相信每個人或多或少都聽過報章雜志提到微機電系統(以下簡稱MEMS: Micro Electronic Mechanical System)，而意法半導體(STMicroelectronic
2011-01-27 09:19:05
2081 
微機電系統（MEMS）是飛思卡爾應用于加速度和壓力傳感器的技術。基于MEMS的傳感器產品有一個接口，通過該接口可以感應、處理和/或控制周圍環境。
2015-03-23 14:45:051729 是一篇比較嚴肅的MEMS技術科普文章，作者是MEMS技術博士，然而文中深入淺出，并沒有深奧到難以看懂，并且配有多圖微觀圖片講解，是小編看過最好的MEMS技術科普內容！ 寫在前面 雖然大部分人對于MEMS（Microelectromechanical systems，微機電
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS技術
2012-08-14 23:03:38
進入市場。微機械繼電器（MMR），比如歐姆龍開發的，這種繼電器更快，更高效，其集成度前所未有。歐姆龍發揮了自己的微機電系統專業優勢，為市場帶來新款溫度傳感器：D6T非接觸式MEMS溫度傳感器。該D6TMEMS制作
2018-11-07 11:00:01
更新等信息的近眼顯示雙目鏡就在你的眼前顯示信息。這只是有可能用基于微機電系統 (MEMS) 的投影顯示技術來實現技術進步的幾個創新型應用示例。基于MEMS的TI TI DLP? Pico? 投影顯示
2018-09-06 14:58:52
如果一款移動電話設計要能實現未來用戶所期望的各項廣泛服務，創造性思維是不可或缺的；而許多產業觀察者認為，微機電系統(MEMS)將是實現這種設計的下一波技術。
2019-06-26 06:59:26
哪位大佬可以詳細介紹下MEMS技術到底是什么
2020-11-25 07:23:59
微機電系統（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是指集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。其尺寸
2018-10-15 10:47:43
（羅盤）。這些微型元件稱為MEMS（微機電系統），構成了小巧輕便的運動跟蹤系統，與以前的產品相比，精度更高、可靠性更好且生產成本更低。那么，大家知道MEMS技術究竟有多重要嗎？
2019-07-31 07:24:21
從可穿戴設備到家庭助理，越來越多的設備利用麥克風準確捕捉幾乎任何聲音。麥克風構造中最常用的兩種技術是微機電系統（MEMS）麥克風和駐極體電容式麥克風（ECM），其中任何一種都有許多用例。本文將回
2019-02-23 14:05:47
MEMS（微機電系統）傳聲器為在各類設備中添加高級通信和監控功能擴展了機會。目前家庭數字助理和支持語音的導航設備的普及只是其中幾個例子，還有更多跡象證明語音控制電子產品開始了巨大增長。鑒于MEMS技術已開始主導傳聲器領域的市場份額，現在正是審視MEMS傳聲器電氣接口的現有類型和用法的好時機。
2019-08-08 08:43:37
`什么是MEMS傳感器？MEMS的全稱是微型電子機械系統（Micro-ElectroMechanical System），微機電系統是指可批量制作的，將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理
2016-12-09 17:46:21
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統。
2019-09-29 09:34:52
MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical SySTems）是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型
2018-09-07 15:24:09
結構材料，而不是使用基材本身。[23]表面微機械加工創建于1980年代后期，旨在使硅的微機械加工與平面集成電路技術更加兼容，其目標是在同一硅晶片上結合MEMS和集成電路。最初的表面微加工概念基于薄多晶硅
2021-01-05 10:33:12
MEMS(微機電系統)是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統。
2019-10-16 08:34:16
隨著微機電系統（MEMS）技術在微型化技術基礎上，結合了電子、機械、材料等多種學科交叉融合的前沿科研領域的不斷發展與成熟，從而出現了很多基于MEMS技術的傳感器，此類傳感器具有體積小、重量輕、低功耗、多功能等優點，在電子產品、航空航天、機械化工等行業中得到了廣泛應用。
2020-08-27 06:09:30
試圖開發MEMS開關技術的公司停滯不前。Foxboro Company是最早開始MEMS開關研究的公司之一，其于1984年申請了世界最早的機電開關專利之一。ADI公司自1990年開始通過一些學術項目涉足
2018-10-17 10:52:05
微機電系統 (MEMS) 將很快成為智能系統設計和構造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設計和制造性能提出新的約束條件。企業要獲得成功必須找到新的方法來應對這些挑戰。
2019-10-17 07:11:28
歷經十多年前的發展，MEMS（微機電系統, Micro-Electro-Mechanical System）逐漸衍變成消費類市場的重要推手，可謂是在手持式產品里風生水起，尤其在手機應用上更是如魚得水。
2019-08-02 06:53:16
`作為一種新型封裝器件，微機電系統(MEMS)將成為21世紀電子領域的重要技術之一，但是對于如何在PCB上裝配MEMS，中國工程師仍知之甚少。要想在這一新興技術領域占有一席之地，除了開發設計外
2014-08-19 15:50:19
專門從事反向工程和成本分析的公司），進行MEMS麥克風技術和專利侵權風險分析，利用他們獨一無二的經驗，結合技術和制造分析以及對專利權利要求的理解，來詳細講解樓氏電子、意法半導體/歐姆龍、瑞聲聲學/英飛凌
2015-05-15 15:17:00
