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硅堿性蝕刻中的絕對蝕刻速率

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揭秘***與蝕刻機的神秘面紗

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2023-12-16 11:00:09371

電感耦合等離子刻蝕

眾所周知,化合物半導體中不同的原子比對材料的蝕刻特性有很大的影響。為了對蝕刻速率和表面形態的精確控制,通過使用低至25nm的薄器件阻擋層的,從而增加了制造的復雜性。本研究對比了三氯化硼與氯氣的偏置功率,以及氣體比對等離子體腐蝕高鋁含量AlGaN與AlN在蝕刻速率、選擇性和表面形貌方面的影響。
2023-12-15 14:28:30227

針對氧氣(O2)和三氯化硼(BCl3)等離子體進行原子層蝕刻的研究

基于GaN的高電子遷移率,晶體管,憑借其高擊穿電壓、大帶隙和高電子載流子速度,應用于高頻放大器和高壓功率開關中。就器件制造而言,GaN的相關材料,如AlGaN,憑借其物理和化學穩定性,為等離子體蝕刻
2023-12-13 09:51:24294

基于深氮化鎵蝕刻的微米尺寸光子器件的研制

GaN和相關合金由于其優異的特性以及大的帶隙、高的擊穿電場和高的電子飽和速度而成為有吸引力的材料之一,與優化工藝過程相關的成熟材料是有源/無源射頻光電子器件近期發展的關鍵問題。專用于三元結構的干法蝕刻工藝特別重要,因為這種器件通常包括異質結構。因此,GaN基光電器件的制造部分或全部依賴于干法刻蝕。
2023-12-11 15:04:20188

PCB的蝕刻工藝及過程控制

另外一種工藝方法是整個板子上都鍍銅,感光膜以外的部分僅僅是錫或鉛錫抗蝕層。這種工藝稱為“全板鍍銅工藝“。與圖形電鍍相比,全板鍍銅的缺點是板面各處都要鍍兩次銅而且蝕刻時還必須都把它們腐蝕掉。
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PCB堿性蝕刻常見問題原因及解決方法

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基于電感耦合反應離子刻蝕的氮化鎵干蝕研究

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2023-12-05 14:00:22220

不同氮化鎵蝕刻技術的比較

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泛林集團獨家向三星等原廠供應HBM用TSV設備

三星電子和sk海力士用于tsv蝕刻的設備都是Syndion。synthion是典型的深硅蝕刻設備,深度蝕刻到晶片內部,用于tsv和溝槽等的高度和寬度比的形成。泛林集團 sabre 3d將用于用銅填充蝕刻的晶圓孔來制作線路的tsv線路。
2023-11-30 10:15:57331

在氮化鎵和AlGaN上的濕式數字蝕刻

由于其獨特的材料特性,III族氮化物半導體廣泛應用于電力、高頻電子和固態照明等領域。加熱的四甲基氫氧化銨(TMAH)和KOH3處理的取向相關蝕刻已經被用于去除III族氮化物材料中干法蝕刻引起的損傷,并縮小垂直結構。
2023-11-30 09:01:58166

氮化鎵的晶體學濕式化學蝕刻

目前,大多數III族氮化物的加工都是通過干法等離子體蝕刻完成的。干法蝕刻有幾個缺點,包括產生離子誘導損傷和難以獲得激光器所需的光滑蝕刻側壁。干法蝕刻產生的側壁典型均方根(rms)粗糙度約為50納米
2023-11-24 14:10:30241

PCB加工之蝕刻質量及先期問題分析

蝕刻設備的結構及不同成分的蝕刻液都會對蝕刻因子或側蝕度產生影響,或者用樂觀的話來說,可以對其進行控制。采用某些添加劑可以降低側蝕度。這些添加劑的化學成分一般屬于商業秘密,各自的研制者是不向外界透露的。至于蝕刻設備的結構問題,后面的章節將專門討論。
2023-11-14 15:23:10217

自動蝕刻機物聯網助力監控運維更加高效

自動蝕刻機是利用電解作用或化學反應對金屬板進行處理,以獲得所需圖紋、花紋、幾何形狀的自動化設備,廣泛應用于芯片、數碼、航空、機械、標牌等領域中。現有一家蝕刻機設備制造商,要求對全國各地的蝕刻機設
2023-11-08 13:59:52146

