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電子發燒友網>今日頭條>通過紫外線輔助光蝕刻技術實現的濕式蝕刻

通過紫外線輔助光蝕刻技術實現的濕式蝕刻

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載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發現了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數據,提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

濕式化學蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業人員。因此,英思特開發了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

施奈仕與您分析:影響UV三防漆固化速度的因素有哪些?

UV三防漆(電防膠)是一種通過紫外線輻射固化的涂料,其固化速度快的特點可有效防止漆膜表面起皺、脫落等現象發生。但是在實際施膠過程中,UV三防漆固化速度會受不同因素影響,那么影響UV三防漆的固化速度
2023-05-22 10:31:26362

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩定,蝕刻率就會變化,因而影響產品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484917

高速硅濕式各向異性蝕刻技術在批量微加工中的應用

蝕刻是微結構制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進一步細分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機電系統(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

***平行光源應用及性能參數

光刻機用UV光源,其通過特殊光學設計發射出接近平行光的UV平行光,使特定波段的紫外線通過掩膜掩孔對集成電路高精密線路完成蝕刻曝光顯影的工作。
2023-05-11 10:34:283159

如何讓成堆的紙張均勻散開,保持一定距離?

文件殺菌機的想法 目前針對文件殺菌的設備很少,主要用于臭氧殺菌,或紫外線照射殺菌。無法對文件內部,或堆疊的文件內頁進行殺菌。 想利用靜電原理,或者電荷釋放使紙張帶同種電荷,然后相互排斥,以達到成堆
2023-05-04 15:24:28

用于紫外線殺菌燈的電子鎮流電路分享

在這篇文章中,我們將討論直流紫外線殺菌燈鎮流器電路的結構,該電路可用于通過12V直流電源驅動任何標準的20瓦紫外線燈。
2023-04-29 17:21:007152

燈絲溫度對于熒光燈的影響

在昨天測試紫外線燈管擊穿電壓實驗中, 燈絲沒有加熱。?對應的擊穿電壓為1308V,?如果將燈絲進行加熱, 能夠在多大程度上降低紫外線燈管的擊穿電壓呢??我們知道電子是從陰極發射的, 所以下面通過實驗測試一下對于陰極燈絲加熱之后, 紫外線燈管的擊穿電壓是多少。
2023-04-24 13:45:30358

《炬豐科技-半導體工藝》單晶的濕法蝕刻和紅外吸收

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:單晶的濕法蝕刻和紅外吸收 編號:JFKJ-21-206 作者:炬豐科技 摘要 采用濕法腐蝕、x射線衍射和紅外吸收等方法研究了物理氣相色譜法生長AlN單晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

PCB制造過程分步指南

波長的紫外線水平不足以影響光刻膠。  黑色墨水透明膠片通過銷釘固定,以防止與面板對齊。當面板和鋼網接觸時,發生器會用高強度的紫外線將其噴砂,從而使致抗蝕劑硬化。然后,面板進入機器,該機器去除未硬化的抗蝕劑
2023-04-21 15:55:18

燈絲溫度對于熒光燈的影響

在昨天測試紫外線燈管擊穿電壓實驗中, 燈絲沒有加熱。?對應的擊穿電壓為1308V,?如果將燈絲進行加熱, 能夠在多大程度上降低紫外線燈管的擊穿電壓呢??我們知道電子是從陰極發射的, 所以下面通過實驗測試一下對于陰極燈絲加熱之后, 紫外線燈管的擊穿電壓是多少。
2023-04-19 11:45:05320

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應離子蝕刻

反應離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導體工業中使用的互補金屬氧化物半導體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

低溫蝕刻重新出現_

經過多年的研發,隨著該行業在內存和邏輯方面面臨新的挑戰,一種稱為低溫蝕刻技術正在重新出現,成為一種可能的生產選擇。
2023-03-29 10:14:41392

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

技術使蝕刻半導體更容易

研究表明,半導體的物理特性會根據其結構而變化,因此半導體晶圓在組裝成芯片之前被蝕刻成可調整其電氣和光學特性以及連接性的結構。
2023-03-28 09:58:34251

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰性。
2023-03-27 10:17:49402

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