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超聲電機壓電致動器驅(qū)動的精密滑臺應(yīng)用，超聲電機高精度（亞微米級別）、體積小、扭力大、適應(yīng)溫度范圍-40℃到105℃，配合外置或者內(nèi)置閉環(huán)控制進行高精度，可應(yīng)用于精密測量滑臺產(chǎn)品。
目前滑臺產(chǎn)品，普遍使用步進電機控制馬達，但是方案體積大，精度低，無位置反饋，應(yīng)用的小滑臺中，由于一般精度無法到達微米級別。
壓電致動器驅(qū)動的滑臺產(chǎn)品，超聲電機高精度、體積小可以將滑臺任意疊放組合，不產(chǎn)生干涉。
微型體積輸出大推力，閉環(huán)控制，將微型高精度閉環(huán)控制系統(tǒng)安裝在微型超聲電機背部，實現(xiàn)位置反饋，運動過程中將信息傳導(dǎo)到超聲電機伺服控制電路從而控制微型超聲電機精準(zhǔn)運動。
超聲電機伺服控制電路支持物理限位尋零功能。
滑臺精度達到亞微米級別。使用超聲電機技術(shù)制作的滑臺具有明顯優(yōu)勢。
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