掌握全球唯一EUV***研發、生產的荷蘭ASML（阿斯麥）公司今天發布了2019年Q2季度財報，當季營收25.68億歐元，其中凈設備銷售額18.51億歐元，總計出貨了41臺***，其中EUV***7臺。

在Q2季度中，ASML公司獲得了10臺EUV***訂單，而且這些訂單不只是用于邏輯半導體工藝，還首次用于存儲芯片——在此之前，三星表示將在未來的內存芯片生產中使用EUV***，ASML的存儲芯片訂單應該是來自三星了。

對于EUV***，目前最主要的問題還是產能不足，ASML現在出售的***型號是NXE:3400B，每小時晶圓產能是150到155wph，不過Q2季度中ASML已經升級到了NXE:3400C型號，產能提升到了170wph，已經有客戶做到了每天生產2000片晶圓的水平了。

根據ASML的路線圖，未來EUV***的產品還會再有一次提升，每小時晶圓產能最終將達到185wph，不過要等到2021到2022年了。

再往后的話，EUV***就要進入下一代了，提升光刻分辨率要靠新的物鏡系統，ASML前幾年就投資了蔡司光學20億美元，雙方將共同研發NA=0.55的High NA（高數值孔徑）透鏡，可以進一步提升***的分辨率。

根據ASML的計劃，High NA（高數值孔徑）透鏡的新一代EUV***與在3nm節點引入，時間點是2023年到2025年，距離現在還早呢。