無氫氟蝕刻劑中鈦選擇性濕蝕刻銅的研究

眾所周知,微尺度和納米尺度的地形結構對真核細胞和原核細胞的行為都有顯著的影響。例如,具有特殊尺寸的納米線、納米柱、納米管已被證明具有抗菌性能。開發這種結構提供了一種無藥物的方法來對抗感染,這被認為是一種替代釋放抗菌劑的常見抗菌表面的替代品。
2023-10-23 09:43:16136

等離子刻蝕工藝技術基本介紹

干法蝕刻(dry etch)工藝通常由四個基本狀態構成:蝕刻前(before etch),部分蝕刻(partial etch),蝕刻到位(just etch),過度蝕刻(over etch),主要表征有蝕刻速率,選擇比,關鍵尺寸,均勻性,終點探測。
2023-10-18 09:53:19788

印制電路噴淋蝕刻精細線路流體力學模型分析

在精細印制電路制作過程中,噴淋蝕刻是影響產品質量合格率重要的工序之一。現有很多的文章對精細線路的蝕刻做了大量的研究,但是大多數都只停留在表象的研究中,并沒有從本質上認識噴淋蝕刻中出現的問題。
2023-10-17 15:15:35164

PCB印制電路中影響蝕刻液特性的因素

蝕刻液的化學成分的組成:蝕刻液的化學組分不同,其蝕刻速率就不相同,蝕刻系數也不同。如普遍使用的酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常是&;堿性氯化銅蝕刻液系數可達3.5-4。而正處在開發階段的以硝酸為主的蝕刻液可以達到幾乎沒有側蝕問題,蝕刻后的導線側壁接近垂直。
2023-10-16 15:04:35553

東京電子3D NAND蝕刻新技術或挑戰泛林市場領導地位

據悉,東京電子新技術的目標是能夠長時間儲存數據的3d nand閃存。該公司開發了一種新的通道孔蝕刻方法,該方法是將垂直孔快速深插入存儲單元。3D nand的存儲器容量可以通過將存儲器單元層垂直堆積來增加,如果層數增加,就需要性能更高的裝置。
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基于Cl2/BCl3電感偶聯等離子體的氮化鎵干蝕特性

蝕刻技術相比,干法蝕刻技術可以提供各向異性的輪廓、快速的蝕刻速率,并且已經被用于限定具有受控輪廓和蝕刻深度的器件特征。
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腐蝕pcb板的溶液是什么

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關于氮化鎵的干蝕刻綜述

GaN及相關合金可用于制造藍色/綠色/紫外線發射器以及高溫、高功率電子器件。由于 III 族氮化物的濕法化學蝕刻結果有限,因此人們投入了大量精力來開發干法蝕刻工藝。干法蝕刻開發一開始集中于臺面結構,其中需要高蝕刻速率、各向異性輪廓、光滑側壁和不同材料的同等蝕刻
2023-10-07 15:43:56319

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2023-06-15 14:58:47665

利用氧化和“轉化-蝕刻”機制對富鍺SiGe的熱原子層蝕刻 引言

器件尺寸的不斷縮小促使半導體工業開發先進的工藝技術。近年來,原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)已經成為小型化的重要加工技術。ALD是一種沉積技術,它基于連續的、自限性的表面反應。ALE是一種蝕刻技術,允許以逐層的方式從表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步驟的等離子體或熱連續反應。
2023-06-15 11:05:05526

遠程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優良的靜電完整性,三維(3D)設計(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預計將在互補金屬氧化物半導體技術中被采用。3D MOS架構為蝕刻應用帶來了一系列挑戰。雖然平面設備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

電鍍對印制PCB電路板的重要性有哪些?

:線路電鍍和全板鍍銅,現敘述如下。 1、線路電鍍 該工藝只在設計有電路圖形和通孔的地方接受銅層的生成和蝕刻阻劑金屬電鍍。在線路電鍍過程,線路和焊墊每一側增加的寬度與電鍍表面增加的厚度大體相當,因此
2023-06-09 14:19:07

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發現了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數據,提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

濕式化學蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業人員。因此,英思特開發了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩定,蝕刻率就會變化,因而影響產品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

熱環境中結晶硅的蝕刻工藝研究

微電子機械系統(MEMS)是將機械元件和電子電路集成在一個共同的基板上,通過使用微量制造技術來實現尺寸從小于一微米到幾微米的高性能器件。由于現有的表面加工技術,目前大多數的MEMS器件都是基于硅的。
2023-05-19 10:19:26352

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484917

高速硅濕式各向異性蝕刻技術在批量微加工中的應用

蝕刻是微結構制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進一步細分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機電系統(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

簡述晶圓減薄的幾種方法

減薄晶片有四種主要方法,(1)機械研磨,(2)化學機械平面化,(3)濕法蝕刻(4)等離子體干法化學蝕刻(ADP DCE)。四種晶片減薄技術由兩組組成:研磨和蝕刻。為了研磨晶片,將砂輪和水或化學漿液結合起來與晶片反應并使之變薄,而蝕刻則使用化學物質來使基板變薄。
2023-05-09 10:20:06979

PCB主板不同顏色代表什么意思?

