一、時代背景
? ? ? ?隨著國產半導體行業的空前發展，目前半導體加工上下行業都迎來了自己的發展潮，在行業發展的過程中抓住機遇，往往能得到突飛猛進的發展。以前國產半導體行業規模不大，烤箱工藝要求并不是特別高，但是隨著行業的發展，用戶對產品品質要求的提高，對工藝要求也就也來越高。之前一直做烘箱、干燥箱的廠商，如今都在嘗試往半導體加工領域突破，我們主要針對半導體烘烤工藝過程中氧濃度監控的重要性展開討論。
二、無氧烘箱的應用和特點
? ? ? ?BCB用高溫無氧烘箱主要應用于航空航天、石油化工、船舶、電子、通訊等科研生產單位，用于BPO/PI/BCB固化，IC（wafer、CMOS、Bumping、TSV、MENS、 指紋識別）、FPD、高精度電子元器件、電子陶瓷材料無塵干燥、電子產品材料、元器件等高溫潔凈環境干燥老化試驗。
無氧烘箱的特點：
1.烤箱采用陶瓷纖維保溫材料，升溫快，節能特點
2.優良的送排風系統，保證工作區溫度均勻。
3.吸風玻璃纖維過濾器，保證潔凈度要求。
烘箱內充入惰性氣體（N2 / CO2）去除烘箱內的氧氣，防止烘烤時高溫氧化，對無氧烘箱的結構，特別是密封、控制系統有特殊要求。

三、無氧烘箱氧濃度監控
無氧烘箱具有氮氣控制系統和延時加熱功能，即在加熱前自動充氮氣，保證工作區在加熱前已形成低氧環境，避免高溫氧化。 當然，其他一些控制技術，包括雙流充氮能量控制，也被很多用戶采用，即雙流充氮控制+延時加熱，當爐內充氮時，自動切換到小流量節省氮氣，普通烤箱沒有這些功能。這些功能實現的前提是無氧烘箱配備氧氣濃度監控的氧氣分析儀。
四、氧化鋯氧氣分析儀
Microx-231氧氣分析儀是專為嚴苛環境應用而開發的氧氣分析儀， 它是一種非常可靠，緊湊且經濟的氧氣分析儀。這種分析儀采用快速響應的 LP 氧化鋯傳感器，可以測量從 1ppm 到 25％的氧氣濃度。快速響應、高精度和無需定期校準等特性，使得這款分析儀具有低維護且可以為過程控制應用提供可靠性能的分析儀。

應用：
? 手套箱吹掃和泄露檢測
? 3D 金屬打印
? 波峰焊
? 氣體分離
? 無氧烘箱

產品特點：
? 測量范圍：1ppm-25％ O2
? 可靠的氧化鋯傳感器技術
? 適用于嚴苛的環境，耐受600℃高溫
? 響應快
? 導軌式安裝
? LCD 顯示和 4 個多功能按鈕
? 4-20mA 信號輸出
? RS-232 通訊協議
? 24VDC 供電
? 3 組繼電器報警
? M18x1.5 螺紋探頭接口
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