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光刻機掃描曝光模型
掃描曝光過程的抽象模型如圖 1 所示 。激光器發出的脈沖光束經過光路傳輸系統， 從開口大小可調的狹縫中投影到工件臺上， 形成投影光斑 。當曝光場前沿與光斑前沿重合時 ，掃描開始;此后曝光場勻速經過投影光斑;當曝光場后沿與光斑后沿重合時 ，掃描結束 。
光刻機劑量控制器結構
掃描投影光刻機劑量控制系統如圖 2 所示 ，從準分子激光器發出的脈沖激光， 先經過底端照明光路（包括光束擴充鏡組、定位 定向鏡組、縮放 錐形鏡組等）和可變透過率衰減片， 到達能量傳感器， 再經過頂端照明光路（包括光能量均勻棒 、掃描狹縫、照明鏡組等）、掩模版和投影物鏡， 最終投射到硅片表面。光路中安裝有一個能量傳感器， 測量每個激光脈沖的能量并結合實時調節算法， 計算出下一個單脈沖能量的設定值;最后通過能量 電壓轉換關系將能量設定值轉換成電壓設定值， 以達到控制激光器單脈沖能量并保證劑量精度的目的 。
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