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電子發燒友網>今日頭條>一種制備PS層的超聲增強化學蝕刻方法

一種制備PS層的超聲增強化學蝕刻方法

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2022-02-18 15:28:231585

半導體各向異性蝕刻的表面化學和電化學

、成本效益和多功能性,濕化學蝕刻方法在半導體器件技術中得到廣泛應用。雖然一些半導體可以通過還原分解,但實際蝕刻通常涉及固體的氧化[1]. 價電子從與溶液中的蝕刻物質(開路蝕刻)或通過外部電路(電化學蝕刻)對電極的表面鍵合中
2022-03-03 14:16:37905

KOH溶液中氮化鋁的濕化學蝕刻

本文研究了KOH基溶液中AIN的濕式化學蝕刻蝕刻溫度和材料質量的關系。這兩種材料的蝕刻速率都隨著蝕刻溫度的增加而增加,從20~80°C不等。通過在1100°C下快速熱退火,提高了反應性濺射制備
2022-03-09 14:37:47431

局部陽極氧化和化學蝕刻對硅表面的自然光刻

利用作為掩模的陽極多孔氧化鋁的模式轉移,制備了具有100nm周期性自有序結構的孔和柱陣列納米結構,納米圖案的轉移是通過一個涉及硅的局部陽極化和隨后的化學蝕刻的組合過程來實現的。利用這一方法,可以通過改變蝕刻條件來制造負圖案和正圖案。
2022-03-23 11:05:54373

采用濕蝕刻技術制備黑硅

和水熱蝕刻制備黑硅具有更大的優勢。它為制備黑硅可見光和近紅外光電子器件提供了一種合適而經濟的方法。本文采用濕式蝕刻制備了微結構硅,并對其微觀結構進行了表征,并對其光學性能進行了測試。
2022-03-29 16:02:59819

一種制備PS層的超聲增強化學蝕刻方法

本文采用超聲增強化學蝕刻技術制備了多孔硅層,利用高頻溶液和硝酸技術在p型取向硅中制備了多孔硅層。超聲檢測發現p型硅多孔硅層的結構,用該方法可以制備質量因子的多孔硅微腔,超聲蝕刻所導致的質量的提高
2022-04-06 13:32:13330

單晶硅晶片的超聲輔助化學蝕刻

用氟化氫-氯化氫-氯氣混合物進行各向異性酸性蝕刻一種有效的方法 單晶硅晶片紋理化的替代方法 在晶片表面形成倒金字塔結構[1,2]形貌取決于以下成分 蝕刻混合物[3]硅在HF-HCl[1]Cl2
2022-04-12 14:10:22361

一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法

本文提供了用于蝕刻膜的方法和設備。一個方面涉及一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法,該方法包括:(a)將氟化氣體引入等離子體發生器并點燃等離子體以a形成含氟蝕刻溶液;(b)從硅源向等離子體提供硅;以及
2022-04-24 14:58:51979

硅晶片的化學蝕刻工藝研究

拋光的硅片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,通過切片將單晶硅錠切成圓盤(晶片),然后進行稱為研磨的平整過程,該過程包括使用研磨漿擦洗晶片。 在先前的成形過程中引起的機械損傷通過蝕刻是本文的重點。在準備用于器件制造之前,蝕刻之后是各種單元操作,例如拋光和清潔。
2022-04-28 16:32:37666

超聲波頻率對化學蝕刻工藝有什么影響

引言 在這項工作中,超聲增強化學腐蝕被用來制作多孔硅層。通過使用HF溶液和HNO3在p型(111)取向硅中制備多孔硅層。發現超聲波改善了p型硅上多孔硅層的結構。用這種方法可以制作品質因數高得多的多孔
2022-05-10 15:43:25941

一種基于摩擦誘導選擇性蝕刻的新型納米制備方法

在本研究中,通過對目標區域的低破壞性掃描和在KOH溶液中的后蝕刻,發展了一種在石英表面產生三維納米結構的新型納米加工方法。這種納米制造方法的能力通過各種納米結構來展示,包括斜坡、分級階段和棋盤狀圖案。在不同溫度下測試掃描區域的蝕刻速率。為了制造更深層次的結構,人們嘗試在現有的納米結構上重新制作。
2022-05-13 13:51:35367

一種穿過襯底的通孔蝕刻工藝

通過使用多級等離子體蝕刻實驗設計、用于蝕刻后光致抗蝕劑去除的替代方法,以及開發自動蝕刻后遮蓋物去除順序;一種可再現的基板通孔處理方法被集成到大批量GaAs制造中。對于等離子體蝕刻部分,使用光學顯微鏡
2022-06-23 14:26:57516

GaN的晶體濕化學蝕刻工藝詳解

50納米,4,5,盡管最近有報道稱rms粗糙度低至4–6納米的表面。6光增強電化學(PEC)濕法蝕刻也已被證明適用于氮化鎵(GaN)的蝕刻。7–10 PEC蝕刻具有設備成本相對較低和表面損傷較低的優勢
2022-07-12 17:19:243454

強化學習的基礎知識和6種基本算法解釋

來源:DeepHub IMBA 強化學習的基礎知識和概念簡介(無模型、在線學習、離線強化學習等) 機器學習(ML)分為三個分支:監督學習、無監督學習和強化學習。 監督學習(SL) : 關注在給
2022-12-20 14:00:02827

硅的濕式化學蝕刻和清洗

本文綜述了工程師們使用的典型的濕化學配方。盡可能多的來源已經被用來提供一個蝕刻劑和過程的簡明清單
2023-03-17 16:46:232013

什么是金屬蝕刻蝕刻工藝?

金屬蝕刻一種通過化學反應或物理沖擊去除金屬材料的技術。金屬蝕刻技術可分為濕蝕刻和干蝕刻。金屬蝕刻由一系列化學過程組成。不同的蝕刻劑對不同的金屬材料具有不同的腐蝕特性和強度。
2023-03-20 12:23:433172

濕式化學蝕刻制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業人員。因此,英思特開發了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法
2023-05-25 13:47:51846

強化學習的基礎知識和6種基本算法解釋

來源:DeepHubIMBA強化學習的基礎知識和概念簡介(無模型、在線學習、離線強化學習等)機器學習(ML)分為三個分支:監督學習、無監督學習和強化學習。監督學習(SL):關注在給定標記訓練數據
2023-01-05 14:54:05419

什么是強化學

強化學習是機器學習的方式之一,它與監督學習、無監督學習并列,是三種機器學習訓練方法之一。 在圍棋上擊敗世界第一李世石的 AlphaGo、在《星際爭霸2》中以 10:1 擊敗了人類頂級職業玩家
2023-10-30 11:36:401042

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