近日，格創東智設備健康管理系統（以下簡稱東智EHM）在半導體行業生產設備上的應用效果明顯，獲得客戶認可和推廣。針對廠端CVD（化學氣相沉積）PUMP的非計劃停機問題，經過現場調研，1天內就完成了東智EHM旋轉設備狀態監測和故障智能診斷模塊的部署。現場PUMP的表面溫度、三軸高頻振動數據，以每秒5萬Hz的采樣頻率實時上傳到東智EHM專有云，保障了振動信號的細微變化都可以被東智EHM專家系統識別分析。在1個多月的運行中，系統內置大數據算法有效識別了PUMP的劣化趨勢和故障智能診斷，效果顯著。同時該自主可控的產品的綜合性能比國外同類產品優化1倍以上。除了半導體等高端制造業，該方案也可以廣泛地應用在石化、礦山、冶金、能源、水處理等行業。

項目背景

半導體面板屬于高端制造業，現場設備大多是日本、韓國等國外進口，設備數據采集成本高。同時連續型生產過程對設備穩定性依賴度高，停機損失大。廠房有15個足球場大，設備點巡檢工作量大，存在設備缺陷發現不及時，易導致設備出現非計劃停機，影響生產；以本次CVD制程中的PUMP為例，生產過程中會產生大量的固態粉塵，從而導致PUMP的卡死，目前由于缺乏有效的設備監測手段，設備容易出現非計劃停機，每年近千萬元的損失。

解決方案

由于設備現場空間密閉、侵入式的數據采集，會對原裝設備、工藝造成不可預算的風險。衡量過后客戶決定采用格創東智GVS系列無線振動溫度一體傳感器，通過磁吸固定在PUMP上進行高頻數據的采集，并通過網關將采集到的振動和溫度數據實時傳輸到東智EHM專有云，結合PUMP本體工況數據綜合分析評估設備的運行狀態。

方案優勢：

GVS傳感器通過磁座固定在PUMP上，不會對設備造成破壞，對設備運行無影響；

GVS傳感器通過特制電池供電，續航時間3年；

系統采用無線部署，實施快速，無線性能強悍，即使在PUMP高溫密閉的工作環境下，數據傳輸仍然保持穩定；

東智EHM系統內置30+數據分析算法，可對監測數據進行多維的分析，準確評估設備狀態；

設備健康評估報告：

以PUMP1為例--DP非驅動端垂直向低頻測點振動波動明顯，異物引入導致轉子輕微損傷所致，其劣化大體可以分為三個階段：

階段一：3月28日（上線）-5月4日，設備運行穩定，未見存在明顯的劣化，但3月31日（P1）和4月28日（P2）因設備報尾排壓力異常存在短暫的停機，停機檢查未見明顯異常，后啟機運行 ；

階段二：5月4日09:30-5月4日16:16，異物引入（體積較大的顆粒進入），導致PUMP排氣不暢，振動急劇上升，同時伴隨著溫度急劇上升；

階段三：異物排除，PUMP運行狀態改善，振動急劇下降，同時伴隨著溫度下降，但轉子存在輕微損傷，振動和溫度相較前期有輕微的上升，且開始緩慢劣化。

健康狀態評估結論：

PUMP1-預警

① 5月4日因異物引入，導致DP轉子損傷，目前處于緩慢劣化階段；

② DP短期內不運行，暫無需進行檢修，加強關注；

③ MB狀態的波動因DP的振動能量傳遞所致，未見MB存在明顯的異常。

案例總結：

東智EHM通過高頻采集PUMP運行狀態參數，準確判斷出PUMP的劣化趨勢，提前提醒客戶設備的潛在故障，并進行及時修復，避免了設備非計劃停機對生產造成影響，有效延長了設備的使用壽命。

不僅在高端制造業，目前格創東智EHM的旋轉設備預測性維護方案已廣泛應用在石化、煤炭、鋼鐵、汽車、水泥等眾多行業的設備中。

責任編輯：tzh