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電子發(fā)燒友網>電源/新能源>功率器件>中科院物理研究所實現(xiàn)8英寸碳化硅生長的突破

中科院物理研究所實現(xiàn)8英寸碳化硅生長的突破

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6.1.4 半絕緣區(qū)域的離子注入∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.1.4半絕緣區(qū)域的離子注入6.1離子注入第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.1.3p型區(qū)的離子注入∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2022-01-06 09:23:25402

6.1.3 p型區(qū)的離子注入∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.1.3p型區(qū)的離子注入6.1離子注入第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.1.1選擇性摻雜技術∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2022-01-06 09:21:13565

6.1.1 選擇性摻雜技術∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.1.2n型區(qū)的離子注入6.1離子注入第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.1.1選擇性摻雜技術∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2022-01-06 09:17:33617

6.3.3 熱氧化氧化硅的結構和物理特性∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.3.3熱氧化氧化硅的結構和物理特性6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.3.2氧化硅的介電性能∈《碳化硅技術基本原理
2022-01-04 14:10:56564

7.2 肖特基勢磊二極管(SBD)∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

7.2肖特基勢磊二極管(SBD)第7章單極型和雙極型功率二極管《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:7.1.3雙極型功率器件優(yōu)值系數(shù)∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2022-02-09 09:27:53440

碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》全書

第1章導論1.1電子學的進展1.2碳化硅的特性和簡史1.3本書提綱第2章碳化硅物理性質2.4總結2.3熱學和機械特性2.2.6擊穿電場強度2.2.5漂移速率2.2.4遷移率2.2.3雜質摻雜
2022-05-09 17:19:452152

6.3.4.6 C-Ψs方法∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.3.4.6C-Ψs方法6.3.4電學表征技術及其局限性6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.3.4.5高低頻方法
2022-01-10 14:04:39631

6.3.4.7 電導法∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.3.4.7電導法6.3.4電學表征技術及其局限性6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.3.4.6C-Ψs方法
2022-01-12 10:44:27394

6.4.1.2 SiC上的肖特基接觸∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.1.2SiC上的肖特基接觸6.4.1n型和p型SiC的肖特基接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.4.1.1基本原理∈《碳化硅技術
2022-01-24 10:22:28480

6.3.4.1 SiC特有的基本現(xiàn)象∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

的結構和物理特性∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.3.2氧化硅的介電性能∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.3.1氧化速率
2022-01-05 13:59:37493

6.4.2.1 基本原理∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.1基本原理6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.4.1.2SiC上的肖特基接觸∈《碳化硅技術
2022-01-24 10:09:121034

6.1.5 高溫退火和表面粗糙化∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.1.5高溫退火和表面粗糙化6.1離子注入第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.1.4半絕緣區(qū)域的離子注入∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2021-12-31 14:25:52549

7.3 pn與pin結型二極管∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

7.3pn與pin結型二極管第7章單極型和雙極型功率二極管《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:7.2肖特基勢磊二極管(SBD)∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2022-02-10 09:18:15614

8.1.4 比通態(tài)電阻∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

8.1.4比通態(tài)電阻8.1結型場效應晶體管(JFET)第8章單極型功率開關器件《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:8.1.3飽和漏極電壓∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征
2022-02-20 16:16:46636

6.2.1 反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.2.1反應性離子刻蝕6.2刻蝕第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.1.6離子注入及后續(xù)退火過程中的缺陷行成∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2021-12-31 10:57:22817

6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.2n型SiC的歐姆接觸6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.4.2.1基本原理∈《碳化硅技術
2022-01-25 09:18:08743

6.2.2 高溫氣體刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.2.2高溫氣體刻蝕6.2刻蝕第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.2.1反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.6
2021-12-31 10:31:17722

8.1.6 功率JFET器件的實現(xiàn)∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

8.1.6功率JFET器件的實現(xiàn)8.1結型場效應晶體管(JFET)第8章單極型功率開關器件《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:8.1.5增強型和耗盡型工作模式∈《碳化硅技術
2022-02-21 09:29:28537

6.3.4.2 MOS電容等效電路∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

特有的基本現(xiàn)象∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.3.3熱氧化氧化硅的結構和物理特性∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.3.2氧
2022-01-07 14:24:25420

5.3.2.1 壽命控制∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.2.1壽命控制5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:5.3.2載流子壽命“殺手
2022-01-06 09:38:25510

5.3.2 載流子壽命“殺手”∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.2載流子壽命“殺手”5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:5.3.1.2雜質∈《碳化硅
2022-01-06 09:37:40535

5.3.1.2 雜質∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.1.2雜質5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:5.3.1.1本征缺陷∈《碳化硅技術
2022-01-06 09:30:23552

5.3.1.1 本征缺陷∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.1.1本征缺陷5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:5.2.3擴展缺陷對SiC器件性能
2022-01-06 09:27:16693

6.4.2.3 p型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.3p型SiC的歐姆接觸6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.4.2.2n型SiC的歐姆接觸
2022-01-26 10:08:16636

三安光電8英寸碳化硅量產加速!

業(yè)內人士預測,今年將成為8英寸碳化硅器件的元年。國際功率半導體巨頭Wolfspeed和意法半導體等公司正在加速推進8英寸碳化硅技術。在國內市場方面,碳化硅設備、襯底和外延領域也有突破性進展,多家行業(yè)龍頭選擇與國際功率半導體巨頭合作。
2023-10-24 17:11:21967

環(huán)球晶將加快8英寸碳化硅基板產能建設

環(huán)球晶董事長徐秀蘭10月26日表示,她2年前錯估了客戶對8英寸碳化硅(SiC)需求,現(xiàn)在情況超出預期,她強調環(huán)球晶將加快8英寸碳化硅基板產能建設,預估明年將送樣給需要8英寸基板的客戶進行認證,并于2025年量產。
2023-10-27 15:07:43394

碳化硅器件在UPS中的應用研究

碳化硅器件在UPS中的應用研究
2023-11-29 16:39:00240

晶盛機電:正式進入碳化硅襯底項目量產階段

晶盛機電公司決定從2017年開始,碳化硅生長設備及技術研發(fā)(r&d)開始,通過研究開發(fā)組的技術攻堅,2018年,公司成功開發(fā)了6英寸生長碳化硅決定,2020年長征及加工研發(fā)試驗生產線建立。”
2023-12-06 14:08:17379

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工,需要在其上經過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實現(xiàn),高質量的碳化硅同質外延材料是碳化硅器件研制的基礎,外延材料的性能直接決定了碳化硅器件性能的實現(xiàn)
2023-12-15 09:45:53607

河南第一塊8英寸碳化硅SiC單晶出爐!

平煤神馬集團碳化硅半導體粉體驗證線傳來喜訊——實驗室成功生長出河南省第一塊8英寸碳化硅單晶,全面驗證了中宜創(chuàng)芯公司碳化硅半導體粉體在長晶方面的獨特優(yōu)勢。
2024-02-21 09:32:31337

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