正常情況下，流過探針的電流大概在10 uA一5 mA范圍。因此，需要對所測量的電流信號進行，I-V轉換、放大等處理，然后進行A/D轉換，這樣才能夠檢測并顯示出電流的變化趨勢。本系統先通過取樣電阻網絡，把電流信號變成電壓信號，再通過儀用放大器INAl21將測量信號放大到±5 V的范圍，INAl21典型應用電路如圖5所示。TLCl549輸入電壓范圍為0—5V，需要把±5V電壓轉化成0～5V電壓，然后送給TLCl549采樣。如圖6所示。

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　　下面給出TLCl549的C語言驅動程序：

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　　2.3 數據傳輸模塊

　　實際測量時，若不采取必要的措施，探針會將較高的等離子體電位引入測量系統，乃至與之相互連接的PC機系統，從而可能導致系統損壞。為了提高系統的安全性、抗干擾性能及數據傳輸的可靠性，系統串口部分直接從PC端取電。當串口打開的情況下，RTS和DTR處于5一15 V之間，實際測量的電壓在11.5 V左右。通過7805轉換后為MAX232提供工作電源，MAX232與單片機之間通過光耦隔開。

　　Pc端監控軟件通過串口與系統相連，系統把測量的數據傳輸給Pc端監控軟件，有Pc端軟件進行數據的后續處理，比如顯示I-V曲線、計算等離子參數等。

　　2.4 系統抗干擾技術

　　等離子體一般是通過高頻高壓或射頻耦合放電產生，測量環境具有非常強的電磁干擾陽1。雖然靜電探針測量采用單片機技術，提高了測量的速度，大大減少了人為誤差;但要進一步提高測量數據的準確性，保證測量系統的可靠性和適用性，需要引入抗干擾技術。

　　本系統主要采取兩種抗干擾技術，即模擬抗干擾技術和數字抗干擾技術。

　　①模擬抗干擾技術：在數據采集的前端加T型LC濾波器，它對射頻信號有很大的阻抗。用鐵盒封閉測量設備，進行可靠的接地，可有效防止射頻的空間耦合干擾。

　　②數字抗干擾技術：本系統采用多點求平均的方法，多點求平均的點數可以通過PC端軟件進行設置。此方法在實際的測量中取得了良好的效果，可有效地降低工頻干擾的影響。