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電子發燒友網>今日頭條>晶圓背面研磨與濕式刻蝕工藝

晶圓背面研磨與濕式刻蝕工藝

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2023-05-23 09:56:412139

晶圓背面研磨(Back Grinding)工藝簡介

經過前端工藝處理并通過晶圓測試的晶圓將從背面研磨(Back Grinding)開始后端處理。背面研磨是將晶圓背面磨薄的工序,其目的不僅是為了減少晶圓厚度,還在于聯結前端和后端工藝以解決前后兩個工藝
2023-05-22 12:44:23691

光纖連接器研磨技巧和注意事項

  研磨光纖連接器:將光纖連接器插入研磨機中,按照研磨機的操作說明進行研磨。通常情況下,需要先使用粗研磨片進行粗磨,再使用細研磨片進行細磨,直到光纖連接器的插芯和插座表面光滑平整。
2023-05-18 18:16:071440

晶圓背面研磨(Back Grinding)工藝簡介

經過前端工藝處理并通過晶圓測試的晶圓將從背面研磨(Back Grinding)開始后端處理。背面研磨是將晶圓背面磨薄的工序,其目的不僅是為了減少晶圓厚度,還在于聯結前端和后端工藝以解決前后兩個工藝
2023-05-12 12:39:18763

切割槽道深度與寬度測量方法

半導體大規模生產過程中需要在上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個單元,最后再進行封裝和焊接,因此對切割槽尺寸進行精準控制和測量,是生產工藝中至關重要的環節。  
2023-05-09 14:12:38

圓片級芯片尺寸封裝工藝流程與技術

圓片級芯片尺寸封裝(WLCSP)是指在圓片狀態下完成再布線,凸點下金屬和焊錫球的制備,以及圓片級的探針測試,然后再將圓片進行背面研磨減薄
2023-05-06 09:06:411847

共聚焦顯微鏡精準測量激光切割槽

 半導體大規模生產過程中需要在上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個單元,最后再進行封裝和焊接,因此對切割槽尺寸進行精準控制和測量,是生產工藝中至關重要的環節。 
2023-04-28 17:41:49

半導體圖案化工藝流程之刻蝕簡析

圖案化工藝包括曝光(Exposure)、顯影(Develope)、刻蝕(Etching)和離子注入等流程。
2023-04-28 11:24:271073

半導體工藝之金屬布線工藝介紹

本篇要講的金屬布線工藝,與前面提到的光刻、刻蝕、沉積等獨立的工藝不同。在半導體制程中,光刻、刻蝕工藝,其實是為了金屬布線才進行的。在金屬布線過程中,會采用很多與之前的電子元器件層性質不同的配線材料(金屬)。
2023-04-25 10:38:49986

半導體刻蝕工藝簡述

等離子體均勻性和等離子體位置的控制在未來更加重要。對于成熟的技術節點,高的產量、低的成本是與現有生產系統競爭的關鍵因素。如果可以制造低成本的可靠的刻蝕系統,從長遠來看,可以為客戶節省大量費用,有可能
2023-04-21 09:20:221349

半導體行業之刻蝕工藝介紹

壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓,同時也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會改變電子和離子的平均自由程(MFP),進而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922

表面處理技術、工藝類型和方法(拋光控制系統)

有多種表面精加工技術和方法來精加工零件,每種方法都會產生不同的表面光潔度和平整度。研磨工藝研磨是一種精密操作,基于載體中的研磨料游離磨粒或復合研磨盤基質中的固定磨粒的切割能力。有兩種類型的研磨工藝
2023-04-13 14:23:41816

半導體行業之刻蝕工藝介紹

金屬刻蝕具有良好的輪廓控制、殘余物控制,防止金屬腐蝕很重要。金屬刻蝕時鋁中如果 有少量銅就會引起殘余物問題,因為Cu Cl2的揮發性極低且會停留在晶圓表面。
2023-04-10 09:40:542330

半導體行業之刻蝕工藝技術

DRAM柵工藝中,在多晶硅上使用鈣金屬硅化物以減少局部連線的電阻。這種金屬硅化物和多晶硅的堆疊薄膜刻蝕需要增加一道工藝刻蝕W或WSi2,一般先使用氟元素刻蝕鈞金屬硅化合物層,然后再使用氯元素刻蝕多晶硅。
2023-04-07 09:48:162198

waferGDP703202DG恒流1mA表壓2Mpa裸片壓力傳感器die

waferGDP703202DG恒流1mA表壓2Mpa裸片壓力傳感器die產品概述:GDP0703 型壓阻壓力傳感器采用 6 寸 MEMS 產線加工完成,該壓力的芯片由一個彈性膜及集成
2023-04-06 14:48:12

單晶硅刻蝕工藝流程

FinFET三維器件也可以用體硅襯底制作,這需要更好地控制單晶硅刻蝕工藝,如CD、深度和輪廓。
2023-03-30 09:39:182459

調溫調箱的特點介紹

調溫調箱全名“恒溫恒試驗箱”是航空、汽車、家電、科研等領域必備的測試設備,用于測試和確定電工、電子及其他產品及材料進行高溫、低溫、濕熱度或恒定試驗的溫度環境變化后的參數及性能,它主要用于根據試驗
2023-03-28 09:02:36

介紹芯片鍵合(die bonding)工藝

作為半導體制造的后工序,封裝工藝包含背面研磨(Back Grinding)、劃片(Dicing)、芯片鍵合(Die Bonding)、引線鍵合(Wire Bonding)及成型(Molding)等步驟。
2023-03-27 09:33:377224

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