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壓力傳感器廣泛應用于各種現代工業生產中，對于在機車、冶金、石油化工、動力機械、航空航天等工程領域應用的傳感器來講，研究高可靠性及耐高溫的壓力傳感器具有重要的實際意義。例如航空發動機進出口油壓測量，發動機燃燒室氣體壓力測量、汽車發動機用機油壓力測量、增壓熱燃氣噴口壓力測量時，一旦傳感器失效或者泄漏，不僅會造成測量輸出異常，甚至會造成人員傷亡。目前，工業上常見的壓力傳感器芯片為擴散硅原理，壓敏電阻和襯底通過PN結電隔離，當工作溫度超過120℃時硅材料本征激發PN結會反向導電，所以不能在高于120℃的環境下進行壓力測量，傳感器敏感元件的安裝結構通常為O型密封圈“懸浮”結構，存在泄露隱患。針對某工程領域實際需求，提出了一種高可靠性壓力傳感器的設計方法，傳感器芯片采用（ silicon-orrinsulator，SOI）原理，具有優良的高溫性能，敏感元件通過電子束焊接8連接，輸出信號還還將進行溫度補償。最后經過環境試驗證明，該產品的的可靠性和性能指標可以滿足工程要求。
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