` 本帖最后由 大白菜YQ 于 2019-3-25 14:03 編輯
ICS-40212模擬麥克風是一款微機電系統 (MEMS) 麥克風，具有極高動態范圍和低功耗常開模式。該麥克風包含MEMS
2018-11-08 10:13:52
系統技術基礎所涉及的材料、微機械設計和模、微細加工技術以及微封裝與測試等領域,并對微機電系統的應用、典型的微器件、國內外的發展現狀及前景進行全面分析. 在此基礎上,論述了MEMS 技術目前存在
2009-03-17 15:29:51
微機電系統（MEMS）
2021-01-09 10:18:48
導讀：傳感器性能對MEMS和ASIC參數的高度依賴性表明，閉環傳感器的系統級設計需要做大量的折衷考慮，其中的ASIC噪聲預算、激勵電壓、功耗和技術都高度依賴于MEMS參數。 微機械式慣性傳感器
2018-12-05 15:12:05
微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS
2016-08-04 15:08:50
微機電系統，大大提高了器件的功能和效率，已顯示出了巨大的生命力。MEMS技術的發展有可能會像微電子一樣，對科學技術和人類生活產生革命性的影響，尤其對微小衛星的發展影響更加深遠，必將為大批量生產低成本
2019-07-18 13:49:09
了現有音頻鏈的局限性。 IM69D130專為需要低自噪聲（高SNR），寬動態范圍，低失真和高聲學過載點的應用而設計，從而可以實現以前無法做到的高精度語音識別。 近年來，微機電系統（MEMS）麥克風技術
2020-09-01 18:48:02
衰減器技術實現無干擾(Hitless)功能,相對于使用二維MEMS轉鏡同時實現波長切換和Hitless功能的WSS。其具有技術成熟,成本相對低廉等優點。理論分析并數值模擬了該WSS的幾個關鍵參數,實際
2010-06-02 10:05:15
）04-0193-04 基于微機電系統（MicroelectromechanicalSystem, MEMS）技術的電磁型器件，特別是采用軟磁薄膜功能材料的電磁器件，如電磁MEMS開關等，因其工藝復雜而
2019-07-04 08:14:01
什么是MEMS？MEMS = Micro-Electro-Mechanical System, 是用半導體技術，在半導體材料上刻蝕出來的微機械結構。下圖左邊是MEMS制程做出的微機械齒輪與螨蟲的大小對比，右邊是一個200um的微機械風扇葉片放大圖。
2019-09-12 09:05:05
什么是RF MEMS？有哪些關鍵技術與器件？微電子機械系統(MicroElectroMechanicalSystem)，簡稱MEMS，是以微電子技術為基礎而興起發展的，以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底
2019-08-01 06:17:43
`MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合
2020-05-12 17:27:14
最近幾年利用微機電系統（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技術，在硅晶圓基板表面制作機電結構的技術備受關注，主要原因移動電話與WLAN（Wireless
2019-06-25 08:07:16
如果一款移動電話設計要能實現未來用戶所期望的各項廣泛服務，創造性思維是不可或缺的；而許多產業觀察者認為，微機電系統(MEMS)將是實現這種設計的下一波技術。 事實上，MEMS元件的推出已證實了其在
2019-07-26 08:16:54
如果一款移動電話設計要能實現未來用戶所期望的各項廣泛服務，創造性思維是不可或缺的；而許多產業觀察者認為，微機電系統(MEMS)將是實現這種設計的下一波技術。 事實上，MEMS元件的推出已證實了其在
2019-07-26 06:22:58
盡管MEMS（微機電系統）技術在氣囊和汽車壓力傳感器中的應用已有大約20年，但促使大眾認識到慣性傳感器作用的是任天堂的 Wii?和Apple? iPhone?手機。然而，在一定程度上，流行的看法
2019-07-16 06:49:53
關榮鋒(河南理工大學 材料科學與工程學院，河南 焦作454003)1引言MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小
2019-07-16 08:00:59
當前MEMS技術在傳感器領域已得到廣泛應用并取得了巨大成功。使用硅基微機械加工方法制作的微傳感器不僅體積小，成本低，機械牲好，并且能方便地與IC集成。形成復雜的微系統。
2011-03-22 17:44:34
移動電話設計要能實現未來用戶所期望的各項廣泛服務，創造性思維是不可或缺的；而許多產業觀察者認為，微機電系統(MEMS)將是實現這種設計的下一波技術。
2019-10-08 06:52:41
的一副近眼顯示眼鏡，能夠在你眼前顯示導航和社交媒體更新等信息。這些僅僅是眾多基于微機電系統（MEMS）投影顯示技術的進步而帶來的創新應用中的少數幾個示例。基于MEMS的TI DLP? Pico? 投影顯示
2022-11-16 08:04:25
Akustica公司發布宣稱是全球最小的麥克風。這款僅有1-mm2大小的麥克風采用了一個微機電系統(MEMS)振膜和芯片上互補型CMOS模擬電路。該整合芯片占位面積據稱只有其它雙芯片MEMS麥克風競爭產品的25%。
2019-08-16 06:37:05
最高并行測試。機電繼電器的帶寬窄、動作壽命有限、通道數有限以及封裝尺寸較大，因此對系統設計人員的限制日益增大。微機電系統 (MEMS) 開關具有創新性，可以替代繼電器并將行業推向更高水平。憑借內部最先
2018-11-01 11:02:56
MEMS（微機電系統）傳感器都有哪些優點？為什么MEMS（微機電系統）傳感器受消費者歡迎？
2021-06-17 07:45:15
微機電系統(MEMS)感測器制造技術邁入新里程碑。意法半導體(ST)宣布成功結合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
