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臭氧輔助硅蝕刻技術的研究

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本文研究了通過光敏抗蝕劑的濕蝕刻劑滲透。后者能夠非常快速地響應選擇濕蝕刻劑/聚合物的兼容性,以保護下面的膜不被降解。如今,大多數材料圖案化是用等離子蝕刻而不是濕法蝕刻來進行的。事實上,與通常
2022-04-06 13:29:19666

基于噴射條件的蝕刻特性和霧化特性研究

研究根據蝕刻條件的變化,對蝕刻特性——蝕刻率和蝕刻系數進行了球面分析,并使用速度、液滴大小、沖擊力(PDA)系統分析了噴嘴、噴射壓力、線短距離、工質物性值變化時的噴霧特性,并考察了與蝕刻特性的相互關系。
2022-04-07 16:16:39398

單晶硅晶片的超聲輔助化學蝕刻

混合物中的擴散控制溶解過程通過改變流量形成各種形態 蝕刻混合物的速度[4,5]超聲波輔助導致蝕刻的高速運動 晶片表面的混合物。
2022-04-12 14:10:22361

單晶硅片與蝕刻時間的關系研究

本文研究了用金剛石線鋸切和標準漿料鋸切制成的180微米厚5英寸半寬直拉單晶硅片與蝕刻時間的關系,目的是確定FAS晶片損傷蝕刻期間蝕刻速率降低的根本原因,無論是與表面結構相關,缺陷相關,由于表面存在的氧化層,還是由于有機殘差。
2022-04-18 16:36:05406

通過光敏抗蝕劑的濕蝕刻劑滲透研究

本文研究了通過光敏抗蝕劑的濕蝕刻劑滲透。后者能夠非常快速地響應選擇濕蝕刻劑/聚合物的兼容性,以保護下面的膜不被降解。如今,大多數材料圖案化是用等離子蝕刻而不是濕法蝕刻來進行的。事實上,與通常
2022-04-22 14:04:19591

一種臭氧氧化和硅蝕刻技術

本文章提出了一種新的半導體超鹵素深度分析方法,在通過臭氧氧化去除一些硅原子層,然后用氫氟酸蝕刻氧化物后重復測量,確定了成分和表面電位的深度分布,因此這種分析技術提供了優于0.5納米的深度分辨率,通過
2022-05-06 15:50:39366

硅結構的深且窄的各向異性蝕刻研究

在使用低溫卡盤的低壓高密度等離子體反應器中研究了硅結構的深且窄的各向異性蝕刻。我們華林科納以前已經證明了這種技術在這種結構上的可行性。已經研究蝕刻速率和輪廓的改進,并且新的結果顯示
2022-05-11 15:46:19730

M111N蝕刻速率,在堿性溶液中蝕刻

本文講述了我們華林科納研究了M111N蝕刻速率最小值的高度,以及決定它的蝕刻機制,在涉及掩模的情況下,M111N最小值的高度可以受到硅/掩模結處的成核的影響,以這種方式影響蝕刻或生長速率的結可以
2022-05-20 17:12:59853

臭氧傳感器的作用是什么,臭氧傳感器的原理說明

Gravity:臭氧傳感器的探頭已經經過出廠標定,可以快速、準確的測量環境中臭氧的濃度。可廣泛應用于工業及環保領域進行臭氧的檢測。
2022-05-23 17:51:572915

硅KOH蝕刻:凸角蝕刻特性研究

引用 本文介紹了我們華林科納半導體研究了取向硅在氫氧化鉀水溶液中的各向異性腐蝕特性和凸角底切機理。首先,確定控制底切的蝕刻前沿的晶面,并測量它們的蝕刻速率。然后,基于測量數據,檢驗了凸角補償技術
2022-06-10 17:03:481113

金屬蝕刻殘留物對蝕刻均勻性的影響

蝕刻,加入CHCI以控制各向異性。大量的氦有助于光致抗蝕劑的保存。已經進行了支持添加劑作用的參數研究。 高速率各向異性等離子體蝕刻工藝對于提高加工VLSI晶片器件的機器的效率非常重要。這篇論文描述了這樣一種用于以高速率( 5000埃/分
2022-06-13 14:33:14904

