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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>用磷酸揭示氮化硅對二氧化硅的選擇性蝕刻機(jī)理

用磷酸揭示氮化硅對二氧化硅的選擇性蝕刻機(jī)理

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AMEYA360:八英寸碳化硅成中外廠商必爭之地!#碳化硅

化硅
jf_81091981發(fā)布于 2023-07-13 11:39:58

TechInsights對于“碳化硅JFETs原子探針層析成像”的探討

去年,TechInsights通過一系列博客展示了電氣特性的力量,對于揭示化硅器件規(guī)格書遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能提供的碳化硅器件特性。
2023-07-11 11:07:42565

Sensirion × 秒秒測科技 攜手打造隨身移動二氧化碳檢測儀

近年來,對于空氣質(zhì)量監(jiān)測,尤其對二氧化碳濃度的監(jiān)測得到了公眾的廣泛關(guān)注。一個低二氧化碳、空氣新鮮的空間,代表著空氣的充分流動,能有效提高工作與學(xué)習(xí)效率,減少因缺氧帶來的疲勞、頭痛以及困倦癥狀
2023-07-06 16:51:14396

氮化硅是半導(dǎo)體材料嗎 氮化硅的性能及用途

氮化硅是一種半導(dǎo)體材料。氮化硅具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性,被廣泛應(yīng)用于高溫、高功率和高頻率電子器件中。它具有較寬的能隙(大約3.2電子伏特),并可通過摻雜來調(diào)節(jié)其導(dǎo)電性能,因此被視為一種重要的半導(dǎo)體材料。
2023-07-06 15:44:433823

氮化硅陶瓷基板生產(chǎn)工藝 氮化鋁和氮化硅的性能差異

氮化鋁具有較高的熱導(dǎo)性,比氮化硅高得多。這使得氮化鋁在高溫環(huán)境中可以更有效地傳導(dǎo)熱量。
2023-07-06 15:41:231061

氮化硅陶瓷在四大領(lǐng)域的研究及應(yīng)用進(jìn)展

氮化硅陶瓷軸承球與鋼質(zhì)球相比具有突出的優(yōu)點:密度低、耐高溫、自潤滑、耐腐蝕。疲勞壽命破壞方式與鋼質(zhì)球相同。陶瓷球作為高速旋轉(zhuǎn)體產(chǎn)生離心應(yīng)力,氮化硅的低密度降低了高速旋轉(zhuǎn)體外圈上的離心應(yīng)力。
2023-07-05 10:37:061561

陶瓷基板制備工藝研究進(jìn)展

目前常用的高導(dǎo)熱陶瓷粉體原料有氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)和氧化鈹(BeO)等。隨著國家大力發(fā)展綠色環(huán)保方向,由于氧化鈹有毒性逐漸開始退出歷史的舞臺。
2023-06-27 15:03:56543

為什么氮化鎵(GaN)很重要?

% 的能源浪費(fèi),相當(dāng)于節(jié)省了 100 兆瓦時太陽能和1.25 億噸二氧化碳排放量。 氮化鎵的吸引力不僅僅在于性能和系統(tǒng)層面的能源利用率的提高。當(dāng)我們發(fā)現(xiàn),制造一顆片氮化鎵功率芯片,可以在生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)減少80
2023-06-15 15:47:44

氮化鎵功率芯片的優(yōu)勢

時間。 更加環(huán)保:由于裸片尺寸小、制造工藝步驟少和功能集成,氮化鎵功率芯片制造時的二氧化碳排放量,比硅器件的充電器解決方案低10倍。在較高的裝配水平上,基于氮化鎵的充電器,從制造和運(yùn)輸環(huán)節(jié)產(chǎn)生的碳足跡,只有硅器件充電器的一半。
2023-06-15 15:32:41

智能手機(jī)上的房間二氧化碳水平開源分享

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2023-06-15 15:01:420

遠(yuǎn)程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設(shè)計(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預(yù)計將在互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)中被采用。3D MOS架構(gòu)為蝕刻應(yīng)用帶來了一系列挑戰(zhàn)。雖然平面設(shè)備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設(shè)備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

人造樹葉用二氧化碳釀造液體燃料

世界各地的科學(xué)家都在試圖制造太陽能燃料,以將太陽能裝瓶供日后使用,并消除大氣中的二氧化碳排放。人工光合作用屬于這一大類,可以通過幾種方法來實現(xiàn)。一種是光催化,陽光直接照射在二氧化鈦等光驅(qū)動催化劑上,引發(fā)化學(xué)反應(yīng),減少二氧化碳并分解水。
2023-06-13 17:02:16352

晶振不起振的原因有哪些?

晶片的化學(xué)成分為二氧化硅,與玻璃相同,屬于清脆易碎品,在承受較大沖撞、跌落、強(qiáng)震動、溫度環(huán)境極速變化等外力作用的情況下有可能產(chǎn)生破裂、破碎等現(xiàn)象。
2023-06-08 17:35:07756

為什么光纖端面要研磨成8度角?

