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MEMS傳感器主要由MOS管組成，由于MOS管材料的物理特性及其制造工藝的因素，MEMS傳感器的輸出特性受溫度影響較大，輸出特性的不理想因素主要有零點誤差、靈敏度誤差以及非線性誤差，這些誤差需通過后接調(diào)理電路得以校準(zhǔn)。標(biāo)定過程中，需要用到如溫箱、壓力源等標(biāo)定設(shè)備，此類設(shè)備大都采用PID控制，到達(dá)預(yù)設(shè)值并且穩(wěn)定花費的時間較長。標(biāo)定過程需測量的點數(shù)較多，人工讀取測量值存在一定的觀測誤差，步驟效率低且可靠性不高。
本文基于LabVIEW設(shè)計了一款傳感器的自動標(biāo)定系統(tǒng)，結(jié)合多項式擬合法將溫度信息與傳感器的輸出特性完成數(shù)據(jù)融合進(jìn)行信號校準(zhǔn)，能自動標(biāo)定校準(zhǔn)傳感器，縮短標(biāo)定校準(zhǔn)的時間，提高了數(shù)據(jù)精度。
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