田的一員。Murata Electronics Oy運用了獨特的3D-MEMS（三維MEMS）技術向市場提供了高性能以及高可靠性的MEMS傳感器。
2019-07-04 06:06:12
微機電系統（MEMS）技術是通過使用先進的微制造技術將機械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現。如今，這些技術已經逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統在降低成本、持續可靠性（由于固有的穩健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當大的設計優勢。
2019-08-02 06:35:04
微機電系統(MEMS)運動IC在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。這些趨勢在最新的加速度計、陀螺儀和慣性測量單元(IMU)上得到了體現，使得MEMS器件得以滿足多種下一代電子產品，特別是消費電子產品的需求。
2019-10-29 07:52:04
隨著傳感器、物聯網應用的大規模落地，微機電系統（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關注。
2020-05-12 10:23:29
加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術
2016-07-27 11:46:44
微機電系統（MEMS）是當前一個發展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統的產生與發展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，
2009-05-25 09:34:02
6 分析了分布式微機電系統特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統構成進行了研究，提出了采用多主體技術實現分布式MEMS控制的框架。對系統的模型、微機電主體的結構、行為
2009-05-25 21:40:3721 微機電系統是一個新興的技術領域. 闡述了微機電系統的特點、加工工藝、應用及其現狀和發展趨勢.[關鍵詞] 微機電系統;微機械;微傳感器;微細加工技術
2009-06-20 10:59:1935 SOC 片上系統在國民經濟與社會生活中，許多行業生產了所需求的產品。MEMS微機電系統和Smart Dust 智能微塵的出現，不但使生產、生活產生
2009-09-15 08:17:1518 微機電系統（MEMS）是當前一個發展極為迅速并涉及多個學科的領域。本文主要介紹了微機電系統的產生與發展過程，討論了它所采用的材料和加工技術、該技術涉及的各個學科，
2009-11-23 13:32:5914 介紹了微機電(MEMS)封裝技術,包括晶片級封裝、單芯片封裝和多芯片封裝、模塊式封裝與倒裝焊3種很有前景的封裝技術。指出了MEMS封裝的幾個可靠性問題,最后,對MEMS封裝的發展趨勢
2009-12-29 23:58:1642 摘要：對微機電系統（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）組裝與封裝工藝的特點進行了總結分析，給出了MEMS組裝與封裝設備的研究現狀。針對MEMS產業發展的特點，分析了面向MEMS組裝與
2010-11-12 02:10:2945 據iSuppli公司的最新調研，微機電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強勁反彈，預計2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達到5.912億個，比2009年的5.020億勁增17.8%。2009年MEMS傳感器市場劇烈波動
2010-06-28 08:07:20494 DIGITIMES Research指出，微機電系統(MEMS)慣性組件應用已起飛，目前尤以手機中的應用最被全球業者所看好，故業者將
2010-11-23 09:14:55975 MEMS微機電系統基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智能系統，主要由傳感順、作動器(執行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 17:28:432490 微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。
2011-09-13 17:33:583874 微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。
2011-09-13 17:36:273175 微機電系統技術統有多種原材料和制造技術，選擇條件是系統的應用、市場等等。
2011-09-13 17:39:492123 微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的.電子發燒友為大家提供了詳盡的技術知識。
2011-09-13 17:02:18
模擬IC設計公司SiTime發表以矽MEMS技術取代石英振蕩器OCXO和TCXO的新產品，運用微機電系統(MEMS)技術將各種頻率燒制成一顆IC，可減少體積及成本，并以標準化制程，縮短生產時程。SiTim
2011-11-16 10:32:07626 mems (微機電系統)傳感器;有三項MEMS技術產品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2011-12-28 10:28:551083 市場研究機構Yole Developpement公布最新前三十大微機電系統(MEMS)業者排名。
2012-03-29 09:55:351590 
mems（微機電系統）傳感器;有三項MEMS技術產品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2012-12-11 14:31:37931 微機電系統（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。
