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電子發燒友網>電源/新能源>電源新聞>啟用PowerFill外延硅工藝的電源設備

啟用PowerFill外延硅工藝的電源設備

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2023-06-01 15:12:47278

8吋SiC外延設備首次亮相 已經完成首輪工藝驗證

在SEMICON China 2023上海展上,中國電科集團攜集成電路、第三代半導體、半導體顯示、光伏及熱工等領域設備工藝整體解決方案重裝亮相,全面展示了最新實踐和成果。
2023-07-24 10:29:45797

SiC外延片是SiC產業鏈條的核心環節嗎?

碳化硅功率器件與傳統硅功率器件制作工藝不同,不能直接制作在碳化硅單晶材料上,必須在導通型單晶襯底上額外生長高質量的外延材料,并在外延層上制造各類器件。
2023-08-03 11:21:03286

SiC外延片測試需要哪些分析

對于摻雜的SiC外延片,紅外光譜測量膜厚為通用的行業標準。碳化硅襯底與外延層因摻雜濃度的不同導致兩者具有不同的折射率,因此試樣的反射光譜會出現反映外延層厚度信息的連續干涉條紋。
2023-08-05 10:31:47914

SiC外延片制備技術解析

碳化硅功率器件與傳統硅功率器件制作工藝不同,不能直接制作在碳化硅單晶材料上,必須在導通型單晶襯底上額外生長高質量的外延材料,并在外延層上制造各類器件。
2023-08-15 14:43:341001

硅基復合襯底上分子束外延HgTe/CdTe超晶格結構材料工藝研究

列陣探測器引起了人們的廣泛關注。為了滿足高性能、雙多色紅外焦平面器件制備的要求,需要對碲鎘汞p型摻雜與激活進行專項研究。使用分子束外延方法直接在碲鎘汞工藝中進行摻雜,As很難占據Te位,一般作為間隙原子或者占據金屬位,
2023-09-26 09:18:14284

LED外延芯片工藝流程及晶片分類

電子發燒友網站提供《LED外延芯片工藝流程及晶片分類.doc》資料免費下載
2023-11-03 09:42:540

什么是外延工藝?什么是單晶與多晶?哪些地方會涉及到外延工藝

外延工藝的介紹,單晶和多晶以及外延生長的方法介紹。
2023-11-30 18:18:16878

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工,需要在其上經過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實現,高質量的碳化硅同質外延材料是碳化硅器件研制的基礎,外延材料的性能直接決定了碳化硅器件性能的實現。
2023-12-15 09:45:53607

分子束外延(MBE)工藝設備原理介紹

分子束外延(Molecular beam epitaxy,MBE)是一種在超高真空狀態下,進行材料外延技術,下圖為分子束外延的核心組成,包括受熱的襯底和釋放到襯底上的多種元素的分子束。
2024-01-15 18:12:10963

普興電子擬建六寸低密缺陷碳化硅外延片產線

預計該項目投資總額3.5億元人民幣,將引進碳化硅外延設備及輔助設備共計116套。其中包括一條具備24萬片年產量的6英寸低密度缺陷碳化硅外延材料產線。
2024-02-29 16:24:01217

半導體襯底和外延有什么區別?

襯底(substrate)是由半導體單晶材料制造而成的晶圓片,襯底可以直接進入晶圓制造環節生產半導體器件,也可以進行外延工藝加工生產外延片。
2024-03-08 11:07:41161

晶盛機電6英寸碳化硅外延設備熱銷,訂單量迅猛增長

聚焦碳化硅襯底片和碳化硅外延設備兩大業務。公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝,量產晶片的核心位錯達到行業領先水平。
2024-03-22 09:39:2965

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