MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動(dòng)機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來(lái)越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有些神秘。什么是MEMS？

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）稱為微機(jī)電系統(tǒng)，或微電子和微機(jī)電系統(tǒng)，是為利用機(jī)械手段實(shí)現(xiàn)特定功能而建造的小型化結(jié)構(gòu)和設(shè)備。MEMS最早是在1960年代提出的，但是直到1980年代才商業(yè)化。其實(shí)在現(xiàn)實(shí)生活中MEMS技術(shù)實(shí)際離普通人很近，它包括MEMS麥克風(fēng)，微馬達(dá)，mems光學(xué)傳感器，MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀等產(chǎn)品，在手機(jī)、智能穿戴等產(chǎn)品中有著廣泛應(yīng)用。

而像手機(jī)的麥克風(fēng)，攝像頭，加速度計(jì)等產(chǎn)品，都使用了體積非常小、功能非常全的MEMS產(chǎn)品，它可以融微集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路為一體。雖然許多MEMS采用類似于集成電路的批量加工技術(shù)進(jìn)行制造和封裝，但關(guān)鍵的區(qū)別在于它們有與周圍環(huán)境互動(dòng)的移動(dòng)或動(dòng)態(tài)部件。當(dāng)需要精度、低功耗操作和緊湊的外形尺寸時(shí)，會(huì)使用不同的MEMS設(shè)計(jì)。

MEMS系統(tǒng)被設(shè)計(jì)為具有感知、響應(yīng)和影響環(huán)境的能力。作為一個(gè)完整系統(tǒng)的一部分，它們意義非凡。MEMS被部署在許多應(yīng)用中，包括傳感、檢測(cè)、轉(zhuǎn)換、執(zhí)行和其他需要小尺寸性能和精度的物理技術(shù)。它們可以在許多市場(chǎng)的技術(shù)中找到，包括工業(yè)、醫(yī)療、電信、航空航天和國(guó)防。它們的物理尺寸可以從幾微米到幾毫米不等。

MEMS應(yīng)用可以采用不同的基本技術(shù)，包括壓阻、壓電、微流體、光調(diào)制、熱膨脹或其他方法來(lái)響應(yīng)系統(tǒng)的輸入。由于MEMS設(shè)計(jì)涉及電子學(xué)、力學(xué)和光學(xué)，這些技術(shù)的工程和制造是高度跨學(xué)科的，并應(yīng)用不同的專業(yè)知識(shí)。使用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)一個(gè)器件，除了需要電子制造和裝配工藝外，還需要電子和機(jī)械工程、材料科學(xué)、化學(xué)、流體學(xué)、光學(xué)和射頻設(shè)計(jì)方面的工作知識(shí)。現(xiàn)在，MEMS已經(jīng)被大規(guī)模應(yīng)用，這些設(shè)備需要可靠的批量生產(chǎn)。

可見MEMS技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新為許多市場(chǎng)帶來(lái)了顛覆性的技術(shù)，從支持自主車輛和感知機(jī)器人的激光雷達(dá)系統(tǒng)，到下一代電信天線中的可轉(zhuǎn)向波束成形相控陣，以及用于通信、導(dǎo)航、金融和云計(jì)算的芯片級(jí)原子鐘。 未來(lái)隨著5G技術(shù)的普及和物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應(yīng)用，MEMS器件的應(yīng)用場(chǎng)景越來(lái)越多，需求越來(lái)越旺盛。

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