2013-01-22 16:50:122220 Mouser Electronics宣布在Mouser.com上推出全新的技術網站，內容涉及微機電系統（MEMS）技術。 新網站旨在幫助設計工程師根據應用查找最新的MEMS產品，協助他們方便地訪問最新的技術資源，并加快設計過程。
2013-05-17 15:19:55653 汽車 mems （微機電系統）傳感器;有三項MEMS技術產品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器。
2018-04-11 11:35:001567 
雖然大部分人對于MEMS（Microelectromechanical systems，微機電系統/微機械/微系統）還是感到很陌生，但是其實MEMS在我們生產，甚至生活中早已無處不在了，智能手機
2018-07-13 14:09:001163 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統): 第三部分
2019-08-06 06:18:002952 隨著傳感器、物聯網應用的大規模落地，微機電系統（MEMS）在近些年應用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應的MEMS封裝也開始備受關注。
2020-05-11 17:27:55988 
MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片
2020-05-16 10:02:262954 微機電系統（MEMS），在歐洲也被稱為微系統技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微機械加工技術批量制作的、集微型傳感器、微型機構、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口、通訊等于一體的微型器件或微型系統。
2020-07-10 16:23:202123 微機電系統（MEMS）技術使用半導體制造工藝來生產尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設備可以從沒有運動元件的相對簡單的結構到具有多個運動元件的復雜的機電系統。
2020-07-22 18:06:094553 
：更小的尺寸、更加廣泛的應用，以及即使是在低壓、極短的放映時間內也能達到精確的氣體密度測量。 1.什么是MEMS技術： MEMS的全稱，是Micro-Electro-Mechanical Systems，即微機電系統，該技術是基于硅半導體技術的基礎上，在復雜的微系統中結合了微電子和微機械等功能。是在
2020-12-28 15:42:4019381 MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統，微機械結構的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。
2020-12-25 15:34:494373 MEMS也即微機電系統，電子專業的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中，小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。
2021-01-25 09:22:09500 （Micro-Electro-Mechanical Systems）稱為微機電系統，或微電子和微機電系統，是為利用機械手段實現特定功能而建造的小型化結構和設備。MEMS最早是在1960年代提出的，但是直到1980年代才商業化。其實在現實生活中MEMS技術實際離普通人很近，它包括MEMS麥克風，微馬達，me
2021-02-20 11:05:316656 摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術之一。在21世紀，它具有革命性的工業和結合以硅為基礎的微電子產品微加工技術。它的技術和微系統電子設備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統文章全部詳情
2023-04-24 09:21:00425 MEMS（微機電系統）元件的失效機制從本質上講和與之相對應的宏觀（肉眼可見）元件，具有很大差別并且是獨特的。本文討論從各種MEMS元件中觀測到的失效機制。需要強調的是，MEMS裝置的組裝使用散裝表面
2021-12-13 09:37:371065 
從驅動方式和機械結構的角度介紹了不同的RF MEMS開關類型，分析了各類MEMS開關的性能及優缺點，分析了MEMS開關在制作和發展中面臨的犧牲層技術、封裝技術、可靠性問題等關鍵技術和問題，介紹了MEMS開關的發展現狀及其在組件級和系統級的應用，以及對MEMS開關技術的展望
2023-05-23 14:29:05517 
。微機電系統（Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指將微電子器件、微結構與微機械組件（微傳感器、微執行器）集于一體的集成系統，它代表一種在電子領域與其
2023-11-14 09:25:03424 
電子發燒友網站提供《ADI公司突破性的微機電系統(MEMS)開關技術.pdf》資料免費下載
2023-11-27 09:52:201 什么是MEMS交換？MEMS交換原理是什么？ MEMS交換是一種利用微機電系統技術來實現光纖通信中光路的快速開關的技術。它具有體積小、速度快、功耗低、可靠性高等優點，因此在光纖通信、光纖傳感和光纖
2024-02-02 14:41:31119
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MEMS本質上是一種把微型機械組件（如傳感器、制動器等）與電子電路集成在同一顆芯片上的半導體技術。一般芯片只是利用了硅半導體的電氣特性，而 MEMS 則利用了芯片的電氣和機械兩種特性。
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