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摘要：微壓力傳感器是微機電領域最早開始研究并且實用化的微器件之一，它結構簡單、用途廣。基于壓阻效應、惠
斯頓電橋等相關知識設計了一種壓阻式微壓力傳感器。為增大靈敏度，設計了一種折彎形的壓敏電阻。基于一些相關的
微加工工藝制定了制作這種微傳感器的工藝流程并且制作成功了傳感芯片。設計了一個處理電路去獲得此傳感器的輸
出信號，它由兩級放大電路和兩級巴特沃斯低通濾波電路組成。最后利用這個測試系統檢測出了隨壓力變化而發生變化
的微電壓信號。
關鍵詞：微機電系統；壓阻式；微傳感器；測試系統
微機電系統（AQA?）是在微電子相關技術基礎上發展起來
的一門多學科交叉前沿學科，它采用半導體工藝技術，把微機
械結構和電路集成在一起，具有體積小、質量輕、功耗低、成本
低等優點。微傳感器是最早開始研制的微機電器件，也是微機
電技術中相對最成熟、最早開始產業化的產品。微壓力傳感器
在整個AQA? 行業，無論是設計研究，還是產業應用中都占主
要地位。就其傳感原理來說，微壓阻式、微電容式、微諧振式是
當今微壓力傳感器的# 種最常見的形式。其中，微壓阻式結構
最簡單，制作工藝及步驟也最容易，缺點是其相關性能不如其
他兩種好［&］。
" 微壓阻式壓力傳感器的設計及制作
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