在高頻應用中,泄漏電容是一個重要考慮因素。對于這些應用來說,隔離通常用dB表示。例如,60dB表示通道至通道的隔離為1,000:1,意味著一個通道上的1V信號會溢開,并在相鄰通道上變成1mV的信號。請記住,開發測試系統的開關部分時,也必須考慮開路觸點隔離電阻。開路觸點之間及相鄰通道之間的隔離越高,通過系統的信號的完整性就越好。
偏置電流:即使測試信號不存在,開關卡上也會出現這種電流。最大電流是由于機電繼電器中有限的線圈至觸點阻抗引起的。無論是哪種類型的繼電器,開關卡上的靜電、壓電和電氣化學現象也會產生偏置電流。
例如,在對晶圓和單個器件進行半導體參數測試期間進行低電平和高阻抗測量時,偏置電流就很重要。對半導體器件和材料進行泄漏電流測量時,低偏置電流是一項相當重要的技術指標。進行半導體C-V特性測量時,偏置電流也很重要。
偏置電流指標的范圍可從不足1pA到1nA不等,具體值取決于卡的設計和使用目的。生產用于相對較高電平的直流電流和電壓切換的開關卡的廠商可能不會提供偏置電流指標,因為在這些應用中,該指標一般都不重要。
繼電器切換速度:繼電器的工作速度對開關型測試系統的吞吐能力有著直接的影響。系統開發人員必須注意繼電器的速度指標,以確保獲得精確的測量結果。典型的測試方案是向待測器件(DUT)施加一個激勵信號,等待一小段時間后,待測試系統和待測器件產生反應并穩定到最終值,最終測量待測器件的響應。如果在系統充分穩定之前測量,測量結果可能不準確。
繼電器的工作速度是其觸點能夠可靠工作的開關速度的度量。該速度受繼電器的動作時間和釋放時間的限制。動作時間是從向線圈加電到觸點穩定之間的時間。因此,動作時間包括觸點回跳時間。釋放時間與動作時間是對應的,它是從線圈掉電到觸點達到穩定所需要的時間,也包括回跳時間。
系統穩定時間中的大部分時間與繼電器回跳時間相關,繼電器回跳穩定后,才會在信號通路中建立穩定可靠的連接。不同的繼電器,穩定時間各不相同,通常只相差數毫秒。有時候,繼電器開關卡有內置延遲電路,用于避免產生與觸點回跳引起的問題。此外,一些開關設備甚至具有用戶可編程延遲時間。
固態開關的使用:標準機電繼電器可以在數毫秒內從一種狀態切換到另一種狀態,如此快的時間對于某些應用來講綽綽有余。但是,在測試時間牽涉到成本問題的生產應用中,切換時間可能還是太長。固態繼電器(例如晶體管,FET)的切換時間更快,通常不到1毫秒。從幾毫秒縮短到幾百微秒可以節省大量測試時間,同時可以提高測試吞吐能力。
固態繼電器的另一個優勢是可靠性。固態繼電器的開關壽命差不多是機電繼電器開關壽命的100倍。優質機電繼電器的開關壽命差不多是1,000萬次,而固態繼電器的開關壽命為約100億次。
一個缺點是大約為數十歐姆的固態繼電器“導通”電阻。如此高的電阻會導致用雙線電阻測量時的測量結果不準確。試圖從“導通”電阻測量電路中阻值為幾毫歐,功率超過10W的電阻實際上會使這種低電阻測量失效。
可采用的一個解決方法是使用所謂的黃金通道或標準通道。該通道是器件端短路的通道。先閉合該通道,進行電阻測量,再從所有其他通道減去該測量值。因此,“導通”電阻基本上被歸零。問題是這只適用于黃金通道,不同的通道會略有不同。使用這種方法取決于要測量的電阻值和所需的精度。
對該電阻值進行校正的另一種方法是是使用四線(開爾文)測量法,這種測量法使用兩個通道,而不是一個通道。一個通道用于源出電流,另一個通道用于感應電壓。這是測量低電阻的標準方法。使用機電或簧片繼電器只能測量數十毫歐的觸點電阻,在使用雙線測量法進行低電阻測量時,這種方法更具優勢。
其他穩定時間問題:除機械問題外,還有與開關的開路和閉合相關的電氣問題。機械繼電器的觸點開放或閉合時,會出現大約幾皮庫的電荷轉移,這會在測試電路中產生電流脈沖。電荷轉移是由觸點的機械釋放或閉合、觸點至觸點電容以及信號與繼電器驅動線路之間的寄生電容引起的。此現象會影響信號穩定時間和信號完整性。
另外,還要考慮信號的性質。一些源自待測器件的信號達到穩定所需要的時間比其他信號要長。一般來說,待測器件輸出信號的上升時間被定義為當激勵信號瞬間從零上升到某個固定值時,待測器件輸出信號從其最終值的10%上升到最終值的90%所需的時間。如果信號源自極高阻抗(產生非常低的電流),則可能需要幾秒種甚至幾分鐘才能穩定。穩定時間與為電纜充電的小電流或電路中的寄生電容直接相關。阻抗越高,電流越低,穩定需要的時間就越長。
確保測試系統已經充分穩定是進行精確測量的關鍵。列出繼電器動作時間的規格參數只是確定一個測量序列總測度時間的第一步??刂崎_關卡的主機或切換儀器也會產生一些開銷,該時間是它在測試序列中連接次數命令的函數。它隨測試序列的設計的不同而有所不同,但一些切換儀器和主機具有指示繼電器何時閉合的顯示,從而提供一些表示一個測試序列進行得多快的指標。但是,請記住,測試系統的設計往往會涉及在吞吐能力和精度之間進行折衷。
本論文的詳細版本額外覆蓋了“開關系統架構和拓撲”及“開關測試系統設計折衷”等主題,可從混合信號測試的開關系統優化獲得該詳細版本。
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