資料介紹
摘要:闡述了一種新型的HE-NE激光位移傳感器,具有自校準(zhǔn)功能以及沒(méi)有原理上的誤差。利用頻率分裂技術(shù),將一個(gè)縱模間隔分為4個(gè)寬度相等的區(qū)間,在這4個(gè)區(qū)間內(nèi)激光器具有不同的光功率輸出。當(dāng)一個(gè)頻率移動(dòng)過(guò)這樣的一個(gè)區(qū)間,相當(dāng)于激光器的一個(gè)腔鏡移動(dòng)了X/8可移動(dòng)的反射鏡與被測(cè)工件相連。這樣,一支HE-NE激光器變成了一個(gè)不用干涉現(xiàn)象的位移傳感器,其測(cè)量范圍可達(dá)10MM,測(cè)量精度可達(dá)0.079UM并具有判向的功能。
關(guān)鍵詞:頻率分裂? 位移測(cè)量與傳感? HE-NE激光? 縱模間隔
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