????濕膜以它優(yōu)良抗蝕抗電鍍性能、高分辨率和多種涂布形式以及設(shè)備通用和廉價等在電路板行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。濕膜普及應(yīng)用推動了集成電路合微電子技術(shù)發(fā)展是電路材料發(fā)展重大成就。
????濕膜突出一點(diǎn)就是耐多種酸性蝕刻液:酸性氯化銅蝕液、三氯化鐵蝕刻液、硝酸系列蝕刻液、硫酸雙氧水蝕刻液。這些蝕刻液除用于電路板蝕刻液外,有還用于鋼鐵、不銹鋼、鋁標(biāo)牌、面板蝕刻。在雙面板及多層板外層蝕刻時均以鍍層做為抗蝕層,而蝕刻液為堿性氯化銅蝕刻液。在多層板內(nèi)層生產(chǎn)中,多以濕膜做掩膜制造圖型。因銅層較厚,而濕膜在一定條件下完全能耐堿性氯化銅蝕刻液蝕刻,樣不僅節(jié)省了一臺設(shè)備,減少了生產(chǎn)面積,省去了輔助設(shè)備和蝕刻液調(diào)整與維護(hù),也減少了污染。
????濕膜有良好耐蝕性并非表現(xiàn)在電路板直接蝕刻,因為一般敷銅厚度在18um、35um或者更薄。最突出還是用于壓輥模具制造掩膜蝕刻深度在0.2~0.4mm,用硝酸蝕刻設(shè)備。蝕刻方式均按壓輥?zhàn)赞D(zhuǎn)浸入法,時間約5~10分鐘,用于大規(guī)模集成電路框架蝕刻大都用于三氯化鐵溫度40~45℃,時間4~6分鐘不等雙面蝕刻。在標(biāo)牌、面板蝕刻中,廢液處理和排放是個大問題,在無條件回首和處理廢蝕刻液小城市更為突出。近幾年來風(fēng)靡全行業(yè)電蝕刻工藝解決了這一難題。花上幾千元就可以購買一臺設(shè)備,這是因為電蝕刻液為無污染蝕刻液,因此也就無需解決蝕刻液處理和排放。但是用于電蝕刻掩膜,是用自動刻字機(jī)預(yù)先刻出不干膠圖型,然后再轉(zhuǎn)貼到被蝕刻表面進(jìn)行電蝕刻,這樣就限制了成批生產(chǎn)而細(xì)小字及較精細(xì)復(fù)雜圖案無法加工,改使用濕膜后,無論是單件還是大批量,無論圖案復(fù)雜精細(xì)與否。均能操作自如。另外,濕膜用于陽紋圖案大面積蝕刻標(biāo)牌面板更能顯示出它優(yōu)良性能:底面平整,側(cè)蝕較小。??
????近幾年來濕膜又普遍用于標(biāo)牌、面板、金屬畫、濾網(wǎng)、柵網(wǎng)、集成電路框架掩膜。過去制造這些產(chǎn)品掩膜都是以重鉻酸鹽為感光劑骨膠和聚乙烯醇現(xiàn)在用濕膜代替不僅縮短了生產(chǎn)周期,避免了六價鉻排放,為環(huán)保立了大功,也消除了對操作工人毒害。
濕膜應(yīng)用概述
- 濕膜(7027)
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干膜是一種高分子的化合物,它通過紫外線的照射后能夠產(chǎn)和一種聚合反應(yīng)形成一種穩(wěn)定的物質(zhì)附著于板面,從而達(dá)到阻擋電鍍和蝕刻的功能。精確的厚度測量可控制產(chǎn)品質(zhì)量并節(jié)省材料消耗。干膜測量可實(shí)現(xiàn)無損傷測量和多層次的損傷測量。
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