主要性能指標
I-V 源測量單元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
- 100 fA測量分辨率
- 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
- 100 μF負載電容
- 四象限操作
- 2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
- AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
- ± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
- 選配 CVIV 多通道開關，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
- 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采樣率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬態波形捕獲模式
- 任意波形發生器 Segment ARB? 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發生器單元(PGU)
- 兩個高速脈沖電壓源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形發生器 Segment ARB?模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
- 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
- 把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)
- 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
- 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
- 降低電纜電容效應
