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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>高性能MEMS電容壓力傳感器的設(shè)計及其熱分析

高性能MEMS電容壓力傳感器的設(shè)計及其熱分析

2021-03-20 | rar | 1.02 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  為了進一步提高接觸式電容壓力傳感器的性能,設(shè)計了一種高性能雙凹槽結(jié)構(gòu)的接觸式電容壓力傳感器,并對該傳感器在高溫環(huán)境中的總體性能進行了分析。推導(dǎo)了熱傳導(dǎo)和熱彈性理論,并對影響傳感器熱分析的各個因素與溫度的依賴關(guān)系進行了描述;在整個分析過程中,使用ANSYS軟件并結(jié)合有限元方法對全尺寸傳感器的熱效應(yīng)進行模擬。結(jié)果表明,在接觸工作狀態(tài)雙凹槽接觸式電容壓力傳感器的溫度對輸入(壓力)2輸出(電容)特性的影響是線性的,且線性范圍內(nèi)初始壓力隨溫度的升高而降低。

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