中芯國際已將明導國際Calibre產品認證DFM簽核參考平臺

前不久，明導國際宣布中芯國際已經將明導國際Calibre產品認證為其65nm和更小制程的可制造性設計（DFM）簽核參考平臺。參考流程涵蓋了Calibre DFM所能提供的全部組件，包括：用于光刻檢驗的Calibre LFD產品；用于平面性（CMP）仿真的Calibre CMPAnalyzer產品；用于關鍵區域分析（CAA）和仿真的Calibre YieldAnalyzer產品；以及用于自動DFM布線改進的帶有SmartFill的Calibre YieldEnhancer產品，其中包括了高度優化平面性填充。此外，中芯國際還將Calibre解決方案應用于DFM服務之中。

“我們正積極將DFM簽核要求添加到65nm及以下的制程當中，使其成為各個級別的強制規定，包括全芯片、模塊和IP，”中芯國際企業設計服務中心副總裁Max Liu說。“之所以選擇Calibre，是因為我們發現它是完整、準確而可靠的DFM平臺，這將保證中芯國際參考流程的有效性。例如，Calibre LFD是主要的光刻檢驗工具，它的精度足以達到我們對于65nm制程的要求。所以，我們在流程中使用的制程變動分析工具，包括電氣分析，均采用Calibre LFD生成的輪廓圖。同時，Calibre CMPAnalyzer使得中芯國際能夠建立并修改我們的CMP模型，在DFM過程中給予我們更多的靈活性和控制力。另外，Calibre作為在業界廣泛使用的完整流片后流程平臺，使我們的客戶能夠輕易將經過Calibre驗證的IP集成在他們的設計當中。”

“采用DFM已經成為晶圓代工和無晶圓設計公司同時面臨的一項挑戰，”明導國際副總裁，設計至芯片部總經理Joseph Sawicki說。“Calibre平臺使得DFM成為我們的客戶現有物理驗證流程的無縫延伸，產品的采用變得更加容易，性能方面的優勢得以顯現，整個周期時間也得到了縮短。”