首先我們先了解一下光纖是如何傳導(dǎo)光信號的。光纖裸纖的結(jié)構(gòu)圖一般分為三層:纖芯、包層和涂覆層。光纖纖芯和包層是由不同折射率的玻璃組成,中心為高折射率玻璃纖芯(摻鍺二氧化硅),中間為低折射率硅玻璃包層
2023-06-06 15:28:231611

陶瓷、高頻、普通PCB板材區(qū)別在哪?

。常用的陶瓷基材料包括氧化鋁、氮化鋁、氧化鋯、ZTA、氮化硅、碳化硅等。FR線路板是指以環(huán)氧玻璃纖維布作為主要材料的線路。那么,陶瓷線路板與普通PCB板材區(qū)別在哪? 一、陶瓷基板與pcb板的區(qū)別 1、材料
2023-06-06 14:41:30

G-TPCO-035二氧化碳傳感器在通風(fēng)控制系統(tǒng)的應(yīng)用

空氣中二氧化碳含量越高,對人體的影響越大,G-TPCO-035二氧化碳傳感器含量高于0.7%時,人體會感到不適; 當(dāng)超過10%時,人體會出現(xiàn)昏迷或死亡; 高達(dá)20%,人會在幾秒鐘內(nèi)死亡。因此,在人流密集的地方,二氧化碳含量是一個非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到人體的舒適度和安全性。
2023-06-03 10:35:22157

化硅MOSFET什么意思

化硅MOSFET什么意思 碳化硅MOSFET是一種新型的功率半導(dǎo)體器件,其中"MOSFET"表示金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,"碳化硅"指的是其材料。碳化硅
2023-06-02 15:33:151180

德州儀器ISO7740FDWR隔離器的產(chǎn)品介紹及特性

ISO774x器件在低功耗下提供高電磁抗擾度和低發(fā)射,同時隔離CMOS或LVCMOS數(shù)字I/O。每個隔離通道都有一個由雙電容二氧化硅(SiO2)絕緣屏障分隔的邏輯輸入和輸出緩沖器。
2023-06-01 15:27:15651

化硅功率模組有哪些

化硅功率模組有哪些 碳化硅功率器件系列研報深受眾多專業(yè)讀者喜愛,本期為番外篇,前五期主要介紹了碳化硅功率器件產(chǎn)業(yè)鏈的上中下游,本篇將深入了解碳化硅功率器件的應(yīng)用市場,以及未來的發(fā)展趨勢,感謝各位
2023-05-31 09:43:20390

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質(zhì)上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設(shè)備,通常會導(dǎo)致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

二氧化硫氣體腐蝕怎么做試驗

二氧化硫腐蝕試驗,相關(guān)檢測標(biāo)準(zhǔn)及實驗方法介紹
2023-05-27 10:34:33494

AMT-CL301型在線二氧化氯變送器

AMT-CL301型在線二氧化氯變送器是帶微處理器的水質(zhì)在線監(jiān)測控制儀。通過二氧化氯電極對水溶液中的二氧化氯值及溫度值進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測和控制。 特征 點陣液晶屏顯示; 中/英文智能菜單操作; 多種信號
2023-05-23 14:07:04138

激光與碳化硅相互作用的機(jī)理及應(yīng)用

本文介紹了激光在碳化硅(SiC)半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用,概括講述了激光與碳化硅相互作用的機(jī)理,并重點對碳化硅晶圓激光標(biāo)記、背金激光表切去除、晶粒隱切分片的應(yīng)用進(jìn)行了介紹。
2023-05-17 14:39:041222

光纖的發(fā)展歷程和常見分類方式

光纖的主要成分是玻璃或塑料。玻璃光纖是由高純度二氧化硅等物質(zhì)制成,具有高強(qiáng)度、高抗拉性、高耐熱性、低損耗等特點,是目前應(yīng)用最廣泛的光纖類型。
2023-05-16 14:49:413071

袋料智能機(jī)器人碼垛機(jī) 二氧化硅全自動碼垛設(shè)備

機(jī)器人
山東偉豪思智能裝備發(fā)布于 2023-05-15 17:22:26

初創(chuàng)公司Captura試圖將二氧化碳從海洋中清除

Captura的技術(shù)旨在通過從海水中提取二氧化碳來促進(jìn)這一過程。首先,它必須將海水引入DOC工廠。然后,它分離出大約0.5%的水,該過程以可再生能源為燃料,利用專門的電滲析技術(shù)直接從海水
2023-05-12 11:01:42604

一種用于熱管理的二氧化硅氣凝膠設(shè)計與制備技術(shù)

密度、低導(dǎo)熱系數(shù)等特性,使氣凝膠在建筑、航空航天、儲能、氣體檢測、催化、吸附、傳感器和熱管理等領(lǐng)域工業(yè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。硅基氣凝膠因其導(dǎo)熱系數(shù)低、熱穩(wěn)定性強(qiáng)而被廣泛用作輕質(zhì)保溫材料,現(xiàn)已顯示出巨大的商業(yè)價值,有助于減少碳排放。二氧化硅氣凝膠是一種具有超低密
2023-05-10 09:13:53351

