摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術之一。在21世紀，它具有革命性的工業和結合以硅為基礎的微電子產品微加工技術。它的技術和微系統電子設備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統文章全部詳情
2023-04-24 09:21:00
259 本文介紹ADI公司在微機電系統（MEMS）開關技術方面的突破。與傳統的機電繼電器相比，ADI公司的MEMS開關技術在RF和DC開關性能、可靠性和小型化方面實現了巨大的飛躍。
2023-01-05 14:29:24791 
微機電系統（MEMS）是一種使能技術。它將半導體技術的多功能性與機械結構的功能融為一體，開辟了全新的應用領域。MEMS技術使智能手機能夠提供方向，或健身追蹤器來檢測我們何時跑步，坐著或睡覺。但是，MEMS技術可以做的不僅僅是“感覺”。它可以作為系統的輸入，或輸出（執行器）和控制或反饋回路的組成部分。
2022-10-14 11:11:48718 射頻微機電系統 (RF MEMS) 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統的MEMS制造技術生產。它們類似于房間中的電燈開關，通過觸點打開或關閉在開關中傳輸信號。在RF MEMS器件中，開關的機械組件大小只在微米級別。與電燈開關不同的是，RF MEMS開關傳輸的是射頻信號。
2022-05-18 10:22:071597 
什么是射頻微機電系統開關？ ? 射頻微機電系統 (RF MEMS) 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統的MEMS制造技術生產。它們類似于房間中的電燈開關，通過觸點打開或關閉在開關中傳輸信號。在
2022-05-16 16:14:203488 
什么是射頻微機電系統開關？ 射頻微機電系統 （RF MEMS） 開關是低功耗小型微機械開關，可以使用傳統的MEMS制造技術生產。它們類似于房間中的電燈開關，通過觸點打開或關閉在開關中傳輸信號。在RF
2022-05-12 17:19:151579 
來源：Simon? 半導體芯科技 微機電系統或稱MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技術制造的小型化機械電子器件（即設備和結構）。MEMS的物理
2022-03-04 18:49:071379 MEMS（微機電系統）元件的失效機制從本質上講和與之相對應的宏觀（肉眼可見）元件，具有很大差別并且是獨特的。本文討論從各種MEMS元件中觀測到的失效機制。需要強調的是，MEMS裝置的組裝使用散裝表面
2021-12-13 09:37:37938 
系統技術基礎所涉及的材料、微機械設計和模、微細加工技術以及微封裝與測試等領域,并對微機電系統的應用、典型的微器件、國內外的發展現狀及前景進行全面分析. 在此基礎上,論述了MEMS 技術目前存在
2009-03-17 15:29:51
基于壓力發電的遠程微機電電源系統
2021-07-05 11:37:20
4 ：更小的尺寸、更加廣泛的應用，以及即使是在低壓、極短的放映時間內也能達到精確的氣體密度測量。 1.什么是MEMS技術： MEMS的全稱，是Micro-Electro-Mechanical Systems，即微機電系統，該技術是基于硅半導體技術的基礎上，在復雜的微系統中結合了微電子和微機械等功能。是在
2020-12-28 15:42:4018757 MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。
2020-12-25 15:34:493638 專有的基于微機電系統(MEMS)的硅芯片，推動實現商業化，并加快Evonetix的首款產品（DNA桌面寫入器）的開發。
2020-09-27 12:04:342121 微機電系統（MEMS），在歐洲也被稱為微系統技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微機械加工技術批量制作的、集微型傳感器、微型機構、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口、通訊等于一體的微型器件或微型系統。
2020-07-10 16:23:201998 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統): 第二部分
2019-08-21 06:05:001573 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統): 第四部分
2019-08-13 06:00:001578 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統): 第三部分
2019-08-06 06:18:002782 、無法使用連續滾壓的Roll to Roll方式量產、制作結構復雜時可能出現累積誤差的現象等等，而這些問題也成為未來要強化MEMS在顯示應用上的發展時，所必須克服的挑戰。 投影機為MEMS顯示應用典范 由于奈米技術的躍升，微機電系統（MEMS；Mic
2018-11-22 18:09:01325 MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現MEMS陀螺儀長期穩定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。
2018-07-17 08:28:001352 微機電系統是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工藝更加精密，需要更高的技術，微機電系統早在國外就有應用，我國起步晚，在MEMS方面的投入逐漸增大，所占市場股份越來越大。微機電系統的出現和發展是現代科學創新思維的結果，也是微觀尺度制造技術方面的進化和革命。
2018-04-26 15:58:1010743 
硅基MEMS加工技術主要包括體硅MEMS加工技術和表面MEMS加工技術。體硅MEMS加工技術的主要特點是對硅
2018-04-12 08:40:449081 
數十年來，振蕩器和時鐘始終依靠石英晶體來構建穩定的參考頻率。晶體在許多應用中表現出十分優異的性能。但十年前，用MEMS諧振器代替石英晶體的微機電系統（ Microelectromechanical System，MEMS）技術進入了市場，并且正在迅速走向成熟。
2018-03-21 16:39:571 、微電子材料科學、微細加工、系統與控制等技術學科和物理、化學、力學、生物學等基礎學科。它將在21世紀的信息、通信、航空航天、生物醫療等多方面獲得重大突破，從而對世界科技、經濟發展和國防建設帶來深遠響，德國Weissler把MEMS稱為系
