科技的發(fā)展給人類帶來了很多好處，也給賦予人們更強的能力。如果說機械替代了人類的體力，計算機替代了人類的腦力，那無處不在的傳感器就替代了人類的感知能力。自1883年全球第一個恒溫器上市為世界帶來了首個傳感器和傳感器技術(shù)，到如今傳感器技隨處可見

　　。傳感器技術(shù)作為現(xiàn)代信息技術(shù)的三大基礎(chǔ)技術(shù)之一在當代科技中得到了大量的運用和飛速的發(fā)展。

　　壓力傳感器能感受壓力信號并按一定規(guī)律將之轉(zhuǎn)化成電信號的裝置。壓力傳感器由壓敏元件和轉(zhuǎn)換電路構(gòu)成。根據(jù)工作原理不同，將壓力傳感器分為壓阻式壓力傳感器和電容式壓力傳感器。下面對兩類壓力傳感器做一個詳細介紹。

　　電容式壓力傳感器

　　電容式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)采用板殼理論，電容由兩電極板組成，其中一塊極板固定，保持形狀不變；另一極板是一層薄片，可隨外部壓力改變而產(chǎn)生彈性形變。與另外兩端的兩個絕緣板一起構(gòu)成一個密閉氣室。原理圖如下

　　在不考慮邊緣電場效應(yīng)的情況下，該電容的容量表達式為

　　C=?0?rS/d

　　?0為真空中的介電常數(shù)

　　?r為介質(zhì)的相對介電常數(shù)

　　S為兩極板的相對面積

　　d為兩極板之間距離

　　由表達式可以看出想改變電容的容量可以通過改變介質(zhì)、極板相對面積和極距，而改變極距是最簡便的方法。對于壓力傳感器而言改變極距最普遍的方法，它可以進行動態(tài)非接觸式測量，靈敏度高，被系統(tǒng)影響小的特點［1］。許多年來，人們對電容壓力傳感器的設(shè)計越來越成熟，從早期易折疊彎曲金屬薄片改進為如今的有良好彈性剛性的單晶硅薄片。通過對原理的改良，結(jié)構(gòu)的改進，使現(xiàn)在的傳感器發(fā)展越來越迅速，性能越來越高，實用性越來越好。