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與其它幾乎所有的氣體不同，氧氣有順磁性。0XYMAT 61型氧分析儀正是利用了這一原理來測量OZ 濃度。在不均勻磁場中，氧分子由于順磁性，朝強磁場方向移動。當不同氧氣濃度的： 二種氣體在同一磁場相遇時，他們之間就會產生一個壓力差。
微流量傳感器中有兩個被加熱到大約120*C 的鎳格柵，這兩個鎳格柵和兩個輔助電阻形成惠斯通電橋。變化的氣流導致鎳格柵的電阻發生變化。這使電橋產生偏移。該偏移數值大小決定于樣氣中的氧濃度。微流量傳感器位于參比氣路中，不直接接觸樣氣，所以樣氣的導熱、比熱和樣氣的內部摩擦對測量結果都不產生任何影響，同時，這也避免了樣氣對微流量傳感器的腐蝕，使得微流量傳感器的抗腐性能大大提高。通過變化磁場強度，使得微流量傳感器上的背景氣流不被檢測。儀器擺放的方向因而對測量也無影響。OXYMAT 61型氧分析儀的響應時間非常短。因為樣氣室直接與樣氣氣路相連，并且體積小，使微流量傳感器響應迅速。
注意樣氣中不能含有塵埃，樣氣室里不能有冷凝物，這就是為何需要做樣氣預處理工作。
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