真空干燥
氟利昂和三氯乙烷等有機氯氟烴溶劑不再可用于蒸汽清洗工藝，因為它們會對臭氧層造成危害。現在，脫脂通常使用更環保的碳氫化合物或水基溶劑進行，清洗后使用多級羅茨式真空泵來干燥零件。
真空蒸餾
真空蒸餾可在低溫下將混合物質分離成各個成分。干式羅茨真空泵廣泛應用于食品、藥品、維生素等的生產設備。
真空包裝
無油干式羅茨真空泵在蔬菜、肉類等新鮮食品的真空包裝過程中非常受歡迎。干式羅茨真空泵還用于真空包裝精密部件、抗氧化部件等物品。
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