介紹
藍寶石LED蝕刻的新要求已經(jīng)被引入,因為LED照明的新應用正在推動正確,壽命和穩(wěn)定性的極限。 量子效率的提高正在推動新的垂直結(jié)構,需要額外的蝕刻要求。 蝕刻這些結(jié)構有獨特的高溫要求,實現(xiàn)比傳統(tǒng)方法提高10倍的吞吐量。 雖然大多數(shù)公司使用干式蝕刻工藝來創(chuàng)建圖案表面,但干式蝕刻的缺點并不小,包括加工設備的成本高,吞吐量低,擴展性差等等。 這種不利因素促使許多人重新燃起對濕法蝕刻的興趣。歷史上,標準工藝浴槽的溫度限制為190°C。 藍寶石蝕刻速率隨溫度呈幾何級數(shù)增長,因此需要一個能達到300度工藝溫度的系統(tǒng)。高溫濕法蝕刻比干法蝕刻便宜得多,而且速度也更快。
在高溫濕法蝕刻過程中,用SiO2掩蓋的晶片被放置在高溫工藝槽中,槽中有蝕刻劑和緩沖劑的混合物:硫酸和磷酸,通常以1:1或3:1的比例。 在浸沒之前,等離子體增強的化學蒸汽過程在藍寶石襯底上旋轉(zhuǎn)二氧化硅掩膜,光刻暴露所需的圖案。 這種混合物的溫度范圍在260 - 300°C之間,遠遠高于傳統(tǒng)半導體制造中使用的150 - 180°C。
藍寶石晶圓濕法與干法蝕刻
LED有著非常光明的未來。 根據(jù)strategy Unlimited (SU)發(fā)布的一份市場研究報告,高亮度(HB) LED市場在2009年至2010年間經(jīng)歷了93%的增長。 2009年,盒裝HB led的全球市場為56億美元。 2010年,這一數(shù)字增至108億美元。 SU預測,到2015年,全球市場價值將達到189億美元,復合年增長率(CAGR)為11.8%。盡管前景樂觀,但仍有一個因素可能抑制LED市場的增長:高(且不斷增長的)生產(chǎn)成本。
審核編輯:湯梓紅
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