用于減薄硅片的蝕刻技術

高效交錯背接觸(IBC)太陽能電池有助于減少太陽能電池板的面積,以提供足夠的家庭消費能源。我們認為,即使在20μm的厚度下,借助光捕獲方案,適當鈍化的IBC電池也能保持20%的效率。在這項工作中,光刻和蝕刻技術被用于對厚度小于20μm的晶硅(cSi)晶片的深度蝕刻
2022-06-28 11:20:260

ITO薄膜的蝕刻速率研究

在本研究中,我們華林科納研究了在液晶顯示(LCD)技術中常用的蝕刻劑中相同的ITO薄膜的蝕刻速率,保持浴液溫度恒定,并比較了含有相同濃度的酸的溶液,對ITO在最有趣的解決方案中的行為進行了更詳細的研究,試圖闡明這些浴液中的溶解機制。
2022-07-04 15:59:581434

臭氧檢測儀品牌

時一定要考慮它的穩定性,儀器零點偏移與全幅偏移越小越好。 2.便利性:在儀器具有穩定性的前提下,便利性也是比較重要的因素,便攜式臭氧檢測儀攜帶與維修保養更加容易。 3.適用性:在選擇儀器之前一定要先和技術人員對氣體類型進
2022-11-11 16:37:362542

臭氧檢測儀如何測出臭氧的濃度?-歐森杰

臭氧是目前空氣污染源中最常見的一種。臭氧雖然來去無蹤,但對健康的危害不容忽視。臭氧濃度達到50%ppb(十億分率,1ppb也就是十億分之一),人就會開始出現鼻粘膜和咽喉粘膜的影響,隨著濃度的增加
2022-11-21 15:20:592503

簡要說明濕法蝕刻和干法蝕刻每種蝕刻技術的特點和區別

蝕刻不是像沉積或鍵合那樣的“加”過程,而是“減”過程。另外,根據刮削方式的不同,分為兩大類,分別稱為“濕法蝕刻”和“干法蝕刻”。簡單來說,前者是熔法,后者是挖法。
2023-01-29 09:39:003850

什么是金屬蝕刻蝕刻工藝?

金屬蝕刻是一種通過化學反應或物理沖擊去除金屬材料的技術。金屬蝕刻技術可分為濕蝕刻和干蝕刻。金屬蝕刻由一系列化學過程組成。不同的蝕刻劑對不同的金屬材料具有不同的腐蝕特性和強度。
2023-03-20 12:23:433172

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

蝕刻技術蝕刻工藝及蝕刻產品簡介

關鍵詞:氫能源技術材料,耐高溫耐酸堿耐濕膠帶,高分子材料,高端膠粘劑引言:蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wetetching)和干蝕刻
2023-03-16 10:30:163504

臭氧檢測儀的原理與應用

法是最常用的一種原理,它利用臭氧在紫外波段具有特定吸收特性的原理,通過光譜技術來測量臭氧濃度。 二、臭氧檢測儀的應用領域 1. 環境監測 環境監測部門使用臭氧檢測儀對大氣中的臭氧濃度進行實時監測,以評估空氣質量。通過長
2023-06-26 16:48:24547

深度解讀硅微納技術蝕刻技術

蝕刻是一種從材料上去除的過程。基片表面上的一種薄膜基片。當掩碼層用于保護特定區域時在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-12 09:26:03190

深度解讀硅微納技術之的蝕刻技術

蝕刻是一種從材料上去除的過程。基片表面上的一種薄膜基片。當掩碼層用于保護特定區域時在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-14 11:13:32183

臭氧老化試驗箱:基本原理、技術參數、使用方法及注意事項

臭氧老化試驗箱是一種專門用于模擬和測試材料在臭氧環境下的老化性能的設備。這種設備廣泛應用于橡膠、塑料、涂料等高分子材料的研究、生產和質量控制等領域。本文將介紹臭氧老化試驗箱的基本原理、技術
2023-08-22 10:16:31539

不同氮化鎵蝕刻技術的比較

GaN作為寬禁帶III-V族化合物半導體最近被深入研究。為了實現GaN基器件的良好性能,GaN的處理技術至關重要。目前英思特已經嘗試了許多GaN蝕刻方法,大部分GaN刻蝕是通過等離子體刻蝕來完成
2023-12-01 17:02:39259

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