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蝕刻速率的影響因素及解決方法

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2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發現了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數據,提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

如圖,在移植soem代碼的過程出現這個錯誤有什么解決方法

在移植soem代碼的過程出現這個錯誤,一般有什么解決方法
2023-05-26 06:22:43

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩定,蝕刻率就會變化,因而影響產品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484918

高速硅濕式各向異性蝕刻技術在批量微加工中的應用

蝕刻是微結構制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進一步細分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機電系統(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

STM32無法連接JLink(Flash讀寫保護)解決方法

對于其他的stm32芯片或者其他ARM芯片,其實解決方法都相通,主要就是先修改啟動方式,再去更改flash或者ram中的程序。
2023-05-05 12:24:392444

國民技術N32WB031不能下載固件的解決方法

N32WB031國為把PA4、PA5初始化普通IO后,不能下載固件的解決方法
2023-05-05 09:09:331349

SMT貼片加工常見細間距IC引腳短路原因及解決方法

一站式PCBA智造廠家今天為大家講講SMT貼片加工常見短路問題有哪些?SMT加工常見短路解決方法。SMT貼片加工短路不良現象多發于細間距IC的引腳之間,所以又叫“橋接”。也有CHIP件之間發生短路現象的,那是極少數。接下來深圳PCBA加工廠家為大家介紹細間距IC引腳間的橋接問題及解決方法
2023-04-28 10:23:31586

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應離子蝕刻

反應離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導體工業中使用的互補金屬氧化物半導體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

安川變頻器GA700參數設定出錯解決方法

接點輸入] ③H7-01~H7-04[虛擬數字輸入] 解決方法為正確設定參數。 ②待機模式功能的設定有后述矛盾,解決方法為 ①b8-50 = 0[待機模式選擇 = 無效]但H2-xx= 65[多功能接點輸
2023-04-07 14:36:370

為什么單體電池不能直接作為電源使用及解決方法呢?

為什么單體電池不能直接作為電源使用及解決方法呢?
2023-03-27 14:40:30

會議廳led電子屏應用的四種解決方法及保養技巧

會議廳led電子屏應用的四種解決方法及保養技巧 會議在現代商務活動中變得越來越重要,會議廳led電子屏的應用為會議組織等過程中遇到的各種問題提供了新的解決方法。 場景1:有些人在會議廳的白板上留下
2023-03-27 09:59:45755

步進電機改善暫態特性的解決方法

步進電機基礎(8.3)-步進電機的問題解決方案-改善暫態特性的解決方法 前言 基本信息 前言說明 8.3 改善暫態特性的解決方法 1. 利用阻尼器的改善 2 . 利用驅動電路的改善 (1) 半步
2023-03-24 11:05:350

如何控制萬能試驗機的加載速率以提高精度?

萬能試驗機是材料力學測試中不可或缺的設備之一,其精度直接影響測試結果的準確性。載荷精度和位移精度是反映試驗機精度的兩個重要指標,影響因素包括傳感器的精度和靈敏度、機械結構的剛度和精度、位移測量方法
2023-03-23 14:02:38799

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