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      微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）在高靈敏壓力傳感器過(guò)載保護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用

      2017-11-29 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　采用微機(jī)電系統(tǒng)（ MEMS） 犧牲層技術(shù)制作的壓力傳感器具有芯片尺寸小，靈敏度高的優(yōu)勢(shì)，但同時(shí)也帶來(lái)了提高過(guò)載能力的難題。為此，利用有限元法，對(duì)犧牲層結(jié)構(gòu)壓阻式壓力傳感器彈性膜片的應(yīng)力分布進(jìn)行了靜態(tài)線性分析和非線性接觸分析。通過(guò)這兩種分析方法的結(jié)合，準(zhǔn)確的模擬出過(guò)載狀態(tài)下傳感器的應(yīng)力分布。在此基礎(chǔ)上給出了壓力傳感器的一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法，從而可使這種壓力傳感器過(guò)載保護(hù)能力提高 180% ～ 220% 。

      　　犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器是指彈性膜片利用犧牲層技術(shù)制作而成的壓力傳感器，結(jié)構(gòu)示意圖如圖 1所示，其中 AB（ A‘B’） 為膜片寬度 a，AA‘（ BB’）為膜片長(zhǎng)度 b，H1 為膜片厚度，H2 為犧牲層厚度。

      微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）在高靈敏壓力傳感器過(guò)載保護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用

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