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模塊,國產(chǎn)新能源汽車開啟性能狂飆模式

新能源電動汽車爆發(fā)式增長的勢頭不可阻擋,氮化硅陶瓷基板升級SiC功率模塊,對提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、充電速度、輕量化、電池成本等各項性能尤為重要。
2023-05-02 09:28:451169

激光在碳化硅半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用

本文介紹了激光在碳化硅(SiC)半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用,概括講述了激光與碳化硅相互作用的機(jī)理,并重點對碳化硅晶圓激光標(biāo)記、背金激光表切去除、晶粒隱切分片的應(yīng)用進(jìn)行了介紹。
2023-04-23 09:58:27712

用于電子皮膚熱管理的超薄、柔性、自冷卻降溫界面

為了解決以上難題,研究人員提出了一種基于超薄、柔性、自冷卻降溫界面(簡稱降溫界面)的通用熱管理技術(shù)。降溫界面由具有高紅外發(fā)射的高分子聚合物(聚苯乙烯丙烯酸)和三種功能填充劑(二氧化鈦納米顆粒,二氧化硅微球,熒光顏料顆粒)構(gòu)成
2023-04-16 10:59:501050

多孔氮化硅陶瓷天線罩材料制備及性能研究

近日,上海玻璃鋼研究院有限公司的高級工程師趙中堅沿著該思路,以純纖維狀α-Si3N4粉為主要原料,通過添加一定比例氧化物燒結(jié)助劑,經(jīng)冷等靜壓成型和氣氛保護(hù)無壓燒結(jié)工藝燒結(jié)制備出了能充分滿足高性能導(dǎo)彈天線罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:461274

誰才是最有發(fā)展前途的封裝材料呢?

目前,常用電子封裝陶瓷基片材料包括氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化鈹(BeO)、碳化硅(SiC)等。那么,誰才是最有發(fā)展前途的封裝材料呢?
2023-04-13 10:44:04801

化硅SiC MOSFET:低導(dǎo)通電阻和高可靠的肖特基勢壘極管

Toshiba研發(fā)出一種SiC金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET),其將嵌入式肖特基勢壘極管(SBD)排列成格子花紋(check-pattern embedded SBD),以降低導(dǎo)通電
2023-04-11 15:29:18

氮化硅陶瓷基板的市場優(yōu)勢和未來前景

氮化硅基板是一種新型的材料,具有高功率密度、高轉(zhuǎn)換效率、高溫性能和高速度等特點。這使得氮化硅線路板有著廣泛的應(yīng)用前景和市場需求,正因為如此斯利通現(xiàn)正全力研發(fā)氮化硅作為基材的線路板。
2023-04-11 12:02:401364

在線式二氧化碳檢測儀有哪些特點?

在線二氧化碳檢測適用于各種工業(yè)環(huán)境中二氧化碳濃度的在線監(jiān)測。在線二氧化碳檢測儀具有信號穩(wěn)定、精度高、重復(fù)性好的優(yōu)點,防爆接線適用于各種危險場所。 兼容各種控制報警器,PLC、DCS其他控制系統(tǒng)可實現(xiàn)
2023-04-06 11:36:02578

化硅功率器件在充電樁中的應(yīng)用有哪些?

在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,碳化硅氮化鎵無疑是當(dāng)前最炙手可熱的明星。其中,碳化硅擁有高壓、高頻和高效率等特性,其耐高頻耐高溫的性能,是同等硅器件耐壓的10倍。
2023-04-06 11:06:53465

高效率低能耗干法超細(xì)研磨與分散壓電陶瓷等硬質(zhì)礦物材料技術(shù)升級

氮化硅研磨環(huán)由于研磨環(huán)存在內(nèi)外氣壓差,可以在密閉的真空或者很濃密的場景中快速的上下運(yùn)動,氮化硅磨介圈在大的球磨機(jī)里不僅起到研磨粉碎的作用,更重要的是眾多的氮化硅磨介圈環(huán)會發(fā)生共振現(xiàn)象,氮化硅
2023-03-31 11:40:35597

氧濃度傳感器如何用于二氧化碳?xì)飧箼C(jī)中?

二氧化碳(CO2)是腹腔鏡手術(shù)中常用的氣體,因為它無色、廉價、不可燃,并且具有比空氣更高的血液溶解性,這降低了發(fā)生靜脈栓塞時并發(fā)癥的風(fēng)險。使用二氧化碳?xì)怏w進(jìn)行吹入存在一些風(fēng)險。與CO2吹入相關(guān)的常見
2023-03-28 10:36:54316

二氧化碳檢測儀/二氧化碳變送器/二氧化碳傳感器

      此款XKONG祥控二氧化碳檢測儀是我司依照工業(yè)級設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)生產(chǎn)的一款防爆型二氧化碳?xì)怏w濃度檢測儀表,可直接安裝在危險區(qū)域的 1 區(qū)和 2 區(qū)使用;極大
2023-03-27 17:44:11

使用 ClF 3 H 2遠(yuǎn)程等離子體在氧化硅選擇性蝕刻氮化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰(zhàn)性。
2023-03-27 10:17:49402

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