2018-01-24 11:08:280 甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。微機電系統是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號
2017-09-14 09:43:436 美國國家標準與技術研究所（NIST）日前展示一款采用微機電系統（MEMS）的延遲線內存控制器，可望作為未來量子電腦的暫存內存控制器。
2013-03-21 09:12:171028 微機械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機械加工技術、結合加工、逐次加工。
2013-01-30 13:53:529889 
微機電系統（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。
2013-01-22 16:50:122132 本文重點描述運用MEMS微機械加工工藝技術設計、加工、生產胎壓傳感器IC芯片，希望對大家學習MEMS有所幫助
2012-12-11 14:17:266894 市場研究機構Yole Developpement公布最新前三十大微機電系統(MEMS)業者排名。
2012-03-29 09:55:351542 
微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。
2011-09-13 17:36:273036 微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。
2011-09-13 17:33:583437 MEMS微機電系統基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智能系統，主要由傳感順、作動器(執行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 17:28:432374 微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的.電子發燒友為大家提供了詳盡的技術知識。
2011-09-13 17:02:18
相信每個人或多或少都聽過報章雜志提到微機電系統(以下簡稱MEMS: Micro Electronic Mechanical System)，而意法半導體(STMicroelectronic)在
2011-01-27 09:19:051957 
意法半導體(ST)日前最新推出的微機電系統(MEMS)LPS001WP，該壓力感測器成功實現智慧型手機以及其它可攜式裝置能夠確
2010-12-07 09:05:061483 DIGITIMES Research指出，微機電系統(MEMS)慣性組件應用已起飛，目前尤以手機中的應用最被全球業者所看好，故業者將
2010-11-23 09:14:55879 摘要：對微機電系統（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）組裝與封裝工藝的特點進行了總結分析，給出了MEMS組裝與封裝設備的研究現狀。針對MEMS產業發展的特點，分析了面向MEMS組裝與
2010-11-12 02:10:2945 歐勝世界領先的數字微機電系統(MEMS)麥克風帶來通透清朗的音頻
中國北京，2010年11月4日 - 歐勝微電子有限公司日前正式發布其下一代
2010-11-08 21:55:20723 微機電 (MEMS) 技術在電子產品中的地位愈來愈重要，不論是在汽車、工業、醫療或軍事上需要用到此類精密的元器件，在信息、通訊和消費性電子等大眾的市場，也可以看到快速增長
2010-07-17 09:33:501204 
創建靈敏的MEMS結構的工藝技術介紹
表面微加工技術可用于創建微機電傳感器及激勵器系統，它能夠通過高適應度的彈性，形成錨
2010-03-11 14:20:49598 微機電系統的發展及其應用:微機電系統是在微電子技術基礎上產生和發展起來的多學科交叉的前沿科學研究領域,是面向21 世紀的高新科技. 介紹了微機電系統產生的背景影響、組成
2009-12-29 23:45:4235 隨著MEMS 加工工藝的發展，微機電系統的材料特性引起了人們越來越多的關注。由于硅晶材料的殘余應力會降低MEMS 系統結構的使用壽命，頻繁的沖擊會對器件造成致命的傷害。因此
2009-11-23 14:12:3915 微機電系統（MEMS）是當前一個發展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統的產生與發展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，
2009-11-23 13:32:5914 論述了微機電系統設計工具的發展概況，并針對微機電系統的多樣性對設計工具的需求提出了一種可支持任意流程的微機電系統設計工具架構。該架構以系統級行為建模與仿真、器
2009-11-16 13:52:3424 微機電系統(MEMS) 和納機電系統(NEMS) 是微米/ 納米技術的重要組成部分。MEMS已在產業化道路上發展,NEMS 還處于基礎研究階段。分析了微/ 納機電系統的發展特點,簡要地介紹了典型
2009-11-16 11:24:079 SOC 片上系統在國民經濟與社會生活中，許多行業生產了所需求的產品。MEMS微機電系統和Smart Dust 智能微塵的出現，不但使生產、生活產生
2009-09-15 08:17:1518 微機電系統是一個新興的技術領域. 闡述了微機電系統的特點、加工工藝、應用及其現狀和發展趨勢.[關鍵詞] 微機電系統;微機械;微傳感器;微細加工技術
2009-06-20 10:59:1935 分析了分布式微機電系統特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統構成進行了研究，提出了采用多主體技術實現分布式MEMS控制的框架。對系統的模型、微機電主體的結構、行為
2009-05-25 21:40:3721 微機電系統（MEMS）是當前一個發展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統的產生與發展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，
2009-05-25 09:34:026 微機電系統是在微電子技術基礎上產生和發展起來的多學科交叉的前沿科學研究領域,是面向21 世紀的高新科技. 介紹了微機電系統產生的背景影響、組成特征和基礎研究內容,綜述
2009-03-11 17:16:5528
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