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摘 要:利用RFMEMS可變電容作為頻率調節元件,制備了中心頻率為2GHz的MEMSVCO器件.RFMEMS可變電容采用凹型結構,其控制極板與電容極板分離,并采用表面微機械工藝制造,在2GHz時的Q值最高約為38.462.MEMSVCO的測試結果表明,偏離2.007GHz的載波頻率100kHz處的單邊帶相位噪聲為-107dBc/Hz,此相位噪聲性能優于他們與90年代末國外同頻率器件.并與采用GaAs超突變結變容二極管的VCO器件進行了比較,說明由于集成了RFMEMS可變電容,使得在RFMEMS可變電容的機械諧振頻率近端時,MEMSVCO的相位噪聲特性發生了改變.
關鍵詞:RFMEMS;可變電容;Q值;壓控振蕩器;單邊帶相位噪聲
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