其實不同顏色的PCB,它們的制造的材料、制造工序都是一樣的,包括敷銅層的位置也是一樣的,經過蝕刻工藝后就在PCB上留下了最終的布線,例如下圖這塊剛經過蝕刻工藝的PCB,敷銅走線就是原本的銅色,而PCB基板略顯微黃色。
2023-05-09 10:02:431699

《炬豐科技-半導體工藝》單晶的濕法蝕刻和紅外吸收

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:單晶的濕法蝕刻和紅外吸收 編號:JFKJ-21-206 作者:炬豐科技 摘要 采用濕法腐蝕、x射線衍射和紅外吸收等方法研究了物理氣相色譜法生長AlN單晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

印制電路板PCB的制作及檢驗

三種。  搖槽法最簡單,所用的設備是一只放腐蝕劑的槽,裝于不斷搖動的臺面上。  浸蝕法是將工件浸沒在盛有能保溫的大槽蝕刻。  噴蝕法生產速度較快,用泵將腐蝕劑噴于印制板表面進行腐蝕加工。  2.工業
2023-04-20 15:25:28

酸性化學品供應控制系統

[技術領域] 本實用新型涉及半導體制造技術領域,具體地說是一種酸性化學品供應控制系 統。 由于半導體行業中芯片生產線的工作對象是硅晶片,而能在硅晶片上蝕刻圖形 以及清洗硅晶片上的雜質、微粒子的化學品
2023-04-20 13:57:0074

飛秒激光輔助制造石英晶體MEMS諧振器

提出了一種利用飛秒激光誘導化學蝕刻(FLICE)制造壓電致動的石英晶體MEMS諧振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應離子蝕刻

反應離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導體工業中使用的互補金屬氧化物半導體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

從頭到尾的半導體技術

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高
2023-04-10 17:26:10453

多晶硅蝕刻工藝講解

下圖顯示了Intel的第6代晶體管(6T)SRAM尺寸縮小時間表,以及多晶硅柵刻蝕技術后從90nm到22nm技術節點6TSRAM單元的SEM圖像俯視視圖。可以看出,SRAM的布局從65nm節點已發生了革命性的變化,這種布局完全不同于90nm節點。從45nm節點后,雙重圖形化技術已經應用在柵圖形化工藝中。隨著技術節點的繼續縮小,MOSFET柵極關鍵尺寸CD繼續縮小遇到了困難,IC設計人員開始減少柵極之間的間距。
2023-04-03 09:39:402452

低溫蝕刻重新出現_

經過多年的研發,隨著該行業在內存和邏輯方面面臨新的挑戰,一種稱為低溫蝕刻的技術正在重新出現,成為一種可能的生產選擇。
2023-03-29 10:14:41392

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

新技術使蝕刻半導體更容易

研究表明,半導體的物理特性會根據其結構而變化,因此半導體晶圓在組裝成芯片之前被蝕刻成可調整其電氣和光學特性以及連接性的結構。
2023-03-28 09:58:34251

板內盤孔設計狂飆,細密間距線路中招

去吃魚。”林如煙笑笑說,就這么滴。話音剛落,大師兄突然抬起頭說:“理工,客戶有個PCB,,板上有個0.5mm bga,PCB設計時有焊盤夾線,板內其它非BGA區域有盤孔設計,結果導致板子生產不良率
2023-03-27 14:33:01

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰性。
2023-03-27 10:17:49402

pcb線路板入門基礎培訓

plating)→蝕刻(Etch)→半檢IQC→絲印阻焊油墨和字符油墨(SS)或貼阻焊干膜→熱風整平或噴錫(HAL)→外形(Pounching)→成檢(FQC)→電測試E-TEST→包裝
2023-03-24 11:24:22

Pb(ZrTi)O 3鐵電體的濕化學蝕刻

當今世界信息社會的發展在很大程度上依賴于高比特率電信技術的質量。雖然微波和光纖被用于長距離傳輸,但光網絡也將對高比特率信息的局部分布發揮至關重要的作用。
2023-03-23 10:36:32346

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