深硅刻蝕機、磁控濺射PVD、高溫擴散爐、中溫氧化爐、濕法清洗機、濕法去膠機等設備。

據悉,燕東微電子8英寸集成電路研發產業化及封測平臺項目是北京首條大規模量產8英寸的集成電路產線,總投資48億元,于2016年9月27日正式啟動。其芯片生產廠房包含一條月產5萬片(25次光刻)0.25um-0.09um(典型工藝為0.11um)、BCD兼容工藝的8英寸芯片生產線。未來擬生產產品包括顯示驅動電路、功率器件、封測產品等。同時,項目通過與國際頂尖驅動電路、功率器件廠商合作,將建成國內技術最先進的特色工藝產線。

為推進該項目的建設,燕東微電子還于2018年1月發布增資項目,2018年6月正式敲定增資方案,大基金聯合三家國企斥資28億實施入股,電子城等還通過非公開渠道再投資12億元。

燕東微電子隸屬北京電子控股有限責任公司旗下,后者由北京市電子工業辦公室轉制而來,目前是北京市國資委授權的以電子信息產業為主業的國有特大型高科技產業集團。

公開信息顯示,燕東微電子成立于1987年,是一家專業化的半導體器件芯片設計、制造、銷售的全資國有高科技企業。目前,燕東微電子的客戶涵蓋了包括蘋果、華為、小米等用戶在內的客戶群體。

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